CN205264669U - 电子束发生器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种电子束发生器，其发生器包括真空腔、工件支撑平台、等离子体阳极、电子枪阴极、磁场线圈以及电子束电源，真空腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪阴极以及等离子阳极外围均布有磁场线圈，在真空腔内安装有工件支撑平台，在工件支撑平台上面的真空腔壁上安装有温度传感器，等离子体阳极、电子枪阴极以及磁场线圈均与电子束电源电联，本实用新型结构简单，设计科学合理，有效提高了电子束发生器的安全性以及可靠性。
Description
技术领域
本实用新型属于电子束领域，尤其是一种电子束发生器。
背景技术
电子束是载能束的一种，使用电子束进行材料表面改性处理具有如下优势，以加速电子为能量载体，转化效率高，受材料表面加工状态的影响小；电子对材料穿透能力强；电子束加工在真空环境下进行避免了氧化。现有电子束发生器的真空腔温度监测，安全性以及可靠性较差。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种电子束发生器，该发生器结构简单，设计科学合理，有效提高了电子束发生器的安全性以及可靠性。
本实用新型解决其技术问题是通过以下技术方案实现的：
一种电子束发生器，其发生器包括真空腔、工件支撑平台、等离子体阳极、电子枪阴极、磁场线圈以及电子束电源，真空腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪阴极以及等离子阳极外围均布有磁场线圈，在真空腔内安装有工件支撑平台，在工件支撑平台上面的真空腔壁上安装有温度传感器，等离子体阳极、电子枪阴极以及磁场线圈均与电子束电源电联。
而且，所述的真空腔壁上安装有密封安全门。
而且，所述的磁场线圈分为上磁场线圈以及下磁场线圈。
而且，所述的等离子体阳极上安装有绝缘密封圈。
本实用新型的优点和有益效果为：
本电子束发生器，其发生器包括真空腔、工件支撑平台、等离子体阳极、电子枪阴极、磁场线圈以及电子束电源，真空腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪阴极以及等离子阳极外围均布有磁场线圈，在真空腔内安装有工件支撑平台，在工件支撑平台上面的真空腔壁上安装有温度传感器，等离子体阳极、电子枪阴极以及磁场线圈均与电子束电源电联，本实用新型结构简单，设计科学合理，有效提高了电子束发生器的安全性以及可靠性。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。
一种电子束发生器，其发生器包括真空腔10、工件支撑平台9、等离子体阳极4、电子枪阴极5、磁场线圈以及电子束电源7，真空腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪阴极以及等离子阳极外围均布有磁场线圈，在真空腔内安装有工件支撑平台，在工件支撑平台上面的真空腔壁上安装有温度传感器8，等离子体阳极、电子枪阴极以及磁场线圈均与电子束电源电联。真空腔壁上安装有密封安全门11。磁场线圈分为上磁场线圈1以及下磁场线圈2。等离子体阳极上安装有绝缘密封圈3。本实用新型使用时，工件6放置在工件支撑平台上，启动电子束发生器，电子束通过等离子阳极以及电子枪阴极进入真空腔集中于工件上，完成处理。
Claims (4)
1.一种电子束发生器，其特征在于：该发生器包括真空腔、工件支撑平台、等离子体阳极、电子枪阴极、磁场线圈以及电子束电源，真空腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪阴极以及等离子阳极外围均布有磁场线圈，在真空腔内安装有工件支撑平台，在工件支撑平台上面的真空腔壁上安装有温度传感器，等离子体阳极、电子枪阴极以及磁场线圈均与电子束电源电联。
2.根据权利要求1所述的电子束发生器，其特征在于：所述的真空腔壁上安装有密封安全门。
3.根据权利要求1所述的电子束发生器，其特征在于：所述的磁场线圈分为上磁场线圈以及下磁场线圈。
4.根据权利要求1所述的电子束发生器，其特征在于：所述的等离子体阳极上安装有绝缘密封圈。
Priority Applications (1)
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| CN201521143981.1U CN205264669U (zh) | 2015-12-31 | 2015-12-31 | 电子束发生器 |
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Publications (1)
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Family
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN205264669U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106098534A (zh) * | 2016-06-28 | 2016-11-09 | 贵州大学 | 用电子束作用在硅材料上制备纳米硅结构的方法及装置 |
| CN110052674A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-26 | 苏州亨允晟机电科技有限公司 | 碳纤维增强复合材料的孔加工系统及加工工艺 |
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2015
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN106098534B (zh) * | 2016-06-28 | 2018-11-02 | 贵州大学 | 用电子束作用在硅材料上制备纳米硅结构的方法及装置 |
| CN110052674A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-26 | 苏州亨允晟机电科技有限公司 | 碳纤维增强复合材料的孔加工系统及加工工艺 |
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