CN205211722U - 一种运载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种运载装置，包括：具有收容槽的托盘，以及，位于所述收容槽中的网状托架。本实用新型实施例提供的运载装置内部设有网状托架，使得玻璃基板放置在该网状托架上进行RTA工艺时，与运载装置的接触面积较小，从而有效的减少了运载装置在运载玻璃基板的过程中，玻璃基板与其接触的接触面所产生的划痕及颗粒量，进而提高了玻璃基板的良品率。

Description

一种运载装置

技术领域

本实用新型涉及面板制造技术领域，尤其涉及一种承载并定位玻璃基板的运载装置。

背景技术

低温多晶硅(LowTemperaturePoly-Silicion，LTPS)是一种多晶硅(多晶硅为单质硅的一种形态)技术的一个分支，其制作过程一般在600摄氏度左右，由于通过LTPS技术所制成的玻璃基板具有电子迁移率快、薄膜电路面积小、分辨率高、结构简单、稳定性强等特点，上述玻璃基板已逐渐成为制作诸如手机屏幕、电脑屏幕等电子设备屏幕的主要元件。

在上述玻璃基板的制作过程中，通常都需要快速热退火(RapidThermalAnnealing，RTA)工艺，其主要作用为使玻璃基板的内部组织达到或接近平衡状态，进而获得良好的工艺性能和使用性能。在进行RTA工艺过程中，现有技术的一种实现方式为将玻璃基板放置在一个置于传送滚轮上的运载装置中，使得玻璃基板可随着各传送滚轮的转动经过各个处理区来进行RTA，如图1所示。

图1为现有技术中玻璃基板放置在运载装置上进行RTA的示意图。

在图1中，玻璃基板001放置在运载装置110上，其中，该运载装置110为平板状，上面含有若干个通孔111，该通孔111平均对称分布在运载装置110的两侧，其主要用于当玻璃基板001完成RTA工艺过程后，分离设备可将其设有的若干个圆柱插入并穿过该通孔111，使得各圆柱可将运载装置110上运载的玻璃基板001顶起，进而可使用抓取玻璃基板001的机械手臂抓住玻璃基板001的边缘，将玻璃基板001从运载装置110中取出。

然而，在上述的现有技术中，运载装置110通常都是一直随着传送滚轮的转动而运动的，当玻璃基板001放置在运动中的运载装置110时，由于其自身存在惯性，因此在放置在运载装置110上时，通常会在该运载装置110上出现偏移，并且，由于玻璃基板001的一面是与运载装置110的一面是完全接触的，且该运载装置110表面不光滑，因此，在玻璃基板001发生偏移的过程中，玻璃基板001与运载装置110接触的一面可能会产生划痕，进而在其表面上可能会产生一些颗粒，从而降低了玻璃基板001的良品率。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种运载装置，用以解决现有技术中运载装置在运载玻璃基板来进行RTA工艺时，会降低玻璃基板的良品率的问题。

本实用新型提供一种运载装置，其用于承载并定位玻璃基板，其特征在于，所述运载装置包括：具有收容槽的托盘，以及位于所述托盘收容槽内中且用于承载所述玻璃基板的网状托架。

进一步地，所述托盘为长方体型托盘。

进一步地，所述网状托架与所述托盘收容槽的底面平行，所述网状托架与所述托盘收容槽的侧面相连固定。

进一步地，所述托盘收容槽的侧面与所述托盘收容槽的底面之间所形成的角度大于90度。

进一步地，用于构成所述网状托架的各个支撑筋为圆柱体结构。

进一步地，所述托盘上设有由其底面延伸至收容槽底面的若干个通孔。

进一步地，所述托盘和托架的材料包括陶瓷。

与现有技术相比，本实用新型实施例提供的运载装置内由于设有网状托架，使得玻璃基板放置在该网状托架上后，只与该网状托架中的各个支撑筋接触，进而降低了玻璃基板与运载装置的接触面积，从而有效的提高了玻璃基板在进行RTA工艺时的良品率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为现有技术中玻璃基板放置在运载装置上进行RTA的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种运载装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的长方体型托盘的侧视图；

图4为本实用新型实施例提供的另一种长方体型托盘的侧视图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图2为本实用新型实施例提供的一种运载装置的结构示意图。

在图2中显示了的运载装置的详细结构，包括具有收容槽的托盘210，以及，位于托盘210中的网状托架211，其中，该网状托架211用于承载玻璃基板。

在实际应用中，玻璃基板由于制作工艺的需求，通常情况下均为长方体结构，因此，上述运载装置为了在玻璃基板进行RTA工艺时能够平稳的运送玻璃基板，可根据玻璃基板的工艺标准，将该托盘210制成比玻璃基板稍大些的长方体型结构，即长方体型托盘210，进而使得玻璃基板放置在该长方体型托盘210中后，可随着传送滚轮的转动而进行平稳运动。当然，托盘210也可以是其他形状的托盘。

在该长方体型托盘210的收容槽中，设有网状托架211，其中，该网状托架211与长方体型托盘中收容槽的底面213平行，并且，该网状托架211与长方体型托盘210中收容槽的侧面相连固定。玻璃基板在进行RTA工艺时，可将其放置在该运载装置的网状托架211中，进而使得玻璃基板可随着传送滚轮的转动与运载装置一起进行运动，经过各个处理区，来进行RTA工艺。

由于玻璃基板水平放置在上述网状托架211时，其相互接触的接触面并不是一个完整的接触面，从而降低了玻璃基板与运载装置的接触面积，有效的提高了玻璃基板在进行RTA工艺时的良品率。

需要说明的是，上述说明的运载装置通常都是一直随着传送滚轮的转动而运动的，当玻璃基板放置在运动中的运载装置时，可能会出现玻璃基板并不是水平的放置在该网状托架211中的情况，即玻璃基板的一端可能会置于长方体型托盘210中收容槽的侧面之上，进而会出现运载装置不能平稳运送玻璃基板的问题。为了有效解决这一问题，在本实用新型实施例中，长方体型托盘210中收容槽的侧面可以设计成带有一定坡度的结构，如图3所示。

图3为本实用新型实施例提供的长方体型托盘的侧视图。

在图3中，长方体型托盘210中收容槽的侧面为与长方体型托盘中收容槽的底面213所成角度大于90度的斜面214，网状托架211与该斜面214进行相连固定。当玻璃基板放置在运载装置上后，若出现玻璃基板的一端置于斜面214上的情况时，则玻璃基板可在重力的作用下，随着所述斜面214进行滑动，从而使得玻璃基板能够重新水平的放置在网状托架211上，进而使得运载装置能够平稳的运载玻璃基板。

另外，为了能够更加平稳的运载玻璃基板，上述长方体型托盘210中收容槽的侧面也可以设计成由斜面和垂直面两部分组成，如图4所示。

图4为本实用新型实施例提供的另一种长方体型托盘的侧视图。

在图4中，长方体型托盘210中收容槽的侧面由两部分组成，一部分为与长方体型托盘中收容槽的底面213所成角度大于90度的斜面2141，另一部分为与长方体型托盘中收容槽的底面213所成角度等于90的垂直面2142，其中，网状托架211可与该垂直面2142进行相连固定。当玻璃基板放置在长方体型托盘210中时，其所放置的区域为垂直面2142所围成的区域，使得垂直面2142可以有效的包裹住玻璃基板的四周，进而可降低玻璃基板在长方体型托盘210中的晃动，使得长方体型托盘210可更加平稳的运载玻璃基板。

需要说明的是，上述说明的斜面2141与长方体型托盘中收容槽的底面213所成的角度除了大于90度外，还不能过于的接近90度或过于的接近180度，可根据实际的工艺需求，将该角度设置在一个合理的范围内，如120度左右。

本实用新型实施例意在使玻璃基板与运载装置的接触面积尽可能减小，从而有效的提高了玻璃基板在进行RTA工艺时的良品率。因此，在本实用新型实施例中，构成网状托架211的各个支撑筋可以是圆柱体结构，使得玻璃基板放置在网状托架211中时，各个支撑筋与玻璃基板的接触面仅为一条线，从而进一步降低了玻璃基板与运载装置的接触面积，有效的提高了玻璃基板在进行RTA工艺时的良品率。

需要说明的是，上述说明的各个圆柱体结构支撑筋的直径不宜过大、也不宜过小，可根据实际的工艺需求，设置在一个合理的范围内。

图2中所显示的长方体型托盘上设有由其底面延伸至收容槽底面213的若干个通孔212，其主要用于当玻璃基板完成RTA工艺过程后，分离设备可将其设有的若干个圆柱插入并穿过该通孔212，，使得各圆柱可将长方体型托盘210上运载的玻璃基板顶起，进而可使用抓取玻璃基板的机械手臂抓住玻璃基板的边缘，将玻璃基板从长方体型托盘210中取出。而需要说明的是，该通孔212在长方体型托盘中收容槽的底面213中的分布方式并不一定按照图2所示的方式来进行分布，具体的分布方式可在保证不被上述网状托架211中各个支撑筋遮挡住的前提下，根据玻璃基板在进行RTA工艺时所需的工艺需求来确定，即该通孔212可以分布在长方体型托盘中收容槽的底面213中的上下两侧或左右两侧，也可分布长方体型托盘中收容槽的底面213的中间部分，并且，该若干个通孔212在长方体型托盘中收容槽的底面213中进行分布时，可将该通孔212进行数量等分后，再分别分布在长方体型托盘中收容槽的底面213中的两侧或中间部分，也可不进行数量等分，随机分布在长方体型托盘中收容槽的底面213中的两侧或中间部分，而通孔212的数量也没有固定的限制，只需满足上述分离设备中的各圆柱在穿过该通孔212后，能够平稳的将长方体型托盘210和其中运载的玻璃基板进行分离即可。

上述说明的具有收容槽的长方体型托盘210以及位于该长方体型托盘210中的网状托架211所需的制作材料可以是具有导热性较差、热稳定性良好的材料，所述的材料包括但不限于：陶瓷材料。而在制作该长方体型托盘210以及网状托架211中，可以先分别制作出该长方体型托盘210及网状托架211，再将该网状托架211安装在长方体型托盘210中，组成整个运载装置，而为了提高玻璃基板在进行RTA处理工艺时的处理效果，该长方体型托盘210及网状托架211可以是一体的，其制作方式具体可以通过注塑的方式获取，即先将制作该长方体型托盘210及网状托架211一体结构所需的模具制作出来，然后再通过注射成型机将制作长方体型托盘210及网状托架211所需的材料放置在所述模具中，进行加热和加压等处理，进而得到长方体型托盘210及网状托架211的一体结构运载装置。需要说明的是，上述说明的制作方式并不限于注塑方式，还可通过其他方式来进行。

需要说明的是，图2中所示的网状托架211中的网格形状并不一定为方格形状，也可以是诸如三角形、菱形等网格形状，而网状托架211中支撑筋的数量也没有固定的限制，其数量只需满足能够平稳的运载玻璃基板即可。

综上所述，由于本实用新型实施例提供的运载装置内部设有网状托架，使得玻璃基板放置在该网状托架上进行RTA工艺时，与运载装置的接触面积较小，从而有效的减少了运载装置在运载玻璃基板的过程中，玻璃基板与其接触的接触面所产生的划痕及颗粒量，进而提高了玻璃基板的良品率。

以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (7)

1.一种运载装置，用于承载并定位玻璃基板，其特征在于，所述运载装置包括：具有收容槽的托盘，以及位于所述收容槽内且用于承载所述玻璃基板的网状托架。

2.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述托盘为长方体型托盘。

3.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述网状托架与所述托盘收容槽的底面平行，所述网状托架与所述托盘收容槽的侧面相连固定。

4.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述托盘收容槽的侧面与所述托盘收容槽的底面之间所形成的角度大于90度。

5.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，用于构成所述网状托架的各个支撑筋为圆柱体结构。

6.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述托盘上设有由其底面延伸至收容槽底面的若干个通孔。

7.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述托盘和托架的材料包括陶瓷。