CN203488392U - 一种折线间隙型牵引级 - Google Patents
一种折线间隙型牵引级 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203488392U CN203488392U CN201320578474.5U CN201320578474U CN203488392U CN 203488392 U CN203488392 U CN 203488392U CN 201320578474 U CN201320578474 U CN 201320578474U CN 203488392 U CN203488392 U CN 203488392U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- stator
- diameter
- rotor
- broken line
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000001795 light effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种用于分子泵的牵引级，尤其涉及一种用于分子泵的筒式牵引级，包括转子和定子，所述转子与定子之间留有间隙，所述定子内壁设置有环形阶梯，且环形阶梯内壁的直径与其相对应的转子部分的最大直径形成间隙配合，从进气端到排气定子直径逐渐改变，转子直径随定子直径也相应改变，使得转子和定子之间的间隙由直线型变为折线型，以达到更好的光密性效果，本实用新型采用转子和定子之间间隙的折线型设计，在减少了气体的反流的同时，增加了气体的压缩比和极限压力，另外本实用新型结构简单，成本低廉。
Description
技术领域
本实用新型属于流体机械技术领域，尤其涉及一种用于半导体、节能灯、太阳能制造行业中用于获得真空的分子泵的折线间隙型牵引级。
背景技术
分子真空泵是在1911年由德国人盖德(w·Gaede)首先发明的。其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
Howleck式牵引级是在圆柱状的转子上开出螺旋槽，配合光筒状定子进行抽气，或通过在定子上开螺旋槽，配合圆柱转子进行抽气的牵引级结构。
由于Howleck式牵引级在工作过程中，气体的流动方向变化不大，所有拥有较高的抽速，但转子与定子之间存在的间隙所造成的气体返流，会较大的影响其压缩比和工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于改变现有技术中的不足，而提供一种折线间隙型牵引级，在转子和定子上，配对的加工出阶梯，使得转子和定子之间的间隙由直线的间隙，变成折线型，达到光密性效果。
本实用新型所采用的技术方案：
一种折线间隙型牵引级，包括转子和定子，其特征在于：所述转子与定子之间留有间隙，所述定子内壁设置有环形阶梯，且环形阶梯内壁的直径与其相对应的转子部分的最大直径形成间隙配合。
所述定子为一个整体，其进气端直径小于排气端直径，即从进气端到排气定子直径逐渐增大，转子直径随定子直径也相应增大。
所述定子为一个整体，其进气端直径大于排气端直径，即从进气端到排气定子直径逐渐减小，转子直径随定子直径也相应减小。
所述定子分为两部分，其中靠近进气端的部分直径逐级增大，靠近排气端的部分直径逐级减小，定子的两部分最大直径相同，扣合到一起形成一完整定子，扣合处设有密封；所述的转子直径随定子直径的增大和减小也相应的增大和减小。
所述的定子内壁设置有至少一层阶梯。
所述的定子内壁设置有三层阶梯。
所述转子和定子内壁之间的间隙为0.3mm---0.6mm。
本实用新型的有益效果：本实用新型采用定子内壁阶梯式设计，使得转子和定子之间的间隙由直线的间隙，变成折线型，当气体沿着转子和定子之间的间隙回返时，设置在定子内壁的环形阶梯能够挡住回返的气体，使其进入转子的牵引级沟槽内，减少了气体反流，增加了分子泵的极限压力和气体的压缩比，另外，本实用新型结构简单，制造成本低廉。
附图说明
图1是本实用新型实施例一的结构图。
图2是本实用新型实施例二的结构图。
图3是本实用新型实施例三的结构图。
具体实施方式
如图1所示，一种折线间隙型牵引级，包括转子1和定子2，定子2为圆筒状，转子1和定子2内壁之间的间隙为0.5mm，定子2的内壁上设置有环形阶梯3，环形阶梯为三层环形阶梯；从进气端4到排气端6，每层环形阶梯的直径依次增大，转子1的直径也相应逐渐增大，每层环形阶梯内壁的直径与其相对应的转子部分的最大直径形成间隙配合，当气体沿着定子2与转子1之间的间隙往进气端4回流，遇到环形阶梯3时，回流的气体被环形阶梯3阻挡，并被带入转子1上的牵引级沟槽5，减少了气体的反流，增加了分子泵的极限压力和气体的压缩比。
实施例二
如图2所示，一种折线间隙型牵引级，包括转子1和定子2，定子2为圆筒状，转子1和定子2内壁之间的间隙为0.5mm，定子2的内壁上设置有环形阶梯3，环形阶梯为三层环形阶梯；从进气端4到排气端6，每层环形阶梯的直径依次减小，转子1的直径也相应逐渐减小，每层环形阶梯内壁的直径与其相对应的转子部分的最大直径形成间隙配合，当气体沿着定子2与转子1之间的间隙往进气端4回流，遇到环形阶梯3时，回流的气体被环形阶梯3阻挡，并被带入转子1上的牵引级沟槽5，减少了气体的反流，增加了分子泵的极限压力和气体的压缩比。
实施例三
如图3所示，一种折线间隙型牵引级，包括转子1和定子2，定子2为圆筒状，分为上下两部分，上部分定子和下部分定子结合处采用密封圈进行密封，转子1和定子2内壁之间的间隙为0.5mm，定子2的内壁上设置有环形阶梯3，环形阶梯为三层环形阶梯；从进气端4到排气端6，定子2内壁靠近进气端4的部分阶梯直径逐级增大，靠近排气端6的部分阶梯直径逐级减小，转子1的直径也随定子2内壁上的阶梯直径项应的先逐渐增大，然后逐渐减小每层环形阶梯内壁的直径与其相对应的转子部分的最大直径形成间隙配合，当气体沿着定子2与转子1之间的间隙往进气端4回流，遇到环形阶梯3时，回流的气体被环形阶梯3阻挡，并被带入转子1上的牵引级沟槽5，减少了气体的反流，增加了分子泵的极限压力和气体的压缩比。
Claims (7)
1.一种折线间隙型牵引级，包括转子和定子，其特征在于：所述转子与定子之间留有间隙，所述定子内壁设置有环形阶梯，且环形阶梯内壁的直径与其相对应的转子部分的最大直径形成间隙配合。
2.根据权利要求1所述的折线间隙型牵引级，其特征在于：所述定子为一个整体，其进气端直径小于排气端直径，即从进气端到排气定子直径逐渐增大，转子直径随定子直径也相应增大。
3.根据权利要求1所述的折线间隙型牵引级，其特征在于：所述定子为一个整体，其进气端直径大于排气端直径，即从进气端到排气定子直径逐渐减小，转子直径随定子直径也相应减小。
4.根据权利要求1所述的折线间隙型牵引级，其特征在于：所述定子分为两部分，其中靠近进气端的部分直径逐级增大，靠近排气端的部分直径逐级减小，定子的两部分最大直径相同，扣合到一起形成一完整定子，扣合处设有密封；所述的转子直径随定子直径的增大和减小也相应的增大和减小。
5.根据权利要求1所述的折线间隙型牵引级，其特征在于：所述的定子内壁设置有至少一层阶梯。
6.根据权利要求5所述的折线间隙型牵引级，其特征在于：所述的定子内壁设置有三层阶梯。
7.根据权利要求1所述的折线间隙型牵引级，其特征在于：所述转子和定子内壁之间的间隙为0.3mm---0.6mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320578474.5U CN203488392U (zh) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 一种折线间隙型牵引级 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320578474.5U CN203488392U (zh) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 一种折线间隙型牵引级 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203488392U true CN203488392U (zh) | 2014-03-19 |
Family
ID=50259230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320578474.5U Expired - Fee Related CN203488392U (zh) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 一种折线间隙型牵引级 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203488392U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105370587A (zh) * | 2015-12-07 | 2016-03-02 | 东北大学 | 一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵 |
-
2013
- 2013-09-18 CN CN201320578474.5U patent/CN203488392U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105370587A (zh) * | 2015-12-07 | 2016-03-02 | 东北大学 | 一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101440791B (zh) | 多级热声压缩系统 | |
| CN203570600U (zh) | 双级离心压气机 | |
| CN203488392U (zh) | 一种折线间隙型牵引级 | |
| CN102966399B (zh) | 移动体横向移动式挺杆装置 | |
| CN104567448A (zh) | 一种利用努森泵的多级引射真空系统 | |
| CN204610381U (zh) | 一种叶轮入气端带迷宫密封结构的离心通风机 | |
| CN103352727B (zh) | 混合式气体做功系统及使用其的动力系统 | |
| CN202301194U (zh) | 一种双纽线螺旋进气增压器 | |
| CN102200119A (zh) | 一种新型压缩机 | |
| CN203223412U (zh) | 纺锥型灯泡贯流泵装置 | |
| CN202746002U (zh) | 叶轮压气气体压缩机 | |
| CN102384107A (zh) | 一种双纽线螺旋进气增压器 | |
| CN205135716U (zh) | 一种涡旋膨胀机的涡旋盘 | |
| CN204113231U (zh) | 一种天然气喷射引流工具 | |
| CN204591706U (zh) | 一种带有过渡结构的复合分子泵 | |
| CN205207217U (zh) | 一种用于分子泵的牵引筒 | |
| CN203488432U (zh) | 一种高效压缩机的三元流叶轮 | |
| CN203223396U (zh) | 气体压缩机的进气结构 | |
| CN103899515B (zh) | 一种提高空压机效率的装置及其方法 | |
| CN201288590Y (zh) | 汽轮机整体式隔板径向汽封装置 | |
| CN202520958U (zh) | 一种水轮发电机气密封系统 | |
| CN111140295A (zh) | 可提高压气机性能的增压器蜗壳 | |
| CN203906327U (zh) | 一种小流量带式增速的离心式蒸汽压缩机 | |
| CN203809246U (zh) | 一种提高空压机效率的装置 | |
| CN204676642U (zh) | 一种多级负压式水塔 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20151204 Address after: 102600 Beijing Daxing Industrial Zone Sheng Fang Lu Jingyi instrument base Patentee after: BEIJING BEIYI WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: Daxing Industrial Development Zone 102600 Beijing city high Midian Sheng Fang Lu Beijing instrument base Patentee before: BEIJING BEIYI INNOVATION VACUUM TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140319 |