CN215991311U - 一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及氧化物阴极等离子体源技术领域，尤其为一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，包括保护罩和保护块，所述保护罩的内部活动连接有固定座，且固定座的上方固定连接有阳极栅网，所述保护块位于阳极栅网的右侧，且阳极栅网的上方水平安设有安装槽，所述安装槽的内部开设有凹槽，且凹槽的前端活动连接有连接板，所述保护罩的上方垂直安设有连接柱，且连接柱的内部开设有卡槽，所述卡槽的前端活动连接有卡块，且卡块的内部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部活动连接有螺杆，该装置结构简单，使得能够均匀的产生大面积等离子体源，并且便于使用者对装置的内部进行清洁与维修，从而不仅使得结构稳定，而且提高装置使用的寿命。

Description

一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极

技术领域

本实用新型涉及氧化物阴极等离子体源技术领域，具体为一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极。

背景技术

氧化物阴极是一种热阴极，是一块涂覆了碱土金属氧化物的金属板。涂覆金属氧化物来加强热阴极发射能力的方法由Wehnelt.A在1903年提出，其原理是氧化物涂层在高温下产生了一些对应的金属单质，接着Wehnelt.A通过实验发现了碱土金属氧化物制作的氧化物阴极发射能力最强，这个发现被广泛用于丝状和板状热阴极上。

现有的氧化物阴极等离子体源，在工业上的应用一般尺寸较小，不能够产生大范围的等离子体，并且在结构上不具有稳定性，同时不便于使用者进行拆卸，从而进行维修。

因此需要一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极对上述问题做出改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，包括保护罩和保护块，所述保护罩的内部活动连接有固定座，且固定座的上方固定连接有阳极栅网，所述保护块位于阳极栅网的右侧，且阳极栅网的上方水平安设有安装槽，所述安装槽的内部开设有凹槽，且凹槽的前端活动连接有连接板，所述连接板的上方固定连接有金属板，所述保护罩的上方垂直安设有连接柱，且连接柱的内部开设有卡槽，所述卡槽的前端活动连接有卡块，且卡块的内部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部活动连接有螺杆，所述安装槽的上方垂直安设有电连片，且电连片的上方固定连接有固定板，所述固定板的上方活动连接有阴极板，且阴极板的内部固定连接有触片，所述阴极板的下方固定连接有定位块，且定位块的后端开设有定位槽。

作为本实用新型优选的方案，所述保护罩的内表面与固定座的下表面之间紧密贴合，且阳极栅网呈水平状安置于固定座的上表面。

作为本实用新型优选的方案，所述安装槽的中轴线与金属板的中轴线相重合，且金属板的下表面与连接板的上表面之间紧密贴合。

作为本实用新型优选的方案，所述卡块的下表面与保护罩的上表面之间紧密贴合，且保护罩通过卡块与卡槽构成滑动结构。

作为本实用新型优选的方案，所述螺纹槽呈水平状贯穿于卡块内部，且螺纹槽的内部尺寸与螺杆的外部尺寸相吻合。

作为本实用新型优选的方案，所述电连片呈等距状安置于固定板的下表面，且固定板的上表面与触片的下表面之间紧密贴合。

作为本实用新型优选的方案，所述阴极板的下表面与定位块的上表面之间紧密贴合，且阴极板通过定位块与定位槽构成滑动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置的保护罩、固定座、阳极栅网、安装槽、连接板和金属板之间的配合设置，通过拆卸固定座，便于使用者对阳极栅网进行清洁与维修，从而提高使用的寿命，同时金属板通过连接板安装在凹槽的内部，使得安装槽能够起到对金属板的保护作用。

2、本实用新型中，通过设置的保护罩、卡槽、卡块、螺纹槽和螺杆之间的配合设置，保护罩通过卡块安装至卡槽中，使得保护罩与连接柱处于贴合，并且通过螺纹槽与螺杆的螺纹配合，使得两者之间进行固定。

3、本实用新型中，通过设置的电连片、固定板、阴极板、触片、定位块和定位槽之间的配合设置，多个电连片能够更好的，将产生的等离子气体电流传递至固定板，同时阴极板通过定位块安装至定位槽的内部。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的主视剖视结构示意图；

图3为本实用新型的图2中A处放大结构示意图；

图4为本实用新型的俯视结构示意图。

图中：1、保护罩；2、固定座；3、阳极栅网；4、保护块；5、安装槽；6、凹槽；7、连接板；8、金属板；9、连接柱；10、卡槽；11、卡块；12、螺纹槽；13、螺杆；14、电连片；15、固定板；16、阴极板；17、触片；18、定位块；19、定位槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

实施例1，请参照图1、2、3和4，一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，包括保护罩1和保护块4，保护罩1的内部活动连接有固定座2，且固定座2的上方固定连接有阳极栅网3，保护块4位于阳极栅网3的右侧，且阳极栅网3的上方水平安设有安装槽5，安装槽5的内部开设有凹槽6，且凹槽6的前端活动连接有连接板7，连接板7的上方固定连接有金属板8，保护罩1的上方垂直安设有连接柱9，且连接柱9的内部开设有卡槽10，卡槽10的前端活动连接有卡块11，且卡块11的内部开设有螺纹槽12，螺纹槽12的内部活动连接有螺杆13，安装槽5的上方垂直安设有电连片14，且电连片14的上方固定连接有固定板15，固定板15的上方活动连接有阴极板16，且阴极板16的内部固定连接有触片17，阴极板16的下方固定连接有定位块18，且定位块18的后端开设有定位槽19。

实施例2，请参照图1、2、3和4，保护罩1的内表面与固定座2的下表面之间紧密贴合，且阳极栅网3呈水平状安置于固定座2的上表面，安装槽5的中轴线与金属板8的中轴线相重合，且金属板8的下表面与连接板7的上表面之间紧密贴合，保护罩1、固定座2、阳极栅网3、安装槽5、连接板7和金属板8之间的配合设置，通过拆卸固定座2，便于使用者对阳极栅网3进行清洁与维修，从而提高使用的寿命，同时金属板8通过连接板7安装在凹槽6的内部，使得安装槽5能够起到对金属板8的保护作用。

实施例3，请参照图1、2、3和4，卡块11的下表面与保护罩1的上表面之间紧密贴合，且保护罩1通过卡块11与卡槽10构成滑动结构，螺纹槽12呈水平状贯穿于卡块11内部，且螺纹槽12的内部尺寸与螺杆13的外部尺寸相吻合，保护罩1、卡槽10、卡块11、螺纹槽12和螺杆13之间的配合设置，保护罩1通过卡块11安装至卡槽10中，使得保护罩1与连接柱9处于贴合，并且通过螺纹槽12与螺杆13的螺纹配合，使得两者之间进行固定。

实施例4，请参照图1、2、3和4，电连片14呈等距状安置于固定板15的下表面，且固定板15的上表面与触片17的下表面之间紧密贴合，阴极板16的下表面与定位块18的上表面之间紧密贴合，且阴极板16通过定位块18与定位槽19构成滑动结构，电连片14、固定板15、阴极板16、触片17、定位块18和定位槽19之间的配合设置，多个电连片14能够更好的，将产生的等离子气体电流传递至固定板15，同时阴极板16通过定位块18安装至定位槽19的内部。

工作原理：使用时，使用者将固定座2通过螺栓固定在保护罩1的内部，将金属板8通过连接板7安装至安装槽5内部的凹槽6中，将保护罩1通过卡块11安装到卡槽10中，使得保护罩1与连接柱9接触，其次使用者旋转螺杆13，使得螺杆13与螺纹槽12配合，从而使得保护罩1与连接柱9进行固定，使用者将阴极板16通过定位块18安装到定位槽19中，通过螺栓使得阴极板16与连接柱9进行固定，由于金属板8表面涂有氧化物涂层，当阳极栅网3与金属板8之间加上脉冲电压，使氧化物涂层中逸出的电子脱离出来，并获得一定的速度去碰撞中性的气体分子，使中性气体分子电离，产生等离子体，最后通过电连片14将电流传递至固定板15，从而使得触片17将电流均匀的引到阴极板16上。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，包括保护罩(1)和保护块(4)，其特征在于：所述保护罩(1)的内部活动连接有固定座(2)，且固定座(2)的上方固定连接有阳极栅网(3)，所述保护块(4)位于阳极栅网(3)的右侧，且阳极栅网(3)的上方水平安设有安装槽(5)，所述安装槽(5)的内部开设有凹槽(6)，且凹槽(6)的前端活动连接有连接板(7)，所述连接板(7)的上方固定连接有金属板(8)，所述保护罩(1)的上方垂直安设有连接柱(9)，且连接柱(9)的内部开设有卡槽(10)，所述卡槽(10)的前端活动连接有卡块(11)，且卡块(11)的内部开设有螺纹槽(12)，所述螺纹槽(12)的内部活动连接有螺杆(13)，所述安装槽(5)的上方垂直安设有电连片(14)，且电连片(14)的上方固定连接有固定板(15)，所述固定板(15)的上方活动连接有阴极板(16)，且阴极板(16)的内部固定连接有触片(17)，所述阴极板(16)的下方固定连接有定位块(18)，且定位块(18)的后端开设有定位槽(19)。

2.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述保护罩(1)的内表面与固定座(2)的下表面之间紧密贴合，且阳极栅网(3)呈水平状安置于固定座(2)的上表面。

3.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述安装槽(5)的中轴线与金属板(8)的中轴线相重合，且金属板(8)的下表面与连接板(7)的上表面之间紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述卡块(11)的下表面与保护罩(1)的上表面之间紧密贴合，且保护罩(1)通过卡块(11)与卡槽(10)构成滑动结构。

5.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述螺纹槽(12)呈水平状贯穿于卡块(11)内部，且螺纹槽(12)的内部尺寸与螺杆(13)的外部尺寸相吻合。

6.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述电连片(14)呈等距状安置于固定板(15)的下表面，且固定板(15)的上表面与触片(17)的下表面之间紧密贴合。

7.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述阴极板(16)的下表面与定位块(18)的上表面之间紧密贴合，且阴极板(16)通过定位块(18)与定位槽(19)构成滑动结构。

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