CN202415744U - 多晶硅铸锭炉石墨坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，属于多晶硅生产设备技术领域。它包括底板（1），所述底板（1）上设置有四块首尾相接的侧板（2），所述侧板（2）顶部开设有两个或两个以上的通气槽（3）。本实用新型一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，其侧板顶部开设有通气槽，有利于热场内冷却气体的流通，提高了热场内的散热速度，极大的改善了多晶硅结晶的质量，从而提高了多晶硅晶体的良品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，属于多晶硅生产设备技术领域。
背景技术
多晶硅铸锭炉是生产太阳能电池片中硅片原料的设备，其包括用于放置硅料的石英坩埚以及用于保护石英坩埚的石墨坩埚。传统的石墨坩埚由底板以及放置在底板上的四块首尾相接的侧板组成，但是现有的石墨坩埚侧板上是没有孔的，因此其不能提供有效的散热，导致热场内散热速度很慢，影响到晶体的生成，会在晶体内部产生微晶，从而大大降低了多晶硅晶体的良品率。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，其散热性能较好，能够有效提高多晶硅晶体的良品率。
本实用新型的目的是这样实现的：一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，它包括底板，所述底板上设置有四块首尾相接的侧板，其特点是：所述侧板顶部开设有两个或两个以上的通气槽。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，其侧板顶部开设有通气槽，有利于热场内冷却气体的流通，提高了热场内的散热速度，极大的改善了多晶硅结晶的质量，从而提高了多晶硅晶体的良品率。
附图说明
图1为本实用新型一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚的结构示意图。
图2为图1中侧板的结构示意图。
其中：
底板1
侧板2
通气槽3。
具体实施方式
参见图1、图2，本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，它包括底板1，所述底板1上设置有四块首尾相接的侧板2，所述侧板2顶部开设有两个或两个以上的通气槽3。
Claims (1)
1.一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，它包括底板（1），所述底板（1）上设置有四块首尾相接的侧板（2），其特征在于：所述侧板（2）顶部开设有两个或两个以上的通气槽（3）。
Priority Applications (1)
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| CN2011205398182U CN202415744U (zh) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 多晶硅铸锭炉石墨坩埚 |
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| CN2011205398182U CN202415744U (zh) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 多晶硅铸锭炉石墨坩埚 |
Publications (1)
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| CN202415744U true CN202415744U (zh) | 2012-09-05 |
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Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN202415744U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113526850A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-10-22 | 江苏亨通智能科技有限公司 | 一种石英玻璃均化用石墨模具 |
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2011
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120905 Termination date: 20131221 |