CN205207217U - 一种用于分子泵的牵引筒 - Google Patents

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郑荣禧
王秀娟
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Zhongke Jiuwei Technology Co.,Ltd.
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Sichuan Jiutian Vacuum Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供了一种用于分子泵的牵引筒，包括：圆筒形的定子和定子内圆柱面上的带锥度的多条螺旋槽，多条螺旋槽为由定子内圆柱面上的多条矩形螺旋槽齿形成的矩形断面形状的沟槽，多条螺旋槽自上而下向外张开具有一个锥度。本实用新型充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果，而通过螺旋槽通道与抽气方向之间的夹角(螺旋升角)匹配来达到较理想的抽气效果。

Description

一种用于分子泵的牵引筒
技术领域
本实用新型属于流体机械技术领域，尤其是应用于真空泵中，具体来说涉及一种用于分子泵的牵引筒。
背景技术
分子泵作为一种可以获得清洁高真空的真空获得设备，已被广泛应用于半导体等行业中。目前，分子泵主要有两种，一种是涡轮分子泵，另一种是复合分子泵。其中涡轮分子泵可以获得较大的抽速，但难以获得较大的压缩比，而在一些半导体行业中，要求在较宽的压力范围内具有较大的抽速，而涡轮分子泵并不合适。
对于复合分子泵，在获得较大抽速的同时，还可获得较大的压缩比，因此在半导体等行业中被广泛应用。现有的复合分子泵主要分为两类，一类是由涡轮分子泵与盘式牵引分子泵组合设计而成，即带盘式牵引结构的复合分子泵；另一类是由涡轮分子泵与筒式牵引分子泵组合设计而成，即带筒式牵引结构的复合分子泵。对于第一类复合分子泵，尽管其具有较大的抽速，但受到盘式牵引分子泵抽气方式的限制，其使用率并不高。对于第二类复合分子泵，是现阶段使用最为普遍的复合分子泵，不但具有较大的抽速，同时还具有较高的抽气效率。
尽管带筒式牵引结构的复合分子泵在结构上满足了涡轮级与牵引级气流方向的一致性，但是，由于涡轮级抽速与牵引级抽速存在着较大差别，牵引级与涡轮级之间的这种抽速不匹配会导致复合泵实际抽速的下降，影响复合分子泵的抽气效率。只有进一步改善复合分子泵的牵引级与涡轮级之间的抽速匹配关系，进而缩小实际抽速与理论抽速之间的差距，才能够保证复合分子泵良好的抽气效率和抽气性能。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用于分子泵的牵引筒，包括：圆筒形的定子和定子内圆柱面上的带锥度的多条螺旋槽，多条螺旋槽为由定子内圆柱面上的多条矩形螺旋槽齿形成的矩形断面形状的沟槽，多条螺旋槽自上而下向外张开具有一个锥度。
根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，圆筒形的定子的内径固定不变。
根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条螺旋槽的宽度相同及多条矩形螺旋槽齿的宽度相同。
根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条螺旋槽的宽度为10mm～40mm。
根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条螺旋槽的槽深及容积自上而下逐渐变大。
根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条螺旋槽的螺距为定子内圆柱面的高度。
根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条矩形螺旋槽齿的宽度为2mm～10mm。
根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，锥度为2°～5°。
根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，圆筒形的定子下部有定位台阶。
有益效果
本实用新型公开了一种用于分子泵的牵引筒，充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果，而通过螺旋槽通道与抽气方向之间的夹角(螺旋升角)匹配来达到较理想的抽气效果。
附图说明
图1是本实用新型公开的一种用于分子泵的牵引筒的侧面透视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
图1是本实用新型公开的一种用于分子泵的牵引筒的侧面透视图，如图1所示，本实用新型提供了一种用于分子泵的牵引筒，包括：圆筒形的定子01和定子01内圆柱面上的带锥度的多条螺旋槽02，圆筒形的定子01的内径D固定不变，多条螺旋槽02为由定子01内圆柱面上的多条矩形螺旋槽齿03形成的矩形断面形状的沟槽，多条螺旋槽02的宽度相同及多条矩形螺旋槽齿03的宽度相同，多条螺旋槽02的宽度为10mm～40mm，多条矩形螺旋槽齿03的宽度为2mm～10mm，多条螺旋槽02的槽深及容积自上而下逐渐变大，多条螺旋槽02的螺距为定子01内圆柱面的高度，多条螺旋槽02自上而下向外张开具有一个锥度，锥度为2°～5°，圆筒形的定子01下部有定位台阶04，方便与分子泵装配。
以上所述，仅是本实用新型较佳的实施方式，并非对本实用新型的技术方案做任何形式上的限制。凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例做任何简单修改，形式变化和修饰，均落入本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述牵引筒包括：圆筒形的定子和定子内圆柱面上的带锥度的多条螺旋槽，所述多条螺旋槽为由定子内圆柱面上的多条矩形螺旋槽齿形成的矩形断面形状的沟槽，所述多条螺旋槽自上而下向外张开具有一个锥度。
2.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述圆筒形的定子的内径固定不变。
3.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述多条螺旋槽的宽度相同及多条矩形螺旋槽齿的宽度相同。
4.根据权利要求3所述的一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述多条螺旋槽的宽度为10mm～40mm。
5.根据权利要求4所述的一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述多条螺旋槽的槽深及容积自上而下逐渐变大。
6.根据权利要求5所述的一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述多条螺旋槽的螺距为定子内圆柱面的高度。
7.根据权利要求3所述的一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述多条矩形螺旋槽齿的宽度为2mm～10mm。
8.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述锥度为2°～5°。
9.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的牵引筒，其特征在于：所述圆筒形的定子下部有定位台阶。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106439371A (zh) * 2016-08-27 2017-02-22 泰州学院 水下用防堵减阻的直管结构

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PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
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Granted publication date: 20160504

Pledgee: Sichuan Xichong rural commercial bank Limited by Share Ltd

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CP03 Change of name, title or address
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