CN205343492U - 一种去除浆料铁粉系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种去除浆料铁粉系统，包括第一回收罐、第二回收罐和除铁装置，其中，所述第一回收罐的进料口设置有第一泵，所述第一回收罐的出料口通过第二泵和第一阀门与所述除铁装置的进料口连通，所述除铁装置的出料口通过第二阀门与所述第二回收罐的进料口连通，所述除铁装置包括除铁管路和缠绕在所述除铁管路上的电磁线圈，所述除铁管路的进料口作为所述除铁装置的进料口，所述除铁管路的出料口作为所述除铁装置的出料口。采用本实用新型实施例中的除浆料铁粉系统能够有效地去除浆料中的铁粉，改变了传统的人工手动对切割机床回收的浆料进行铁粉去除的方式。

Description

一种去除浆料铁粉系统

技术领域

本实用新型涉及除铁技术领域，更具体地说，涉及一种去除浆料铁粉系统。

背景技术

硅片生产过程中，机床工作通过钢线携带浆料对硅块进行摩擦，达到对硅块切割的目的。最初的浆料制作过程只是将一定比例的悬浮液与碳化硅混合，搅拌一定的时间后对其密度进行检测，达到要求后便投入生产。为降低成本可将切割后的浆料通过回收系统进行提炼并与新浆料混合使用，但回收的浆料中所含的铁粉对切割质量有一定的影响。

目前的浆料除铁技术是通过简单的磁棒装置去除浆料里所含的铁粉，除铁后钢线携带回收的浆料对硅块的切割质量比除铁前的切割质量有明显提升。但是由于磁棒的磁力较小，吸附铁粉的能力有限，而且只能通过人工手动的方式对切割机床的回收浆料进行铁粉的去除，效率较低。因此有必要设计一套自动去除浆料铁粉的系统，从而更好的提高除铁效率，提升硅片的切割质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种去除浆料铁粉系统，以在对切割硅片后回收的浆料进行铁粉的去除，从而更好地提高效率，提升硅片的切割质量。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种去除浆料铁粉系统，包括第一回收罐、第二回收罐和除铁装置，其中：

所述第一回收罐的进料口设置有第一泵，所述第一回收罐的出料口通过第二泵和第一阀门与所述除铁装置的进料口连通，所述除铁装置的出料口通过第二阀门与所述第二回收罐的进料口连通，所述除铁装置包括除铁管路和缠绕在所述除铁管路上的电磁线圈，所述除铁管路的进料口作为所述除铁装置的进料口，所述除铁管路的出料口作为所述除铁装置的出料口。

优选地，所述去除浆料铁粉系统还包括清洗设备，包括清洗管路和第三回收罐，所述清洗管路的进液口用于连接冲洗液，所述清洗管路的冲液口与所述除铁装置的出料口连通，所述除铁装置的进料口通过第三阀门与所述第三回收罐连通。

优选地，所述清洗管路的进液口通过第四阀门与所述第二泵连通。

优选地，所述清洗设备还包括清洗杆，所述清洗杆设置在所述除铁管路内。

优选地，所述清洗设备还包括电机，所述电机用于驱动所述清洗杆在所述除铁管路内旋转。

优选地，所述清洗杆为螺旋状铁杆。

优选地，所述电机与所述除铁管路之间还设置有密封圈。

优选地，所述第二泵与所述第一回收罐的出料口之间还设置有第五阀门。

优选地，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和第五阀门为气动阀。

优选地，所述第一泵和所述第二泵为隔膜泵。

从上述的技术方案可以看出，当需要除铁时，通过第一泵将浆料泵送至第一回收罐中，当第一回收罐内的浆料达到一定量时，打开第一阀门、第二阀门、第二泵及启动电磁线圈，将第一回收罐内的浆料缓慢泵入至除铁装置的除铁管路中，除铁管路在电磁线圈产生的磁力作用下，将通过除铁管路的浆料中的铁粉吸附至除铁管路的管壁上，经过除铁处理后的浆料再进入至第二回收罐存储。由上述过程可知，使用本实用新型实施例中的除浆料铁粉系统能够有效地去除浆料中的铁粉，改变了传统的人工手动对切割机床回收的浆料进行铁粉去除的方式。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的一种去除浆料铁粉系统的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例所提供的第二种去除浆料铁粉系统的整体结构示意图；

图3为本实用新型实施例所提供的第三种去除浆料铁粉系统的整体结构示意图；

其中：

A1为第一回收罐、A2为第二回收罐、A3为第三回收罐；

B1为第一泵、B2为第二泵；

C1为第一阀门、C2为第二阀门、C3为第三阀门、C4为第四阀门；C5为第五阀门；

S1为除铁装置；S2为清洗设备；

S1-1为除铁管路、S1-2为电磁线圈；

S2-1为电机、S2-2为密封圈、S2-3为清洗杆。

具体实施方式

本实用新型的核心在于提供一种去除浆料铁粉系统，以在对切割硅片后回收的浆料进行铁粉的去除，从而更好地提高效率，提升硅片的切割质量。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，图1为本实用新型实施例所提供的一种去除浆料铁粉系统的整体结构示意图；

本实用新型实施例提供的去除浆料铁粉系统，

包括第一回收罐A1、第二回收罐A2和除铁装置S1，其中：

第一回收罐A1的进料口设置有第一泵B1，第一回收罐A1的出料口通过第二泵B2和第一阀门C1与除铁装置S1的进料口连通，除铁装置S1的出料口通过第二阀门C2与第二回收罐A2的进料口连通，除铁装置S1包括除铁管路S1-1和缠绕在除铁管路S1-1上的电磁线圈S1-2，除铁管路S1-1的进料口作为除铁装置S1的进料口，除铁管路S1-1的出料口作为除铁装置S1的出料口。

当需要除铁时，通过第一泵B1将浆料泵送至第一回收罐A1中，当第一回收罐A1内的浆料达到一定量时，打开第一阀门C1、第二阀门C2、第二泵B2及启动电磁线圈S1-2，将第一回收罐A1内的浆料缓慢泵入至除铁装置S1的除铁管路S1-1中，除铁管路S1-1在电磁线圈S1-2产生的磁力作用下，将通过除铁管路S1-1的浆料中的铁粉吸附至除铁管路S1-1的管壁上，经过除铁处理后的浆料再进入至第二回收罐存储A2。由上述过程可知，使用本实用新型实施例中的除浆料铁粉系统能够有效地去除浆料中的铁粉，改变了传统的人工手动对切割机床回收的浆料进行铁粉去除的方式。

请参阅图2，图2为本实用新型实施例所提供的第二种去除浆料铁粉系统的整体结构示意图。

为了优化上述技术方案，减少除铁管路S1-1替换次数。上述去除浆料铁粉系统，还包括清洗设备S2，该清洗设备S2主要用于清洗除铁管路S1-1的内部铁粉。

该清洗设备S2包括清洗管路和第三回收罐A3，清洗管路的进液口用于连接冲洗液，清洗管路的冲液口与除铁装置S1的出料口连通，除铁装置S1的进料口通过第三阀门C3与第三回收罐A3连通。

其中，第三回收罐A3用于回收冲洗液。清洗设备S2开启，清洗管路进液口连接冲洗液后，冲洗液由除铁装置S1的出料口进入除铁管路S1-1，然后经由除铁装置S1的进料口进入至第三回收罐A3中。

上述冲洗液可以由其他设备提供，在本实用新型实施例中清洗设备S2的冲洗液由第一回收罐A1提供，其中，清洗管路的进液口通过第四阀门C4与第二泵B2连通。在需要清洗时，关闭第一阀门C1、第二阀门C2和电磁线圈S1-2，开启第二泵B2、第三阀门C3和第四阀门C4，第二泵B2将第一回收罐A1内的冲洗液通过第四阀门C4冲入至除铁管路S1-1里，将吸附在除铁管路S1-1上的铁粉冲刷下来，并回收在第三回收罐A3中。

为了优化上述方案，清洗设备S2还包括清洗杆S2-3，清洗杆S2-3设置在除铁管路S1-1内。通过该清洗杆S2-3可以将吸附在除铁管路S1-1上的铁粉刷下。该清洗杆S2-3可以为清洗刷，还可以为螺旋状铁杆。

上述清洗杆S2-3用于可以手动刷洗除铁管路S1-1，还可以通过设置电机S2-1带动该清洗杆S2-3上下移动或旋转运动。

请参阅图3，图3为本实用新型实施例所提供的第三种去除浆料铁粉系统的整体结构示意图。

清洗设备S2还包括电机S2-1，电机S2-1用于驱动清洗杆S2-3在除铁管路S1-1内旋转。为了防止浆料进入电机S2-1，电机S2-1与除铁管路S1-1之间还设置有密封圈S2-2。

为了方便维修替换，第二泵B2与第一回收罐A1的出料口之间还设置有第五阀门C5。

在本实用新型实施例中，第一阀门C1、第二阀门C2、第三阀门C3、第四阀门C4和第五阀门C5为气动阀。

为了提高控制精度，第一泵B1和第二泵B2为隔膜泵。

通过第一泵B1手动将浆料抽进第一回收罐A1中，当第一回收罐A1中的液位计检测到浆料体积到达一定容量时，控制第一泵B1不再工作。第一回收罐A1中安装有搅拌器，通过手动控制的方式开启，用于搅拌浆料防止浆料沉淀。

去除浆料铁粉系统正常启动后，打开第一阀门C1、第二阀门C2、第五阀门C5和第二泵B2，同时启动除铁装置S1，使得除铁装置S1的电磁线圈S1-2通电产生10000高斯的磁力。当浆料通过除铁管路S1-1由第一回收罐A1流向第二回收罐A2的时候，浆料中所含的铁粉被缠绕在除铁管路S1-1上的电磁线圈S1-2产生的磁力所吸引而附着于除铁管路S1-1的管壁上，而去除铁粉后的浆料会正常流回到第二回收罐A2中。当第二回收罐A2中安装的液位计检测到浆料体积到达一定容量时，关闭第一阀门C1、第二阀门C2、第五阀门C5，系统停止工作，发出警报提醒声音。工作人员可将第二回收罐A2中的浆料直接抽入到回收系统中进行回收使用。

完成一次去除浆料铁粉的工作后，打开第三阀门C3，此时清洗设备S2中的电机S2-1开始工作，驱动螺旋状清洗杆S2-3在除铁管路S1-1内旋转，将吸附在除铁管壁S1-1上的铁粉退回到第三回收罐A3中。经过设定的时间后电机S2-1停止旋转，打开第一阀门C1、第四阀门C4和第二泵B2，往清洗管路的进液口通入油性悬浮液，同时打开电机S2-1驱动清洗杆S2-3旋转，对管路进行冲洗，并将冲洗后的悬浮液退回入第三回收罐A3中。

本领域技术人员可以理解的是，电机S2-1下面的安装有采用三层式机械密封方式的密封圈S2-2，保证管路里面的浆料和油性悬浮液不泄露到外面损坏电机S2-1。

当清洗设备S2对系统进行了清洗工作后，可以重新开启系统进行去除浆料中铁粉的工作。

从本实用新型的技术方案可以看出，本实用新型提供的去除浆料铁粉系统，改变了传统的人工手动对切割机床回收的浆料进行铁粉去除的方式，通过本实用新型设计的第一回收罐A1、第二回收罐A2和除铁装置S1，将含铁粉的浆料在管路中流通并去除铁粉。本实用新型还同时考虑到设备的清洗卫生处理，采用电机S2-1驱动清洗杆S2-3在除铁管路S1-1内旋转并用冲洗液冲洗的方式去除管壁上的铁粉。本实用新型能有效率地达到自动去除浆料中铁粉的目的，从而更好地提高效率，提升硅片的切割质量。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种去除浆料铁粉系统，其特征在于，包括第一回收罐(A1)、第二回收罐(A2)和除铁装置(S1)，其中:

所述第一回收罐(A1)的进料口设置有第一泵(B1)，所述第一回收罐(A1)的出料口通过第二泵(B2)和第一阀门(C1)与所述除铁装置(S1)的进料口连通，所述除铁装置(S1)的出料口通过第二阀门(C2)与所述第二回收罐(A2)的进料口连通，所述除铁装置(S1)包括除铁管路(S1-1)和缠绕在所述除铁管路(S1-1)上的电磁线圈(S1-2)，所述除铁管路(S1-1)的进料口作为所述除铁装置(S1)的进料口，所述除铁管路(S1-1)的出料口作为所述除铁装置(S1)的出料口。

2.如权利要求1所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，还包括清洗设备(S2)，所述清洗设备(S2)包括清洗管路和第三回收罐(A3)，所述清洗管路的进液口用于连接冲洗液，所述清洗管路的冲液口与所述除铁装置(S1)的出料口连通，所述除铁装置(S1)的进料口通过第三阀门(C3)与所述第三回收罐(A3)连通。

3.如权利要求2所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，所述清洗管路的进液口通过第四阀门(C4)与所述第二泵(B2)连通。

4.如权利要求3所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，所述清洗设备(S2)还包括清洗杆(S2-3)，所述清洗杆(S2-3)设置在所述除铁管路(S1-1)内。

5.如权利要求4所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，所述清洗设备(S2)还包括电机(S2-1)，所述电机(S2-1)用于驱动所述清洗杆(S2-3)在所述除铁管路(S1-1)内旋转。

6.如权利要求5所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，所述清洗杆(S2-3)为螺旋状铁杆。

7.如权利要求6所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，所述电机(S2-1)与所述除铁管路(S1-1)之间还设置有密封圈(S2-2)。

8.如权利要求7所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，所述第二泵(B2)与所述第一回收罐(A1)的出料口之间还设置有第五阀门(C5)。

9.如权利要求1至8中任一项所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，所述第一阀门(C1)、第二阀门(C2)、第三阀门(C3)、第四阀门(C4)和第五阀门(C5)为气动阀。

10.如权利要求9所述的去除浆料铁粉系统，其特征在于，所述第一泵(B1)和所述第二泵(B2)为隔膜泵。