CN205129592U - 双面驱动的双压轴晶面抛光机 - Google Patents
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Abstract
双面驱动的双压轴晶面抛光机，在其机座的中心安装有抛光盘转轴，抛光盘转轴的上端固定安装抛光盘，在机座的上方安装有上支架，上支架上安装有固定压片装置，固定压片装置的升降气缸的下端安装晶片固定压盘，固定压盘上开有晶片固定孔，在固定压片装置的升降气缸的升降杆顶端安装有转动连接器，转动连接器下端安装转动杆，转动杆的端头与晶片固定压盘连接，在转动杆的中部安装有被动齿轮，在上支架上安装有副电机，副电机的转轴上安装有长齿轮，长齿轮与被动齿轮啮合。由于在固定压盘带动其下的晶片在抛光盘上再次转动，晶片的位置不断从抛光盘的中心转动到其边沿，相对运动速度加快，各晶片的表面与抛光盘的接触较均匀，晶片抛光完成的时间较短。
Description
技术领域
本实用新型属于晶片表面抛光设备技术领域，涉及一种双面驱动的双压轴晶面抛光机。
背景技术
现有技术中，人造蓝宝石晶片在加工过程中，晶片的两个表面在进行精磨后，还需要对两个表面进行抛光，现有的晶面抛光机为单面的抛光机，其机座的中心安装有抛光盘转轴，抛光盘转轴的下端通过传动齿轮连接主电机，抛光盘转轴的上端固定安装抛光盘，抛光盘的外围安装有抛光液的接盘，在机座的上方安装有上支架，上支架上安装有固定压片装置，固定压片装置的升降气缸的下端安装晶片固定压盘，固定压盘上开有晶片固定孔，抛光盘的上方安装抛光液加入管。这种晶面抛光机，晶片固定在固定压盘的晶片固定孔中，用气缸压在抛光盘表面，依靠抛光盘的转动，对晶片进行抛光，由于晶面抛光机的固定压盘不会转动，在抛光时，固定压盘下距离抛光盘中心点较远的晶片固定孔中的晶片，抛光完成的速度快，距中心点近的晶片抛光完成的速度慢，抛光完成的时间需要以抛光慢的晶片完成抛光的时间来确定，设备的生产效率大大降低，并且在固定压盘下，各个点上晶片的抛光质量差异较大。
发明内容
为解决现有技术中晶面抛光机对晶片进行抛光时，固定压盘下，各个点上晶片的抛光质量差异较大，设备的生产效率较低的问题，本实用新型提供一种双面驱动的双压轴晶面抛光机，解决现有技术中存在的问题。
实现本实用新型目的的技术方案是：一种双面驱动的双压轴晶面抛光机，在其机座的中心安装有抛光盘转轴，抛光盘转轴的下端通过传动齿轮连接主电机，抛光盘转轴的上端固定安装抛光盘，抛光盘的外围安装有抛光液的接盘，在机座的上方安装有上支架，上支架上安装有固定压片装置，固定压片装置的升降气缸的下端安装晶片固定压盘，晶片固定压盘上开有晶片固定孔，抛光盘的上方安装抛光液加入管，在固定压片装置的升降气缸的升降杆顶端安装有转动连接器，转动连接器下端安装转动杆，转动杆的端头与晶片固定压盘连接，在转动杆的中部安装有被动齿轮，在上支架上安装有副电机，副电机的转轴上安装有长齿轮，长齿轮与被动齿轮啮合，在上支架上的固定压片装置安装有两套，两套的结构相同。
采用本技术方案，在晶片固定压盘的连接杆上安装被动齿轮，用副电机带动被动齿轮转动，被动齿轮带动固定压盘转动；在抛光盘转动抛光时，固定压盘带动其下的晶片在抛光盘上再次转动，晶片的位置不断从抛光盘的中心转动到其边沿，相对运动速度加快，各晶片的表面与抛光盘的接触较均匀，晶片抛光完成的时间较统一。因此，用本设备抛光的晶片抛光质量一致性好，所用的抛光时间大大缩短。为增加晶片抛光的一致性，可将固定压盘设计在抛光盘的两侧，避免抛光盘与固定压盘中心相对，出现中心和边沿位置的晶片抛光速度和质量不一致的问题。
附图说明
图1为本实用新型的剖面结构示意图。
图2为图1中A—A向，晶片固定压盘在抛光盘上的结构示意图。
具体实施方式
实施例：如图1和图2所示，一种双面驱动的双压轴晶面抛光机，在其机座3的中心安装有抛光盘转轴2，抛光盘转轴2的下端通过传动齿轮连接主电机1，抛光盘转轴2的上端固定安装抛光盘4，抛光盘4的外围安装有抛光液的接盘7，在机座3的上方安装有上支架8，上支架8上安装有固定压片装置，固定压片装置的升降气缸15的下端安装晶片固定压盘6，晶片固定压盘6上开有晶片固定孔5，抛光盘4的上方安装抛光液加入管14，其特征在于：在固定压片装置的升降气缸15的升降杆顶端安装有转动连接器13，转动连接器13下端安装转动杆11，转动杆11的端头与晶片固定压盘6连接，在转动杆11的中部安装有被动齿轮10，在上支架8上安装有副电机12，副电机12的转轴上安装有长齿轮9，长齿轮9与被动齿轮10啮合，在上支架8上的固定压片装置安装有两套，两套的结构相同。
Claims (1)
1.双面驱动的双压轴晶面抛光机，在其机座（3）的中心安装有抛光盘转轴（2），抛光盘转轴（2）的下端通过传动齿轮连接主电机（1），抛光盘转轴（2）的上端固定安装抛光盘（4），抛光盘（4）的外围安装有抛光液的接盘（7），在机座（3）的上方安装有上支架（8），上支架（8）上安装有固定压片装置，固定压片装置的升降气缸（15）的下端安装晶片固定压盘（6），晶片固定压盘（6）上开有晶片固定孔（5），抛光盘（4）的上方安装抛光液加入管（14），其特征在于：在固定压片装置的升降气缸（15）的升降杆顶端安装有转动连接器（13），转动连接器（13）下端安装转动杆（11），转动杆（11）的端头与晶片固定压盘（6）连接，在转动杆（11）的中部安装有被动齿轮（10），在上支架（8）上安装有副电机（12），副电机（12）的转轴上安装有长齿轮（9），长齿轮（9）与被动齿轮（10）啮合，在上支架（8）上的固定压片装置安装有两套，两套的结构相同。
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| CN201520936473.2U CN205129592U (zh) | 2015-11-23 | 2015-11-23 | 双面驱动的双压轴晶面抛光机 |
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Publications (1)
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| CN205129592U true CN205129592U (zh) | 2016-04-06 |
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ID=55615416
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112157552A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-01 | 深圳利朋技术研发有限公司 | 一种机械加工研磨装置 |
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2015
- 2015-11-23 CN CN201520936473.2U patent/CN205129592U/zh active Active
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
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