CN205312241U - 贮液箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种贮液箱。本实用新型贮液箱，包括：箱体、保温层以及冷却装置；所述保温层设置在所述箱体的外侧；所述冷却装置设置在所述箱体与所述保温层之间，所述冷却装置设置有注液口和放液口。本实用新型可以根据生产过程中的使用需要来控制贮液箱内盛装的液体的温度，节约资源，提高了生产效率。

Description

贮液箱

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种贮液箱。

背景技术

目前，在平板显示及半导体行业中，生产过程中多种工序中均会用到液体材料的传输和供给，例如涂覆光刻胶、显影液喷涂和晶片处理等等，其中晶片处理主要通过刻蚀技术来完成。

刻蚀技术，是按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。通常情况下，影响剥离刻蚀完成的被刻蚀物表面上附着的光刻胶速率的因素有两个：剥离液浓度、剥离液温度。

相关技术中，盛装剥离液的装置采用单层结构，由于这种结构的导热性较强，若想要控制剥离液的温度保持在一定的范围内，就需要耗费大量的时间和电能，并且生产效率较低。

实用新型内容

本实用新型提供一种贮液箱，以克服采用单层结构的装置，由于这种结构的导热性较强不利于温度的控制，并且生产效率较低的问题。

本实用新型提供一种贮液箱，包括：箱体、保温层以及冷却装置；

所述保温层设置在所述箱体的外侧；

所述冷却装置设置在所述箱体与所述保温层之间，所述冷却装置设置有注液口和放液口。

进一步地，上述贮液箱中，所述保温层设置在所述箱体的底部和/或侧壁。

进一步地，上述贮液箱中，所述保温层为内部真空的腔体结构。

进一步地，上述贮液箱中，所述保温层的外表面设置有与所述腔体结构连通的至少一个抽气孔。

进一步地，上述贮液箱中，所述冷却装置为管状结构或层状结构。

进一步地，上述贮液箱中，所述冷却装置设置在所述箱体外的侧壁。

进一步地，上述贮液箱中，所述注液口位于所述冷却装置的上部，所述放液口位于所述冷却装置的下部。

进一步地，上述贮液箱中，所述冷却装置设置在所述箱体外的底部。

进一步地，上述贮液箱中，所述注液口位于所述冷却装置的腔体的一侧，所述放液口位于所述冷却装置的腔体的另一侧，且所述注液口与所述放液口位置相对。

本发明还提供一种贮液箱，包括：箱体、保温层以及冷却装置；

所述保温层设置在所述箱体的外侧；

所述冷却装置设置在所述箱体内，所述冷却装置设置有注液口和放液口。

本实用新型贮液箱，通过将保温层设置在所述箱体的外侧，所述冷却装置设置在所述箱体与所述保温层之间，所述冷却装置设置有注液口和放液口，解决了采用单层结构的装置，由于这种结构的导热性较强不利于温度的控制，并且生产效率较低的问题，实现了可以根据生产过程中的使用需要来控制贮液箱内盛装的液体的温度，节约资源，提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型贮液箱实施例的第一结构示意图；

图2为本实用新型贮液箱实施例的第二结构示意图。

附图标记：

1—箱体

2—保温层

21—抽气孔

3—冷却装置

31—注液口

32—放液口

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型贮液箱实施例的第一结构示意图，如图1所示，本实施例的贮液箱可以包括：箱体1、保温层2以及冷却装置3。

其中，箱体1用来盛装液体，例如，在生产显示屏幕过程中，使用刻蚀技术对基板进行刻蚀时所用到的刻蚀液，或将基板上附着的光刻胶进行剥离时所用到的剥离液等液体。保温层2设置在箱体1的外侧，可以是箱体1的外侧任意部位，例如，可以是箱体1的底部，也可以是箱体1的侧壁，还可以同时设置在箱体1的底部和侧壁上，目的在于将箱体1与空气隔离，使得箱体1内的液体的热量不易扩散，对箱体1内盛装的液体进行保温，例如当箱体1内盛装有加热到一定温度的剥离液时，为了保持剥离液的温度，在箱体1外侧设置有保温层2，以减少箱体1内盛装的剥离液温度扩散，从而避免了因为箱体1内剥离液的温度降低，对基板进行剥离效果不理想的情况发生，实现了节约资源，提高生产效率。

另外，保温层2可以采用泡沫塑料等隔热材料制成，采用泡沫塑料等材料制作保温层2，易出现破损造成资源的浪费，因此，为了更好的实现保温效果，保温层2还可以使用真空层结构。将保温层2的内部制作成真空腔体结构，即使箱体1内的液体与外界空气通过真空腔体结构隔离，从而不能通过空气进行热量的交换，实现了良好的保温效果，并且有利于环保。

为了使保温层2可以达到一个良好的持续保温的效果，避免保温层2内的真空腔体结构混入空气，从而造成箱体1内的液体可以与空气进行热量交换而使液体的温度降低，因此，为了使保温层2的真空腔体可以持续处于真空状态，在保温层2的外表面设置有与腔体结构连通的抽气孔21，在抽气孔21处连接真空泵，当需要将保温层2内的腔体变为真空腔体时，打开真空泵将保温层2内的空气抽出，使得保温层2内形成真空腔体结构，在真空泵工作状态中，保温层2将持续处于真空状态，实现了可以持续保温的效果。

此外抽气孔21可以为一个或多个，当抽气孔21为多个时，可以显著提高保温层2内空气减少的速度，实现了保温层2快速变为真空状态的效果，更有利于箱体1内液体温度的保持。

如果上述结构中仅包括箱体1和保温层2两部分，当出现箱体1内的液体温度过高，需要对其进行降温的情况时，由于保温层2的存在，使得内部液体基本无法通过自然降温的方式在短时间内降低温度。因此增加冷却装置3，冷却装置3设置在箱体1与保温层2之间，使得冷却装置3可以对箱体1内的液体进行降温的同时，冷却装置3的温度在保温层2隔离作用下又不会与外界空气进行热量交换，从而可以实现快速对箱体1内液体进行降温的作用。

在考虑到生产成本以及降温效果等情况，通常使用冷却水作为冷却装置3内盛装的材料，为了实现可以持续对箱体1内的液体进行降温的效果，在冷却装置3上设置有注液口31和放液口32，在注液口31端连接冷却水输入装置，使得冷却水在注液口31进入到冷却装置3中，在与箱体1内的液体进行热量交换后，从放液口32流出。当需要停止对箱体1内的液体降温时，停止向注液口31内注入冷却水即可。实现了可以持续对箱体1内的液体进行降温的效果，并且可操作性强，易于控制的效果。

其中，冷却装置3可以采用管状结构或层状结构，例如，使用类似回形针结构的冷却水管缠绕在箱体1的侧壁、底部、或底部和侧壁上，或者使用在层状结构内部注满冷却液的形式等。当冷却装置3设置在箱体1外的侧壁上时，优选将注液口31设置在冷却装置3的上部，放液口32设置在冷却装置3的下部，使得冷却装置3内的液体可以在重力的作用下有良好的流动性，并且降温效果良好。当冷却装置3设置在箱体1外的底部时，优选将注液口31设置在冷却装置3的腔体的一侧，放液口32设置在相对于注液口31位置的腔体的另一侧，这样设置的目的在于，可以保证腔体内液体流动方向单一，使的冷却水可以充分对箱体1内的液体进行降温，实现了减少资源的浪费，提高降温速率的效果。

此外，冷却装置3也可以设置在箱体1内，最好采用耐腐蚀材料制成，以防止箱体1内盛装有具有腐蚀性的液体而对冷却装置3腐蚀，从而造成冷却装置3漏液的情况发生。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种贮液箱，其特征在于，包括：箱体、保温层以及冷却装置；

所述保温层设置在所述箱体的外侧；

所述冷却装置设置在所述箱体与所述保温层之间，所述冷却装置设置有注液口和放液口。

2.根据权利要求1所述的贮液箱，其特征在于，所述保温层设置在所述箱体的底部和/或侧壁。

3.根据权利要求2所述的贮液箱，其特征在于，所述保温层为内部真空的腔体结构。

4.根据权利要求3所述的贮液箱，其特征在于，所述保温层的外表面设置有与所述腔体结构连通的至少一个抽气孔。

5.根据权利要求4所述的贮液箱，其特征在于，所述冷却装置为管状结构或层状结构。

6.根据权利要求5所述的贮液箱，其特征在于，所述冷却装置设置在所述箱体外的侧壁。

7.根据权利要求6所述的贮液箱，其特征在于，所述注液口位于所述冷却装置的上部，所述放液口位于所述冷却装置的下部。

8.根据权利要求5所述的贮液箱，其特征在于，所述冷却装置设置在所述箱体外的底部。

9.根据权利要求8所述的贮液箱，其特征在于，所述注液口位于所述冷却装置的腔体的一侧，所述放液口位于所述冷却装置的腔体的另一侧，且所述注液口与所述放液口位置相对。

10.一种贮液箱，其特征在于，包括：箱体、保温层以及冷却装置；

所述保温层设置在所述箱体的外侧；

所述冷却装置设置在所述箱体内，所述冷却装置设置有注液口和放液口。