CN204954651U - 真空喷砂机的喷嘴结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空喷砂机的喷嘴结构，包括喷嘴和吸砂管，所述喷嘴有进气道，其创新点在于：还包括压缩气体进管和砂气混合仓管；而喷嘴与砂气混合仓管螺纹连接，压缩气体进管与砂气混合仓管螺纹连接；所述砂气混合仓管包括吸气进口、与吸气进口贯通的砂气混合室和与砂气混合室贯通的吸砂进口；所述压缩气体进管与吸气进口相连通，喷嘴的进气道与砂气混合室相贯通，吸砂管与吸砂进口相贯通。本实用新型能够保证均匀出砂，且不易造成管道堵塞。

Description

真空喷砂机的喷嘴结构

技术领域

本实用新型涉及一种喷嘴，具体涉及一种真空喷砂机的喷嘴结构。

背景技术

现有的真空喷砂机是用压缩气体使金刚砂产生一定的冲击力进入喷砂仓内，然后对喷砂仓内的硅片实施减薄处理。

已有技术中真空喷砂机的砂仓距离地面高度是0.5米左右，而喷嘴距离地面高度是2米左右，具体的喷砂过程是，压缩气体进入砂仓内使得金刚砂高速旋转，然后通过多根输砂管送至相应的喷嘴内，由喷嘴喷入喷砂仓内；由于多根输砂管内的气压不均匀，就容易造成部分的输砂管内出现堵塞以及不出砂的现象，因此，喷砂仓内的出砂也就不均匀，直接导致喷砂仓内的硅片减薄达不到要求或者硅片减薄量不均匀。

发明内容

本实用新型的目的是：提供一种能够保证均匀出砂，且不易造成管道堵塞的真空喷砂机的喷嘴结构，以克服现有技术的不足。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种真空喷砂机的喷嘴结构，包括喷嘴和吸砂管，所述喷嘴有进气道，其创新点在于：还包括压缩气体进管和砂气混合仓管；而喷嘴与砂气混合仓管螺纹连接，压缩气体进管与砂气混合仓管螺纹连接；所述砂气混合仓管包括吸气进口、与吸气进口贯通的砂气混合室和与砂气混合室贯通的吸砂进口；所述压缩气体进管与吸气进口相连通，喷嘴的进气道与砂气混合室相贯通，吸砂管与吸砂进口相贯通。

在上述技术方案中，还包括吸砂弯管接头，所述吸砂弯管接头的一端固定在砂气混合仓管上，并与砂气混合仓管的吸砂进口相贯通，另一端与吸砂管固定连接，并与吸砂管相贯通。

在上述技术方案中，所述砂气混合仓管的砂气混合室内腔呈横卧状E形结构。

在上述技术方案中，所述喷嘴的进气道是由相互贯通的锥孔和直孔构成，且锥孔的小孔径与直孔的孔径相等，所述砂气混合室与锥孔相贯通。

在上述技术方案中，所述吹砂弯管接头另一端具有法兰，法兰与吸砂管固定连接。

本实用新型所具有的积极效果是：采用本实用新型的喷嘴结构后，由于本实用新型还包括压缩气体进管和砂气混合仓管；而喷嘴与砂气混合仓管螺纹连接，压缩气体进管与砂气混合仓管螺纹连接；所述砂气混合仓管包括吸气进口、与吸气进口贯通的砂气混合室和与砂气混合室贯通的吸砂进口；所述压缩气体进管与吸气进口相连通，喷嘴的进气道与砂气混合室相贯通，吸砂管与吸砂进口相贯通；使用时，压缩气体通过压缩气体进管进入到砂气混合仓管的砂气混合室内，然后产生一股虹吸真空，对吸砂管的管口产生吸力，这样，吸砂管内的金刚砂可随着吸力进入到砂气混合仓管的砂气混合室内，并与砂气混合室内的压缩气体混合后再通过喷嘴喷入真空喷砂机的喷砂仓内，对硅片实施减薄处理，这样，混合后的压缩气体和金刚砂由喷嘴喷出的金刚砂的气压均匀，就不会造成已有技术中输砂管管内出现堵塞的情况，因此，喷砂仓内的出砂也就均匀，硅片减薄也能达到要求，使得硅片的减薄量均匀，实现了本实用新型的目的。

附图说明

图1是本实用新型一种具体实施方式的结构示意图；

图2是本实用新型砂气混合仓管的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图以及给出的实施例，对本实用新型作进一步的说明，但并不局限于此。

如图1、2所示，一种真空喷砂机的喷嘴结构，包括喷嘴1和吸砂管2，所述喷嘴1有进气道1-1，还包括压缩气体进管3和砂气混合仓管4；而喷嘴1与砂气混合仓管4螺纹连接，压缩气体进管3与砂气混合仓管4螺纹连接；所述砂气混合仓管4包括吸气进口4-1、与吸气进口4-1贯通的砂气混合室4-2和与砂气混合室4-2贯通的吸砂进口4-3；所述压缩气体进管3与吸气进口4-1相连通，喷嘴1的进气道1-1与砂气混合室4-2相贯通，吸砂管2与吸砂进口4-3相贯通。

如图1所示，为了便于将砂气混合仓管4与吸砂管2相配装，还包括吸砂弯管接头5，所述吸砂弯管接头5的一端固定在砂气混合仓管4上，并与砂气混合仓管4的吸砂进口4-3相贯通，另一端与吸砂管2固定连接，并与吸砂管2相贯通。

如图1、2所示，为了使得压缩气体与金刚砂能够在砂气混合室内充分混合，所述砂气混合仓管4的砂气混合室4-2内腔呈横卧状E形结构。

如图1所示，为了保证喷嘴1能够气压均匀的对喷砂仓进行喷砂，以及提高本实用新型结构更合理，所述喷嘴1的进气道1-1是由相互贯通的锥孔1-1-1和直孔1-1-2构成，且锥孔1-1-1的小孔径与直孔1-1-2的孔径相等，所述砂气混合室4-2与锥孔1-1-1相贯通。

如图1所示，为了便于将吹砂弯管接头5与吸砂管2相配装，所述吹砂弯管接头5另一端具有法兰5-1，法兰5-1与吸砂管2固定连接。

本实用新型使用时，将压缩气体源与压缩气体进管3相连通，然后压缩气体通过压缩气体进管3进入到砂气混合仓管4吸气进口4-1，再进入到砂气混合室4-2内，然后产生一股虹吸真空，对吸砂管2的管口产生吸力，这样，吸砂管2内的金刚砂可随着吸力进入到砂气混合仓管4的砂气混合室4-2内，并与砂气混合室4-2内的压缩气体充分混合后再通过喷嘴1喷入真空喷砂机的喷砂仓内，对硅片实施减薄处理，这样，混合后的压缩气体和金刚砂通过喷嘴1喷出的金刚砂气压均匀，就不会造成已有技术中输砂管管内出现堵塞的情况，因此，喷砂仓内的出砂也就均匀，硅片减薄也能达到要求，使得硅片的减薄量均匀。

本实用新型小试结果显示，其效果是十分满意的。

Claims (5)

1.一种真空喷砂机的喷嘴结构，包括喷嘴（1）和吸砂管（2），所述喷嘴（1）有进气道（1-1），其特征在于：还包括压缩气体进管（3）和砂气混合仓管（4）；而喷嘴（1）与砂气混合仓管（4）螺纹连接，压缩气体进管（3）与砂气混合仓管（4）螺纹连接；所述砂气混合仓管（4）包括吸气进口（4-1）、与吸气进口（4-1）贯通的砂气混合室（4-2）和与砂气混合室（4-2）贯通的吸砂进口（4-3）；所述压缩气体进管（3）与吸气进口（4-1）相连通，喷嘴（1）的进气道（1-1）与砂气混合室（4-2）相贯通，吸砂管（2）与吸砂进口（4-3）相贯通。

2.根据权利要求1所述的真空喷砂机的喷嘴结构，其特征在于：还包括吸砂弯管接头（5），所述吸砂弯管接头（5）的一端固定在砂气混合仓管（4）上，并与砂气混合仓管（4）的吸砂进口（4-3）相贯通，另一端与吸砂管（2）固定连接，并与吸砂管（2）相贯通。

3.根据权利要求1所述的真空喷砂机的喷嘴结构，其特征在于：所述砂气混合仓管（4）的砂气混合室（4-2）内腔呈横卧状E形结构。

4.根据权利要求1所述的真空喷砂机的喷嘴结构，其特征在于：所述喷嘴（1）的进气道（1-1）是由相互贯通的锥孔（1-1-1）和直孔（1-1-2）构成，且锥孔（1-1-1）的小孔径与直孔（1-1-2）的孔径相等，所述砂气混合室（4-2）与锥孔（1-1-1）相贯通。

5.根据权利要求2所述的真空喷砂机的喷嘴结构，其特征在于：所述吸砂弯管接头（5）另一端具有法兰（5-1），法兰（5-1）与吸砂管（2）固定连接。