CN205241853U - 一种ald炉台高效多晶硅热场改进 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种ALD炉台高效多晶硅热场改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板以及设于石墨护板外的热场，所述的石墨护板与热场之间的空隙内填充保温结构，所述保温结构由层叠式的保温层组成；本实用新型结构简单，通过对在坩埚外侧石墨护板与热场之间的空隙中设置保温结构；可改善侧壁保温效果，实现热场只有纵向温度梯度。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅热场结构，尤其是一种ALD炉台高效多晶硅热场改进。
背景技术
随着不可再生的传统能源日趋减少，光伏新能源日益受到重视，其中多晶硅太阳电池以其较高的性价比占据了大部分的市场份额，提高多晶硅电池转换效率和降低制造成本仍是光伏行业亟待解决了两大瓶颈；
多晶硅电池片的主体是多晶硅片。目前高效多晶硅片是多晶硅片的主流。制造高效多晶硅片的关键是多晶硅铸锭环节，即使用高效多晶硅铸锭技术制造的多晶硅片。
作为决定多晶硅铸锭晶体生长均匀性的热场保温结构，在多晶硅铸锭品质提高方面潜力很大。
实用新型内容
实用新型目的：针对上述问题，本实用新型的目的提供一种结构简单，侧壁保温效果好，热场只有纵向温度梯度的ALD炉台高效多晶硅热场改进。
技术方案：为了解决以上问题，本实用新型提供一种ALD炉台高效多晶硅热场改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板以及设于石墨护板外的热场，所述的石墨护板与热场之间的空隙内填充保温结构，所述保温结构由层叠式的保温层组成；本实用新型结构简单，通过对在坩埚外侧石墨护板与热场之间的空隙中设置保温结构；可改善侧壁保温效果，实现热场只有纵向温度梯度。
所述的保温层为石墨硬毡或石墨软毡的一种或两种；保温结构可由石墨硬毡或石墨软毡单独层叠而成；也可由石墨硬毡或石墨软毡混合层叠而成。
所述的保温结构的高度为H构件=H坩埚±10cm。
有益效果：与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：
1.保温效果好：通过对在坩埚外侧石墨护板与热场之间的空隙中设置保温结构；可改善侧壁保温效果；
2.铸锭效果好：本实用新型通过设置保温结构可实现热场只有纵向温度梯度，有效提高铸锭品质。
附图说明
图1为ALD普通热场示意图；
图2为ALD热场改进结构示意图；
图3为保温结构示意图；
其中：1.石墨护板、2.热场、3.保温结构、31.保温层。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图2-3所示的一种ALD炉台高效多晶硅热场2改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板1以及设于石墨护板1外的热场2，所述的石墨护板1与热场2之间的空隙内填充保温结构3，所述保温结构3由层叠式的保温层31组成；所述的保温层31为石墨硬毡或石墨软毡的一种或两种；保温结构3可由石墨硬毡或石墨软毡单独层叠而成；也可由石墨硬毡或石墨软毡混合层叠而成；所述的保温结构3的高度为H构件=H坩埚±10cm。
实施例1
如图2、图3所示，一种ALD炉台高效多晶硅热场2改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板1以及设于石墨护板1外的热场2，所述的石墨护板1与热场2之间的空隙内填充保温结构3，所述保温结构3由层叠式的保温层31组成，所述的保温层31由石墨硬毡或石墨软毡混合层叠而成；所述的保温结构3的高度与石英坩埚相等。
使用本实用新型与普通炉台（参见图1）在相同条件（投料量同为480kg，硅料组成方案相同）下铸锭，使用本实用新型的实验锭与普通铸锭相比，铸锭晶体品质数据较优。
晶体品质数据：
| 分组 | 投料量/KG | 良率 | 少子/μs | 电阻/Ω?cm |
| 普通铸锭 | 480 | 60.0% | 6.5 | 1.1-1.9 |
| 使用本实用新型的实验铸锭 | 480 | 62.0% | 6.9 | 1.2-1.9 |
本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
Claims (3)
1.一种ALD炉台高效多晶硅热场（2）改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板（1）以及设于石墨护板（1）外的热场（2），其特征在于：所述的石墨护板（1）与热场（2）之间的空隙内填充保温结构（3），所述保温结构（3）由层叠式的保温层（31）组成。
2.根据权利要求1所述的一种ADL炉台高效多晶硅热场（2）改进，其特征在于：所述的保温层（31）为石墨硬毡或石墨软毡的一种或两种。
3.根据权利要求1所述的一种ALD炉台高效多晶硅热场（2）改进，其特征在于：所述的保温结构（3）的高度为H构件=H坩埚±10cm。
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2015
- 2015-12-11 CN CN201521023372.2U patent/CN205241853U/zh not_active Expired - Fee Related
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