CN205057817U - 一种用于硅片的喷砂装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于硅片的喷砂装置，解决了现有技术中喷砂设备结构不合理、设备检修困难的不足。本实用新型提供的一种用于硅片的喷砂装置，箱体分为上腔和下腔，在上腔内设置有喷枪、排砂口，下腔内设置喷砂器，排砂口通过排砂管与喷砂器连接，可以方便对砂料进行回收使用，喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，以配合喷枪完成喷砂操作，硅片喷砂操作方便而且砂料利用率高；另外，位于下腔的喷砂器固定在固定板上，并且，固定板滑动连接在滑轨上，也就是说需要对喷砂器进行检修时，可以先将锁紧螺钉松开，然后将固定板抽出下腔，位于固定板上的喷砂器也会被固定板带出下腔，此时，即可方便地对喷砂器进行检修。

Description

一种用于硅片的喷砂装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片的喷砂装置。

背景技术

硅片在生产过程中，将硅锭切割成硅片后部分硅片可能需要进行喷砂处理，以利于硅片的后续处理。

现有技术中没有专门针对硅片进行喷砂处理的装置，由于硅片生产过程中可能并不需要对所有硅片进行喷砂，因此，现有技术中对硅片进行喷砂时均在生产现场直接进行，硅片喷砂处理过程中砂料回收率低，并且，由于喷砂时没有防护措施，硅片的喷砂过程对环境影响大。为了减小喷砂过程对环境的影响，现有技术中也有使用应用于其它领域的喷砂设备对硅片进行喷砂处理，但现有技术中的喷砂设备结构不合，造成喷砂设备检修困难。

发明内容

本实用新型提供的一种用于硅片的喷砂装置，旨在克服现有技术中喷砂设备结构不合理、设备检修困难的不足。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种用于硅片的喷砂装置，包括箱体，所述箱体内设有将箱体分为上腔和下腔的隔板，所述隔板上开设有排砂口，所述箱体上开设有取放窗口，所述箱体上还开设有观察窗口，所述取放窗口和观察窗口均与上腔相通，所述箱体上还固定有封闭观察窗口的亚克力板，所述亚克力板通过粘接方式固定在箱体上，所述箱体上设有封闭取放窗口的密封板，所述密封板的上端通过合页转动连接在箱体上，所述密封板上粘接有提高密封板与箱体之间密封性能的密封垫片，该用于硅片的喷砂装置还包括喷枪，所述喷枪位于上腔内，所述下腔内固定有喷砂器，所述下腔内设有固定喷砂器的固定板，所述固定板滑动连接在箱体上，所述箱体上固定有滑轨，所述滑轨上开设有与固定板配合的滑槽，所述滑槽内涂设有润滑脂，所述滑轨上固定有将固定板锁紧在滑槽内的锁紧螺钉，所述箱体上还开设有检修口，所述检修口与下腔相通，所述箱体上固定有封闭检修口的检修门，所述排砂口与喷砂器之间通过排砂管连接，所述喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，所述隔板上开设有穿设喷砂管的通孔，所述箱体上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封闭手持窗口的手套，所述手套位于上腔内。

上述构成中，喷砂器固定在固定板上，固定板滑动连接在箱体内，箱体内固定有滑轨，滑轨上开设有滑槽，固定板可以在滑槽内滑动，对喷砂器进行检修时，可以方便地打开检修门，然后将固定板由下腔内抽出，再将连接于固定板上的支撑柱展开，以对固定板进行支撑，避免固定板与滑轨之间产生应力集中，此时，即可方便地对喷砂器进行检修，检修操作十分方便。

一种可选的方案，所述密封板的下端设有容纳槽，所述容纳槽内粘接有第一磁铁，所述箱体上在位于取放窗口的下端设有与第一磁铁吸附的第二磁铁，所述第二磁铁粘接在箱体上。在密封板上设置容纳槽，第一磁铁固定于容纳槽内，磁铁与密封板连接可靠；另外，第一磁铁与第二磁铁产生吸附力，提高了密封板的密封效果。

一种可选的方案，所述固定板上通过转轴转动连接有至少两根支撑固定板的支撑柱，所述固定板上开设有容纳支撑柱的槽体，所述固定板上还粘接有弹性卡块。

一种可选的方案，所述固定板上还固定有便于将固定板抽出的把手。在固定板上固定把手，抽出固定板时操作更加方便。

一种可选的方案，所述喷砂器通过螺柱固定于固定板上。喷砂器通过螺柱固定在固定板上，装配方便。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种用于硅片的喷砂装置，具有如下优点：箱体分为上腔和下腔，在上腔内设置有喷枪、排砂口，下腔内设置喷砂器，排砂口通过排砂管与喷砂器连接，可以方便对砂料进行回收使用，喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，以配合喷枪完成喷砂操作，硅片喷砂操作方便而且砂料利用率高；另外，位于下腔的喷砂器固定在固定板上，并且，固定板滑动连接在滑轨上，也就是说需要对喷砂器进行检修时，可以先将锁紧螺钉松开，然后将固定板抽出下腔，位于固定板上的喷砂器也会被固定板带出下腔，此时，即可方便地对喷砂器进行检修；而为了避免固定板与滑轨之间产生应力集中，固定板上连接有支撑柱，支撑柱可以对固定板起到支撑作用，延长了固定板、滑轨的使用寿命。

附图说明

附图1是本实用新型一种用于硅片的喷砂装置的主视图；

附图2是附图1中A-A处的剖视图；

附图3是本实用新型一种用于硅片的喷砂装置中固定板抽出后的示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的一种用于硅片的喷砂装置作进一步说明。如图1、图2、图3所示，一种用于硅片的喷砂装置，包括箱体1，该箱体1由支架和焊接在支架上的钢板组成，所述箱体1内设有将箱体1分为上腔2和下腔3的隔板4，所述隔板4上开设有排砂口5，所述箱体1上开设有取放窗口6，所述箱体1上还开设有观察窗口8，所述取放窗口6和观察窗口8均与上腔2相通，所述箱体1上还固定有封闭观察窗口8的亚克力板7，所述亚克力板7通过粘接方式固定在箱体1上，所述箱体1上设有封闭取放窗口6的密封板9，所述密封板9也可以为亚克力板7，以使取放窗口6也可以作观察窗口8使用，所述密封板9的上端通过合页10转动连接在箱体1上，所述密封板9上粘接有提高密封板9与箱体1之间密封性能的密封垫片11，在密封板9自重的作用下，位于密封板9上的密封垫片11可以良好地贴合在箱体1上，实现密封作用，当然，为了进一步的提高密封板9的密封效果，所述密封板9的下端设有容纳槽，所述容纳槽内粘接有第一磁铁24，所述箱体1上在位于取放窗口6的下端设有与第一磁铁24吸附的第二磁铁25，所述第二磁铁25粘接在箱体1上；

参见图2，该用于硅片的喷砂装置还包括喷枪12，所述喷枪12位于上腔2内，所述下腔3内固定有喷砂器13，所述排砂口5与喷砂器13之间通过排砂管20连接，所述喷砂器13通过喷砂管21与喷枪12连接，所述隔板4上开设有穿设喷砂管21的通孔，所述箱体1上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口22，所述手持窗口22上固定有封闭手持窗口22的手套23，所述手套23位于上腔2内；

实施喷砂作业时，操作人员首先打开密封板9，将产品放置于上腔2内，然后在第一磁铁24、第二磁铁25吸附力的作用下，密封板9与箱体1之间产生良好的密封，操作人员将产品放入上腔2以后，通过手套23将手伸入上腔2内，打开喷砂器13，最后操作人员即可利用喷枪12进行喷砂处理，当然，在喷砂过程中操作人员还可以对产品进行相关的操作，喷砂完毕后，产品由取放窗口6取出；在喷砂过程中少量的砂料会保留在硅片上，大部分砂料会进入排砂口5，并经排砂管20进入喷砂器13内循环使用，大大提高了砂料的利用率。

参见图2，喷砂装置长散使用后需要对喷砂器13进行检修，但是喷砂器13位于下腔3内，即使打开检修门19，在下腔3内对喷砂器13进行检修仍然存在诸多不便，而为了使喷砂器13检修方便就必须将喷砂器13移出下腔3，当然，连接在喷砂器13上的喷砂管21、排砂管20及其它线路应有足够的长度和柔性，以使喷砂器13可以方便地移出下腔3，而不需要频繁地将连接于喷砂器13上的管路、线路拆除，喷砂器13的固定结构可以采用如下结构以使喷砂器13便于检修，所述下腔3内设有固定喷砂器13的固定板14，所述喷砂器13通过螺柱固定于固定板14上，所述固定板14滑动连接在箱体1上，所述箱体1上固定有滑轨15，所述滑轨15可以焊接在箱体1上，所述滑轨15上开设有与固定板14配合的滑槽16，所述滑槽16内涂设有润滑脂，所述滑轨15上固定有将固定板14锁紧在滑槽16内的锁紧螺钉17，该锁紧螺钉17可以避免固定板14由于喷砂器13的振动而自由运动，所述箱体1上还开设有检修口18，所述检修口18与下腔3相通，所述箱体1上固定有封闭检修口18的检修门19，检修门19可以通过连接螺钉固定在箱体1上，为了便于抽出固定板14，所述固定板14上还可以设置把手30；

参见图3，固定板14抽出下腔3以后，位于固定板14上的喷砂器13也同步被抽出下腔3，此时即可方便地对喷砂器13进行检修，但是，此时的固定板14位于下腔3外的一端是悬空的，固定板14与滑轨15之间会产生较大的应力集中，很有可能将滑轨15或固定板14损坏，为了克服固定板14与滑轨15之间的应力集中，所述固定板14上通过转轴26转动连接有至少两根支撑固定板14的支撑柱27，所述固定板14上开设有容纳支撑柱27的槽体28，所述固定板14上还粘接有弹性卡块29，固定板14抽出下腔3以后，可以方便地旋转支撑柱27使其对固定板14进行支撑，喷砂器13检修完毕后，可以地将支撑柱27收拢至槽体28内，利用弹性卡块29对支撑柱27进行卡紧，避免支撑柱27由于重力而自动脱离槽体28，使用十分方便。

以上仅为本实用新型的优选实施方式，旨在体现本实用新型的突出技术效果和优势，并非是对本实用新型的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是，一切基于本实用新型技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征，皆应涵盖于本实用新型所附权利要求主张的技术范畴内。

Claims (5)

1.一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内设有将箱体(1)分为上腔(2)和下腔(3)的隔板(4)，所述隔板(4)上开设有排砂口(5)，所述箱体(1)上开设有取放窗口(6)，所述箱体(1)上还开设有观察窗口(8)，所述取放窗口(6)和观察窗口(8)均与上腔(2)相通，所述箱体(1)上还固定有封闭观察窗口(8)的亚克力板(7)，所述亚克力板(7)通过粘接方式固定在箱体(1)上，所述箱体(1)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9)，所述密封板(9)的上端通过合页(10)转动连接在箱体(1)上，所述密封板(9)上粘接有提高密封板(9)与箱体(1)之间密封性能的密封垫片(11)，该用于硅片的喷砂装置还包括喷枪(12)，所述喷枪(12)位于上腔(2)内，所述下腔(3)内固定有喷砂器(13)，所述下腔(3)内设有固定喷砂器(13)的固定板(14)，所述固定板(14)滑动连接在箱体(1)上，所述箱体(1)上固定有滑轨(15)，所述滑轨(15)上开设有与固定板(14)配合的滑槽(16)，所述滑槽(16)内涂设有润滑脂，所述滑轨(15)上固定有将固定板(14)锁紧在滑槽(16)内的锁紧螺钉(17)，所述箱体(1)上还开设有检修口(18)，所述检修口(18)与下腔(3)相通，所述箱体(1)上固定有封闭检修口(18)的检修门(19)，所述排砂口(5)与喷砂器(13)之间通过排砂管(20)连接，所述喷砂器(13)通过喷砂管(21)与喷枪(12)连接，所述隔板(4)上开设有穿设喷砂管(21)的通孔，所述箱体(1)上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口(22)，所述手持窗口(22)上固定有封闭手持窗口(22)的手套(23)，所述手套(23)位于上腔(2)内。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于：所述密封板(9)的下端设有容纳槽，所述容纳槽内粘接有第一磁铁(24)，所述箱体(1)上在位于取放窗口(6)的下端设有与第一磁铁(24)吸附的第二磁铁(25)，所述第二磁铁(25)粘接在箱体(1)上。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于：所述固定板(14)上通过转轴(26)转动连接有至少两根支撑固定板(14)的支撑柱(27)，所述固定板(14)上开设有容纳支撑柱(27)的槽体(28)，所述固定板(14)上还粘接有弹性卡块(29)。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于：所述固定板(14)上还固定有便于将固定板(14)抽出的把手(30)。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于：所述喷砂器(13)通过螺柱固定于固定板(14)上。