CN205115664U - 一种用于单晶炉的二次填料装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种用于单晶炉的二次填料装置，其包括：储料桶；固定组件，用于将所述储料桶固定在所述主炉室的炉口上；所述固定组件包括环状连接件以及设置于环状连接件上的多个卡扣件；所述环状连接件套设于所述储料桶上并通过螺纹组件与所述储料桶固定连接，所述卡扣件包括连接于环状连接件上的支撑部、设置于支撑部中转轴以及通过该转轴与支撑部可转动连接的卡扣部；所述环状连接件的外径略小于所述副炉室的内径；其中，以所述转轴为分界线，所述卡扣部中，朝向所述环状连接件内部的第一端的重量大于朝向所述环状连接件外部的第二端的重量；所述环状连接件上对应于所述卡扣部第二端的位置设置有第一避让孔。

Description

一种用于单晶炉的二次填料装置
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种用于单晶炉的二次填料装置。
背景技术
单晶炉是生产单晶硅棒的设备，其生产过程为将装满多晶硅料的石英坩埚放入单晶炉内在负压状态下加热融化为液体硅料，再通过籽晶拉制成单晶硅，石英坩埚内的液体硅料全部被拉制成单晶硅棒，待冷却后打开单晶炉取出单晶硅棒成品。
由于多晶硅材料在块状时，在石英坩埚中体积大于液体状态，所以，当多晶硅在块状时装入到单晶炉内石英坩埚中，待化为液态硅时，其体积小于多晶硅在块状时的体积，在石英坩埚中多晶硅块的容量与熔解后的液态硅的容量有很大的差距，直接导致石英坩埚不能充分利用，影响单晶硅的炉产量。由于石英坩埚的容积是相对固定的，因而单晶炉一次装料无法用足石英坩埚的容积，严重影响单晶炉石英坩埚的利用率，也增加了热量损失，因此，生产中需要一种装置，当石英坩埚内固体硅熔化后，在石英坩埚中空出的部分中，能够最大限度二次加入固体硅至石英坩埚中熔化，在拉晶前使石英坩埚中的液态硅达到满埚程度。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种用于单晶炉的二次填料装置，以解决目前单晶炉制备单晶时存在单个周期内炉产量较低以及石英坩埚的利用率低的问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下的技术方案：
一种用于单晶炉的二次填料装置，所述单晶炉包括主炉室、副炉室以及主炉室和副炉室之间的过渡室，其中，所述过渡室的内径大于所述副炉室的内径，所述过渡室的内径大于所述主炉室的炉口的内径；该二次填料装置包括：储料桶；固定组件，用于将所述储料桶固定在所述主炉室的炉口上；所述固定组件包括环状连接件以及设置于环状连接件上的多个卡扣件；所述环状连接件套设于所述储料桶上并通过螺纹组件与所述储料桶固定连接，所述卡扣件包括连接于环状连接件上的支撑部、设置于支撑部中转轴以及通过该转轴与支撑部可转动连接的卡扣部；所述环状连接件的外径略小于所述副炉室的内径；其中，以所述转轴为分界线，所述卡扣部中，朝向所述环状连接件内部的第一端的重量大于朝向所述环状连接件外部的第二端的重量；所述环状连接件上对应于所述卡扣部第二端的位置设置有第一避让孔；当所述二次填料装置位于所述副炉室中时，所述卡扣部的第二端被压迫收容于所述第一避让孔中；当所述二次填料装置从所述副炉室进入到所述过渡室时，由于所述过渡室的内径大于所述副炉室的内径，所述卡扣部在自身重量的作用下，其第二端从所述第一避让孔中旋转出；当所述二次填料装置进入到所述主炉室，所述卡扣部的第二端卡合在所述主炉室的炉口上，将所述储料桶固定。
具体地，所述单晶炉中设置有升降机构；所述储料桶具有上填料口和下卸料口，所述下卸料口设置有封堵件，该封堵件与所述储料桶铰接；所述储料桶还连接有多个吊杆，用于将所述储料桶吊入至所述主炉室内或吊出，每一所述吊杆的上端与所述升降机构连接、下端与所述封堵件连接。
具体地，所述卡扣部的第一端还连接有第一横杆，以增加该第一端的重量；所述卡扣部的第二端还连接有第二横杆，以增加该第二端与所述主炉室的炉口边缘的卡合面积。
具体地，所述卡扣部的顶面，从第一端到第二端呈弧面过渡，并且第一端高于第二端，以使所述二次填料装置从所述过渡室提升到所述副炉室的过程中，所述卡扣部的第二端可顺利地被压迫收容于所述第一避让孔中。
具体地，多个所述卡扣件呈圆周对称地设置在所述环状连接件上。
具体地，所述卡扣件的数量为3个。
具体地，所述吊杆位于所述环状连接件中，并且所述环状连接件上设置有第二避让孔，所述吊杆穿过所述第二避让孔。
具体地，所述封堵件包括两个封堵部，两个所述封堵部拼合后可封堵所述下卸料口；所述吊杆的数量为两个，对称地位于所述储料桶的两侧，每一吊杆包括主杆和副杆，所述主杆的第一端与所述升降机构连接，第二端铰接有两个副杆，每一副杆分别连接到一个所述封堵部；当所述储料桶背固定在所述主炉室的炉口上之后，所述升降机构驱动所述主杆继续下降，所述主杆带动所述副杆推开所述两个封堵部。
具体地，所述储料桶的外壁上沿高度方向开设有多个螺纹孔，所述螺纹组件连接与所述螺纹孔，将所述环状连接件与储料桶固定连接；其中，通过选择连接不同的螺纹孔的高度位置，以选择所述储料桶伸入到所述主炉室中的高度。
相比于现有技术，本实用新型实施例提供的一种用于单晶炉的二次填料装置，在填料时，当所述二次填料装置位于所述副炉室中时，所述卡扣部的第二端被压迫收容于所述第一避让孔中；当所述二次填料装置从所述副炉室进入到所述过渡室时，由于所述过渡室的内径大于所述副炉室的内径，所述卡扣部在自身重量的作用下，其第二端从所述第一避让孔中旋转出；当所述二次填料装置进入到所述主炉室，所述卡扣部的第二端卡合在所述主炉室的炉口上，将所述储料桶固定。当填料完成后，所述二次填料装置从所述过渡室提升到所述副炉室的过程中，所述卡扣部的第二端可被压迫收容于所述第一避让孔中，该装置可以顺利地从副炉室取出。该装置解决了目前单晶炉制备单晶时存在单个周期内炉产量较低以及石英坩埚的利用率低的问题。
附图说明
图1是本实用新型实施例中的二次填料装置的结构示意图。
图2是本实用新型实施例中的固定组件的俯视图。
图3是本实用新型实施例中的固定组件与储料桶之间的连接图示。
图4是本实用新型实施例中的卡扣部位于副炉室中的状态示意图。
图5是本实用新型实施例中的卡扣部与主炉室炉口卡扣的状态示意图。
图6是本实用新型实施例中的吊杆与封堵件之间的连接图示。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实例，而不是全部实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护范围。
在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本实用新型，在附图中仅仅示出了与根据本实用新型的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本实用新型关系不大的其他细节。
参阅图1，本实施例提供了一种用于单晶炉的二次填料装置。如图1所示，通常地，单晶炉包括主炉室1、副炉室2以及主炉室1和副炉室2之间的过渡室3，其中，所述过渡室3的内径大于所述副炉室2的内径，所述过渡室3的内径大于所述主炉室1的炉口1a的内径。主炉室1中设置有石英坩埚1b，在进行二次填料时，二次填料装置4从副炉室2吊入到主炉室1中，向石英坩埚1b填料。
其中，如图1所示，所述二次填料装置4包括储料桶10和固定组件20，固定组件20用于将所述储料桶10固定在所述主炉室1的炉口1a上。所述单晶炉中设置有升降机构5；所述储料桶10具有上填料口和下卸料口，所述下卸料口设置有封堵件40，该封堵件40与所述储料桶10铰接；所述储料桶10还连接有多个吊杆50，用于将所述储料桶10吊入至所述主炉室1内或吊出，每一所述吊杆50的上端与所述升降机构5连接、下端与所述封堵件40连接。
具体地，参阅图1-图3，其中，图2示出了固定组件的结构示意图，图3示出了固定组件与储料桶之间的连接图示(图3中省略了如图2中的卡扣件)。所述固定组件20包括环状连接件21以及设置于环状连接件21上的多个卡扣件22。所述环状连接件21套设于所述储料桶10上并通过螺纹组件30与所述储料桶10固定连接，所述卡扣件22包括连接于环状连接件21上的支撑部221、设置于支撑部221中转轴222以及通过该转轴222与支撑部221可转动连接的卡扣部223；所述环状连接件21的外径略小于所述副炉室2的内径。其中，以所述转轴222为分界线，所述卡扣部223中，朝向所述环状连接件21内部的第一端223a的重量大于朝向所述环状连接件21外部的第二端223b的重量；所述环状连接件21上对应于所述第二端223b的位置设置有第一避让孔211。所述吊杆50位于所述环状连接件21中，并且所述环状连接件21上设置有第二避让孔212，所述吊杆50穿过所述第二避让孔212。
具体地，如图3所示，所述储料桶10的外壁上沿高度方向开设有多个螺纹孔11，所述螺纹组件30连接于所述螺纹孔11，将所述环状连接件21与所述储料桶10固定连接；其中，通过选择连接不同的螺纹孔11的高度位置，以选择所述储料桶10伸入到所述主炉室1中的高度。
如图4所示，当所述二次填料装置4位于所述副炉室2中时，所述卡扣部223的第二端223b被压迫收容于所述第一避让孔211中，此时，二次填料装置4可顺利通过副炉室2。
如图5所示，当所述二次填料装置4从所述副炉室2进入到所述过渡室3时，由于所述过渡室3的内径大于所述副炉室2的内径，所述卡扣部223在自身重量的作用下，其第二端223b从所述第一避让孔211中旋转出；当所述二次填料装置4进入到所述主炉室1，所述卡扣部223的第二端223b卡合在所述主炉室1的炉口1a上，将所述储料桶10固定。
进一步地，如图2所示，所述卡扣部223的第一端223a还连接有第一横杆224，以增加该第一端223a的重量；所述卡扣部223的第二端223b还连接有第二横杆225，以增加该第二端223b与所述主炉室1的炉口1a边缘的卡合面积。
进一步地，如图4和图5所示，所述卡扣部223的顶面，从第一端223a到第二端223b呈弧面过渡，并且第一端223a高于第二端223b，以使所述二次填料装置4从所述过渡室3提升到所述副炉室2的过程中，所述卡扣部223的第二端223b可顺利地被压迫收容于所述第一避让孔211中。
如图2所示，作为优选的方案，多个所述卡扣件22呈圆周对称地设置在所述环状连接件21上，本实施例中，所述卡扣件22的数量为3个。
进一步地，如图6所示，，所述封堵件40包括两个封堵部41，两个所述封堵部41拼合后可封堵所述下卸料口；所述吊杆50的数量为两个，对称地位于所述储料桶10的两侧，每一吊杆50包括主杆51和副杆52，所述主杆51的第一端与所述升降机构5连接，第二端铰接有两个副杆52，每一副杆52分别连接到一个所述封堵部41；当所述储料桶10被固定在所述主炉室1的炉口1a上之后，所述升降机构5驱动所述主杆51继续下降，所述主杆51带动所述副杆52推开所述两个封堵部41。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于单晶炉的二次填料装置，所述单晶炉包括主炉室(1)、副炉室(2)以及主炉室(1)和副炉室(2)之间的过渡室(3)，其中，所述过渡室(3)的内径大于所述副炉室(2)的内径，所述过渡室(3)的内径大于所述主炉室(1)的炉口(1a)的内径；其特征在于，该二次填料装置(4)包括：
储料桶(10)；
固定组件(20)，用于将所述储料桶(10)固定在所述主炉室(1)的炉口(1a)上；所述固定组件(20)包括环状连接件(21)以及设置于环状连接件(21)上的多个卡扣件(22)；所述环状连接件(21)套设于所述储料桶(10)上并通过螺纹组件(30)与所述储料桶(10)固定连接，所述卡扣件(22)包括连接于环状连接件(21)上的支撑部(221)、设置于支撑部(221)中转轴(222)以及通过该转轴(222)与支撑部(221)可转动连接的卡扣部(223)；所述环状连接件(21)的外径略小于所述副炉室(2)的内径；
其中，以所述转轴(222)为分界线，所述卡扣部(223)中，朝向所述环状连接件(21)内部的第一端(223a)的重量大于朝向所述环状连接件(21)外部的第二端(223b)的重量；所述环状连接件(21)上对应于所述第二端(223b)的位置设置有第一避让孔(211)；
当所述二次填料装置(4)位于所述副炉室(2)中时，所述卡扣部(223)的第二端(223b)被压迫收容于所述第一避让孔(211)中；当所述二次填料装置(4)从所述副炉室(2)进入到所述过渡室(3)时，由于所述过渡室(3)的内径大于所述副炉室(2)的内径，所述卡扣部(223)在自身重量的作用下，其第二端(223b)从所述第一避让孔(211)中旋转出；当所述二次填料装置(4)进入到所述主炉室(1)，所述卡扣部(223)的第二端(223b)卡合在所述主炉室(1)的炉口(1a)上，将所述储料桶(10)固定。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的二次填料装置，其特征在于，所述单晶炉中设置有升降机构(5)；所述储料桶(10)具有上填料口和下卸料口，所述下卸料口设置有封堵件(40)，该封堵件(40)与所述储料桶(10)铰接；所述储料桶(10)还连接有多个吊杆(50)，用于将所述储料桶(10)吊入至所述主炉室1内或吊出，每一所述吊杆(50)的上端与所述升降机构(5)连接、下端与所述封堵件(40)连接。
3.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的二次填料装置，其特征在于，所述卡扣部(223)的第一端(223a)还连接有第一横杆(224)，以增加该第一端(223a)的重量；所述卡扣部(223)的第二端(223b)还连接有第二横杆(225)，以增加该第二端(223b)与所述主炉室(1)的炉口(1a)边缘的卡合面积。
4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的二次填料装置，其特征在于，所述卡扣部(223)的顶面，从第一端(223a)到第二端(223b)呈弧面过渡，并且第一端(223a)高于第二端(223b)，以使所述二次填料装置(4)从所述过渡室(3)提升到所述副炉室(2)的过程中，所述卡扣部(223)的第二端(223b)可顺利地被压迫收容于所述第一避让孔(211)中。
5.根据权利要求3所述的用于单晶炉的二次填料装置，其特征在于，多个所述卡扣件(22)呈圆周对称地设置在所述环状连接件(21)上。
6.根据权利要求5所述的用于单晶炉的二次填料装置，其特征在于，所述卡扣件(22)的数量为3个。
7.根据权利要求2所述的用于单晶炉的二次填料装置，其特征在于，所述吊杆(50)位于所述环状连接件(21)中，并且所述环状连接件(21)上设置有第二避让孔(212)，所述吊杆(50)穿过所述第二避让孔(212)。
8.根据权利要求7所述的用于单晶炉的二次填料装置，其特征在于，所述封堵件(40)包括两个封堵部(41)，两个所述封堵部(41)拼合后可封堵所述下卸料口；所述吊杆(50)的数量为两个，对称地位于所述储料桶(10)的两侧，每一吊杆(50)包括主杆(51)和副杆(52)，所述主杆(51)的第一端与所述升降机构(5)连接，第二端铰接有两个副杆(52)，每一副杆(52)分别连接到一个所述封堵部(41)；当所述储料桶(10)被固定在所述主炉室(1)的炉口(1a)上之后，所述升降机构(5)驱动所述主杆(51)继续下降，所述主杆(51)带动所述副杆(52)推开所述两个封堵部(41)。
9.根据权利要求1所述的用于单晶炉的二次填料装置，其特征在于，所述储料桶(10)的外壁上沿高度方向开设有多个螺纹孔(11)，所述螺纹组件(30)连接于所述螺纹孔(11)，将所述环状连接件(21)与所述储料桶(10)固定连接；其中，通过选择连接不同的螺纹孔(11)的高度位置，以选择所述储料桶(10)伸入到所述主炉室(1)中的高度。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017063410A1 (zh) * 2015-10-15 2017-04-20 严利容 一种用于单晶炉的二次填料装置
CN117208602A (zh) * 2023-11-07 2023-12-12 江苏道金智能制造科技股份有限公司 环式石墨化填料装置及填料方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019015583A1 (en) * 2017-07-17 2019-01-24 Nanjing Ruijie Pharmatech Co., Ltd. NOVEL COMPOUNDS AND THEIR USES AS ACC INHIBITORS

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4360664B2 (ja) * 2000-09-07 2009-11-11 コバレントマテリアル株式会社 石英るつぼの製造装置
JP2004182569A (ja) * 2002-12-05 2004-07-02 Konan Koki Kk 原料供給装置
CN201331263Y (zh) * 2008-12-12 2009-10-21 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 一种单晶硅热场二次加料装置
CN202017072U (zh) * 2010-11-29 2011-10-26 镇江环太硅科技有限公司 单晶炉二次加料装置
CN202148365U (zh) * 2011-07-28 2012-02-22 江苏兆晶光电科技发展有限公司 直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉
CN202671707U (zh) * 2012-05-07 2013-01-16 常州顺风光电材料有限公司 直拉硅单晶二次加料装置
CN203668558U (zh) * 2014-04-25 2014-06-25 上海合晶硅材料有限公司 单晶炉加料器及包括其的单晶炉
CN203820919U (zh) * 2014-05-08 2014-09-10 英利能源（中国）有限公司 一种用于单晶炉的内置式加料器
CN203820918U (zh) * 2014-05-08 2014-09-10 英利能源（中国）有限公司 一种用于单晶炉的二次加料装置及其加料器
CN205115664U (zh) * 2015-10-15 2016-03-30 阳光能源（青海）有限公司 一种用于单晶炉的二次填料装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017063410A1 (zh) * 2015-10-15 2017-04-20 严利容 一种用于单晶炉的二次填料装置
CN117208602A (zh) * 2023-11-07 2023-12-12 江苏道金智能制造科技股份有限公司 环式石墨化填料装置及填料方法
CN117208602B (zh) * 2023-11-07 2024-03-08 江苏道金智能制造科技股份有限公司 环式石墨化填料装置及填料方法

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