CN205009417U - 一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，包括两个平行的滚筒，所述滚筒分别转动设置在滚筒固定盒顶部，两个滚筒之间的最小距离不超过试验晶棒的截面直径，所述试验晶棒放置在两个滚筒之间。本实用新型采用相对试验晶棒滚动的滚筒承托蓝宝石晶棒，避免相对摩擦对蓝宝石晶棒表面的磨损，其结构简单，操作简便，省力省时，并且多线切割切入面晶向偏差小，切割出晶片的TTV、WARP值小，很好的保证了多线切割蓝宝石镜片的切片质量，避免原材料的浪费，实用性与可靠性很好，对于蓝宝石晶棒多线切割良率提升能够得到很大的改善。

Description

一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置

技术领域

本实用新型属于蓝宝石晶向测试技术领域，具体涉及一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置。

背景技术

在蓝宝石C向晶棒切片时，必须测试出蓝宝石晶棒的A面晶向，而传统的测试晶棒A面装置是利用V型块及其固定装置，在测试晶棒的A面晶向时，需要转动晶棒，固定的V型块操作不方便且V型块与晶棒之间会产生磨损，V型块的磨损会导致测试出的晶棒A面不标准，从而导致多线切割翘片等不良产生。同时因为人造蓝宝石的价格昂贵，如果因测试蓝宝石A面晶向不准确，会导致整根晶棒切割出的晶片TTV、WARP偏大，则此根晶棒切割出的所有晶片会严重影响后段加工，更严重会导致整根晶棒报废，损失严重。

发明内容

本实用新型的技术目的是：为了能够更精确的检测出蓝宝石晶棒A面晶向，本实用新型提供了一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，可以很准确的测试出蓝宝石晶棒的A面晶向，增加了蓝宝石晶棒的切割良率。

本实用新型采用如下技术方案实现：

一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，包括两个平行的滚筒3，所述滚筒3分别转动设置在滚筒固定盒2顶部，两个滚筒之间的最小距离不超过试验晶棒的截面直径，所述试验晶棒4放置在两个滚筒之间。

进一步的，所述滚筒固定盒2具有一个底座1，所述底座1定位固定在定位仪底板5上。

进一步的，底座1和定向仪底板5的对应位置分别设有定位孔和中心锥，所述底座1通过定位孔和中心锥导向定位在定向仪底板5上，并通过定位销和螺栓固定连接。

进一步的，所述滚筒3对称设置在定位孔和中心锥的中心两侧。

进一步的，所述试验晶棒4的中心轴线位置高于滚筒3的顶部，保证试验晶棒放置在滚筒上，晶棒的下半部与滚筒接触，上半部均位于滚筒上方，便于光线对晶棒进行衍射实验。

进一步的，所述试验晶棒4的一端部伸出滚筒固定盒2，可在实验过程中，对试验晶棒进行轴向移动调节。

在本实用新型中，所述滚筒3具有滚筒芯棒31，所述滚筒芯棒31转动装配在滚筒固定盒2上。

进一步的，滚筒3采用树脂滚筒。

本实用新型装配到晶向检测仪器上，滚筒固定盒的中心位置与定向仪底板的中心锥配合，以保证滚筒固定盒的中心与定向仪底板中心对齐，滚筒固定盒上的树脂滚筒芯棒固定位置平行设计在设备基准面中心锥的两侧，确保测试时晶棒的中心轴在X光测量线的中心位置，减少了因位置偏差而引起的测试误差；定向仪发射器发射出的X光线通过蓝宝石的原子晶面经过特定角度进行衍射，旋转树脂滚筒，使晶棒转动寻找到特定角度下X光线衍射的最大电流峰值，平行于滚筒固定盒的上平面绘制A面标示线，从而测试出蓝宝石晶棒的A面晶向，使用树脂滚筒能够细微的调节试验晶棒的A面反馈的电流峰值，并且能够防止晶棒的碰伤。

由上所述，本实用新型采用相对试验晶棒滚动的滚筒承托蓝宝石晶棒，避免相对摩擦对蓝宝石晶棒表面的磨损，其结构简单，操作简便，省力省时，并且多线切割切入面晶向偏差小，切割出晶片的TTV、WARP值小，很好的保证了多线切割的切片质量，避免原材料的浪费，实用性与可靠性很好，对于蓝宝石晶棒多线切割良率提升能够得到很大的改善。

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型的等轴立体示意图。

图2为本实用新型的分解示意图。

图3为本实用新型的俯视图。

图中标号：1-底座，11-定位孔，2-滚筒固定盒，3-滚筒，31-滚筒芯棒，4-试验晶棒，5-定向仪底板，51-中心锥，6-发射器，7-接收器。

具体实施方式

实施例

参见图1，图示中的定位装置用于辅助测试蓝宝石晶棒A面晶向，包括底座1、滚筒固定盒2以及两个滚筒3，滚筒3采用树脂材质，避免接触蓝宝石晶棒时造成划伤，两个滚筒平行布置，并分别转动设置在滚筒固定盒2的顶部，两个滚筒之间的最小距离不超过试验晶棒的截面直径，保证试验晶棒能够承托放置在两个滚筒之间。

结合参见图2，滚筒固定盒2固设底座1，滚筒固定盒通过底座1定位固定在定位仪底板5上，具体的，底座1和定向仪底板5的对应位置分别设有定位孔和中心锥，本实施例中，底座1上设有定位孔11，与定向仪5上设置的中心锥51套接，底座1首先通过定位孔和中心锥导向定位在定向仪底板5上，再通过定位销和螺栓找准方位并固定连接。滚筒固定盒2上的两个滚筒3应当对称设置在定位孔和中心锥的中心两侧，确保测试时晶棒的中心轴在X光测量线的中心位置，减少了因位置偏差而引起的测试误差。

在检测试验时，定向仪的X光射线发射器6和接收器7分别对置在实验晶棒4的轴线两端，X光射线穿过试验晶棒发生衍射现象，反射出来的光线被接收器7接收，将晶棒圆柱面调节至定向仪X光线中心，调节树脂滚筒4，找到晶棒A面晶向的最大电流峰值，然后沿滚筒固定盒的上平面绘制A面标示线。

结合参见图3，本实施例中优选的，试验晶棒4的中心轴线位置高于滚筒3的顶部，保证试验晶棒放置在滚筒上，晶棒的下半部与滚筒接触，上半部均位于滚筒上方，便于X光线对晶棒进行衍射实验，试验晶棒4的一端部伸出滚筒固定盒2，可在实验过程中，轴向调节试验晶棒的位置，同时在转动调整试验晶棒4时，晶棒和树脂材质的滚筒之间产生相对滚动，避免发生相对摩擦，造成蓝宝石晶棒表面划伤。

优选的，滚筒3具有滚筒芯棒31，滚筒芯棒31可通过转动轴承等转动部件装配在滚筒固定盒2上。

以上仅为本实用新型具体实施案例说明，不能以此限定本实用新型的权利保护范围。凡根据本实用新型申请权利要求书及说明书内容所作的等效变化与修改，皆在本实用新型保护的范围内。

Claims (8)

1.一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，其特征在于：包括两个平行的滚筒(3)，所述滚筒(3)分别转动设置在滚筒固定盒(2)顶部，两个滚筒之间的最小距离不超过试验晶棒的截面直径，所述试验晶棒(4)放置在两个滚筒之间。

2.根据权利要求1所述的一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，所述滚筒固定盒(2)具有一个底座(1)，所述底座(1)定位固定在定位仪底板(5)上。

3.根据权利要求2所述的一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，所述底座(1)通过定位孔和中心锥导向定位在定向仪底板(5)上，并通过定位销和螺栓固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，所述滚筒(3)对称设置在定位孔和中心锥的中心两侧。

5.根据权利要求1所述的一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，所述试验晶棒(4)的中心轴线位置高于滚筒(3)的顶部。

6.根据权利要求5所述的一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，所述试验晶棒(4)的一端部伸出滚筒固定盒(2)。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，所述滚筒(3)具有滚筒芯棒(31)，所述滚筒芯棒(31)转动装配在滚筒固定盒(2)上。

8.根据权利要求7所述的一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，所述滚筒(3)采用树脂滚筒。