CN205166688U - 一种晶棒磨边设备的打磨组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种晶棒磨边设备的打磨组件，包括基座和设置在基座上的磨盘，基座上端面开设有燕尾槽，磨盘的下端面设有适于与燕尾槽配合的燕尾凸台，燕尾槽内设有防止燕尾凸台滑出的锁定组件；锁定组件为弹性锁定组件，其设置在燕尾槽内的阶梯型的限位通孔内，弹性锁定组件包括依次设置于限位通孔内的锁块、为锁块提供复位弹力的弹簧和与限位通孔螺接的限位件；燕尾槽与燕尾凸台完成配合后锁块在弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面适于抵靠在燕尾凸台的相应端面上，锁块上背对阻挡面的一侧设有倾斜引导面。本实用新型结构合理，能快速实现磨盘的安装或拆换，省时省工。

Description

一种晶棒磨边设备的打磨组件

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产设备设计领域，具体涉及一种晶棒磨边设备的打磨组件。

背景技术

在硅片加工过程中，晶棒磨边是硅片切割加工前的一道重要工序，按工艺要求，晶棒磨边不能出现光亮，更不能出现崩边，否则，就会影响硅片质量，崩边会直接减少晶棒的得片率即影响晶棒的利用率，经济损失很大。现有磨边工艺大都采用晶棒磨边设备对晶棒的棱边进行打磨，而为了确保晶棒打磨效果及效率，需要定期更换打磨部件-磨盘。现有的晶棒磨边设备中，磨盘大都通过多个螺钉固定在基座上，磨盘拆换操作比较繁琐，费时费工。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构合理的晶棒磨边设备打磨组件，其上磨盘拆装便捷，省时省工。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶棒磨边设备的打磨组件，包括基座和设置在所述基座上的磨盘，所述基座上端面开设有燕尾槽，所述磨盘的下端面设有适于与所述燕尾槽配合的燕尾凸台，所述燕尾槽内设有防止所述燕尾凸台滑出的锁定组件；

所述锁定组件为弹性锁定组件，其设置在所述燕尾槽内的阶梯型的限位通孔内，所述弹性锁定组件包括依次设置于限位通孔内的锁块、为所述锁块提供复位弹力的弹簧和与限位通孔螺接的限位件；所述燕尾槽与所述燕尾凸台完成配合后所述锁块在所述弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面适于抵靠在所述燕尾凸台的相应端面上，所述锁块上背对阻挡面的一侧设有倾斜引导面。

优选的，所述磨盘上表面设有若干向上凸起的打磨凸条，所述打磨凸条上端面为打磨面。

多个所述打磨凸条由所述磨盘中心向外呈辐射状延伸，相邻所述打磨凸条之间形成排料槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：采用本实用新型中的结构，在组装磨盘和基座时，将磨盘上的燕尾凸台插入基座上的燕尾槽内，燕尾凸台在插入燕尾槽的过程中，通过倾斜引导面推动锁块向下方运动，使锁块进入限位通孔内，待燕尾槽与燕尾凸台完成配合后，燕尾凸台恰好完全经过锁块，这时，锁块在弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面抵靠在燕尾凸台的相应端面上，完成燕尾凸台的锁定，从而完成磨盘和基座的组装；拆卸磨盘时，只需用手或者借助工具按压锁块，使锁块完全进入限位通孔内，以解除锁块对燕尾凸台的锁定，这样燕尾凸台就能顺畅的从燕尾槽内移出；实现快速安装或拆换磨盘，省时省工。

附图说明

图1为本实用新型一种晶棒磨边设备的打磨组件的爆炸图。

图2为本实用新型一种晶棒磨边设备的打磨组件的锁定组件的结构示意图。

图3为本实用新型一种晶棒磨边设备的打磨组件的磨盘的结构示意图。

图中所示，1、基座，2、磨盘，3、燕尾槽，4、燕尾凸台，5、锁定组件，6、锁块，7、弹簧，8、限位件，9、倾斜引导面，10、打磨凸条，11、排料槽，12、阻挡面。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种晶棒磨边设备的打磨组件，包括基座1和设置在基座1上的磨盘2，基座1上端面开设有燕尾槽3，磨盘2的下端面设有适于与燕尾槽3配合的燕尾凸台4，燕尾槽3内设有防止燕尾凸台4滑出的锁定组件5；锁定组件5为弹性锁定组件，其设置在燕尾槽3内的阶梯型的限位通孔内，弹性锁定组件包括依次设置于限位通孔内的锁块6、为锁块6提供复位弹力的弹簧7和与限位通孔螺接的限位件8；燕尾槽3与燕尾凸台4完成配合后锁块6在弹簧7的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面适于抵靠在燕尾凸台4的相应端面上，锁块6上背对阻挡面的一侧设有倾斜引导面9。锁定组件5可以设置为一套、两套或三套，锁定组件5同时对燕尾凸台4进行锁定，提高锁定组件5锁定燕尾凸台4的牢固程度。锁块6由上、下两部分组成，其下部直径大于上部直径，下部分始终被限位在限位通孔内，从而防止锁块6在弹簧7的作用下从限位通孔内弹出，在组装磨盘2和基座1时，将磨盘2上的燕尾凸台4插入基座1上的燕尾槽3内，燕尾凸台4在插入燕尾槽3的过程中，通过倾斜引导面9推动锁块6向下方运动，使锁块6进入所述限位通孔内，待燕尾槽3与燕尾凸台4完成配合后，燕尾凸台4恰好完全经过锁块6，这时，锁块6在弹簧7的作用下从所述限位通孔伸出，其上阻挡面12抵靠在燕尾凸台4的相应端面上，形成对燕尾凸台4的锁定，从而完成磨盘2和基座1的组装；拆卸磨盘2时，只需用手或者借助工具按压锁块6，使锁块6完全进入所述限位通孔内，以解除锁块6对燕尾凸台4的锁定，这样燕尾凸台4就能顺畅的从燕尾槽3内移出；实现快速安装或拆换磨盘2，省时省工。

进一步，磨盘2上表面设有若干向上凸起的打磨凸条10，打磨凸条10上端面为打磨面，在工作时，磨盘3高速转动，打磨凸条10的打磨面对晶棒的棱边进行打磨。

再进一步，多个打磨凸条10由磨盘2中心向外呈辐射状延伸，相邻打磨凸条10之间形成排料槽11，该排料槽11的宽度自磨盘2中心向外逐渐增大，并且，排料槽11外侧缘设成缺口，这样，打磨时所产生的硅料就能通过排料槽11顺畅地排出，防止硅料附着在打磨凸条10表面对打磨效果及效率产生影响，另外，通过上述排料槽11的结构设计，也方便对排料槽11内的硅料进行清理，并且在磨盘2高速转动时，在离心作用下，也更有利于硅料从排料槽11内分离出，避免硅料积聚在排料槽11内。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种晶棒磨边设备的打磨组件，包括基座(1)和设置在基座(1)上的磨盘(2)，其特征在于：基座(1)上端面开设有燕尾槽(3)，磨盘(2)的下端面设有适于与燕尾槽(3)配合的燕尾凸台(4)，燕尾槽(3)内设有防止燕尾凸台(4)滑出的锁定组件(5)；

锁定组件(5)为弹性锁定组件，其设置在燕尾槽(3)内的阶梯型的限位通孔内，弹性锁定组件包括依次设置于限位通孔内的锁块(6)、为锁块(6)提供复位弹力的弹簧(7)和与限位通孔螺接的限位件(8)；燕尾槽(3)与燕尾凸台(4)完成配合后锁块(6)在弹簧(7)的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面(12)适于抵靠在燕尾凸台(4)的相应端面上，锁块(6)上背对阻挡面的一侧设有倾斜引导面(9)。

2.根据权利要求1所述的晶棒磨边设备的打磨组件，其特征在于：磨盘(2)上表面设有若干向上凸起的打磨凸条(10)，打磨凸条(10)上端面为打磨面。

3.根据权利要求2所述的晶棒磨边设备的打磨组件，其特征在于：多个打磨凸条(10)由磨盘(2)中心向外呈辐射状延伸，相邻打磨凸条(10)之间形成排料槽(11)。