CN204927252U - 一种单面腐蚀制绒设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种单面腐蚀制绒设备，属于硅片制绒领域，包括制绒槽和传送装置，所述传送装置包括若干水平布置于所述制绒槽内的带液滚筒和驱动带液滚筒转动的驱动装置，所述带液滚筒垂直于制绒槽的前侧壁和后侧壁，所述制绒槽包括进料口和出料口，所述进料口和出料口处均设有液位调节装置。液位调节装置可将制绒槽内的制绒液刚好控制在硅片下表面处，使硅片下表面完全浸泡在制绒液中，从而达到单面制绒的效果。这种单面腐蚀制绒设备具有节约制绒液、制绒效率高的特点。

Description

一种单面腐蚀制绒设备

技术领域

本实用新型涉及硅片制绒领域，具体而言，涉及一种单面腐蚀制绒设备。

背景技术

现有的制绒工艺和设备都是将硅片完全浸没在药液里面，达到去除硅片损伤层及制绒的效果，但是在后续扩散工艺中是单面扩散，只对扩散面的绒面形态有要求，因此，只需要对扩散面的进行制绒就可以满足硅片的使用，并且双面腐蚀制绒工艺降低了硅片的厚度、浪费了化学品药液，这种双面腐蚀制绒的设备具有效率低，能耗高的缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单面腐蚀制绒设备，以改善上述问题。

本实用新型是这样实现的：

一种单面腐蚀制绒设备，包括制绒槽和传送装置，所述传送装置包括若干水平布置于所述制绒槽内的带液滚筒和驱动带液滚筒转动的驱动装置，所述带液滚筒垂直于制绒槽的前侧壁和后侧壁，所述制绒槽包括进料口和出料口，所述进料口和出料口处均设有液位调节装置。

在制绒过程中，带液滚筒将硅片从进料口运送到出料口，在此过程中，硅片浸泡在制绒液中，为避免硅片上表面与制绒液接触，在进料口和出料口均设置液位调节装置，通过液位调节装置来控制制绒槽内制绒液的液位高度，使液位始终保持在刚好完全浸泡硅片下表面处，这样就既保证了硅片只有下表面与制绒液接触，又减小了制绒液对硅片在从进料口到出料口的运动过程的阻力，从而更好的达到了单面制绒的效果。这种单面腐蚀制绒设备提高了对硅片的制绒效率，节约了制绒液中的化学药液。

进一步地，所述液位调节装置包括高度可调的挡液板，所述制绒槽包括左侧壁和右侧壁，所述左侧壁和右侧壁上均设有所述挡液板。

左侧壁和右侧壁上均设有高度可调的挡液板，通过改变挡液板与制绒槽的左侧壁和右侧壁的相对位置，从而达到调整挡液板高度的效果。由于制绒槽中的制绒液是一直处于循环状态，所以挡液板的高度就决定了制绒槽内制绒液的液位高度，这样就实现了通过调整挡液板的高度来控制制绒液的液位高度。

进一步地，所述挡液板上开有若干条形通孔，所述条形通孔的长度方向与制绒槽的高度方向一致，所述左侧壁和右侧壁均开有若干螺纹孔，螺钉穿过条形通孔与制绒槽上的螺纹孔配合将挡液板固定于制绒槽上。

调节挡液板高度时，拧松螺钉后，将挡液板调节到与硅片下表面等高的位置，拧紧螺钉，从而将挡液板固定于制绒槽上。这种调节结构易加工，调节方式简单、方便。

进一步地，所述左侧壁和所述右侧壁等高，所述左侧壁和所述右侧壁的顶端均低于所述带液滚筒上缘。

制绒槽的左侧壁和右侧壁等高设置，方便了制绒槽加工制造。制绒槽的左侧壁和右侧壁的顶端低于带液滚筒上缘，可实现通过调节挡液板的高度将制绒液的液位控制于硅片下表面处。

进一步地，所述挡液板顶部为斜面，所述斜面较高一侧靠近所述带液滚筒，所述斜面与水平面夹角为30-60度。

挡液板顶端调节到与硅片下表面平齐后，制绒槽内的制绒液的液位始终与挡液板的顶端平齐，由于制绒槽内的液体一直处于循环状态，因此，制绒槽内多余的制绒液将会沿挡液板顶部流出，为避免在制绒液经挡液板顶部流出制绒槽的过程中制绒液发生溅射现象，将挡液板顶部设置为斜面。制绒槽中溢出的制绒液从挡液板顶部斜面的较高处流向较低处，从而起到导流的作用。

进一步地，所述斜面与水平面夹角为45度。

挡液板顶部的斜面与水平面所成的夹角不同，斜面的导流效果也会有所不同，经过发明人的反复实验证明，当挡液板顶部的斜面与水平面的夹角为45度时，斜面的导流效果最佳。

进一步地，所述带液滚筒上设有螺旋结构，所述传送装置中的两个相邻的带液滚筒的螺旋结构旋向相反。

在对硅片制绒的过程中，通过驱动装置带动带液滚筒转动，从而将硅片从进料口运送到出料口，在硅片运动过程中，硅片下表面与制绒液接触，从而达到制绒的效果。为使硅片下表面能够与制绒液更好接触，在带液滚筒上设置螺旋结构。带液滚筒转动时，带液滚筒中的螺旋结构带动更多的制绒液对硅片表面进行腐蚀，同时，带液滚筒能够充分带走硅片与制绒液发生化学反应而产生的热量，保证了绒面的均匀性和稳定性。带液滚筒上设置螺旋结构后，硅片在带液滚筒的作用下从进料口到出料口运动的过程中，硅片会受到沿带液滚筒轴线方向上的螺旋推力，在螺旋推力的作用下，硅片会沿带液滚筒轴线方向移动，偏离预定轨迹。因此，将传送装置中的两个相邻的带液滚筒的螺旋结构的旋向设为相反。

进一步地，还包括喷淋装置，所述喷淋装置设于所述带液滚筒上方靠近所述制绒槽的出料口处。

硅片在制造加工过程中，硅片表面会残留有机物和金属杂质，在制绒过程中，由于只有硅片下表面与制绒液接触，因此硅片下表面的有机物和金属杂质可被去除掉，而硅片上表面中的有机物和金属杂质并没有去除。因此，在带液滚筒上方靠近出料口处设置喷淋装置，通过喷淋装置喷出的制绒液喷淋于硅片上表面上，从而达到去除有机物和金属杂质的效果。由于喷淋装置设于靠近出料口处，因此，硅片上表面与喷淋装置喷出的制绒液接触时间较短，并不会降低硅片的厚度。

进一步地，还包括供液装置，所述供液装置包括设于制绒槽下方的副槽、设于制绒槽外部的回流槽和循环泵。所述循环泵包括输入口和输出口，所述输入口通过管道与副槽连通，所述输出口通过第一管道与制绒槽连通，所述回流槽与副槽通过第二管道连通。

在对硅片制绒的过程中，为保证制绒液中的化学药液的均匀性，制绒槽内的制绒液处于一直循环的状态。因此，在制绒槽下方设置副槽，在制绒槽外部设置回流槽，制绒槽溢出的制绒液流入回流槽中，回流槽中的制绒液再通过第二管道流入到副槽中，最后再通过循环泵将副槽中的制绒液提升到制绒槽中，这样就实现了制绒液的循环。

进一步地，所述第一管道上设有流量阀，所述第一管道与副槽通过第三管道连通，所述第三管道上设有回流阀。

第一管道上设置流量阀的好处在于，流量阀可控制通过第一管道进入制绒槽内的制绒液流量的大小。第三管道上设置回流阀的好处在于，当第三管道中的压力超过回流阀的设定值时，回流阀会自动释放压力，从而达到安全保护的目的。

本实用新型的有益效果是：通过设于制绒槽左侧壁和右侧壁上的挡液板来控制制绒槽内制绒液的液位高度，使液位始终保持在刚好完全浸泡硅片下表面处，这样就既保证了硅片只有下表面与制绒液接触，又减小了制绒液对硅片在从进料口到出料口的运动过程的阻力，从而达到了单面制绒的效果，这种单面腐蚀制绒设备具有节约制绒液、制绒效率高的特点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的单面腐蚀制绒设备的结构示意图。

图中附图标记为：

制绒槽101；带液滚筒102；挡液板103；硅片104；喷淋装置105；副槽106；回流槽107；第一管道108；第二管道109；第三管道110；循环泵111；回流阀112。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例，参照图1

一种单面腐蚀制绒设备，包括制绒槽101和传送装置，所述传送装置包括若干水平布置于所述制绒槽101内的带液滚筒102和驱动带液滚筒102转动的驱动装置，所述制绒槽101包括进料口和出料口，所述带液滚筒102用于将硅片104从进料口传送到出料口处，所述进料口和出料口处均设有液位调节装置。

所述制绒槽101包括前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁和底板，所述前侧壁和后侧壁高于所述左侧壁和右侧壁，其中，前侧壁和后侧壁等高，左侧壁和右侧壁等高。所述前侧壁和后侧壁上均开设有若干供带液滚筒102穿过的通孔，所述左侧壁和右侧壁靠近顶端处开设有螺纹孔，所述底板上开设有进液孔。所述进料口位于靠近左侧壁顶端处，所述出料口位于靠近右侧壁顶端处。

所述液位调节装置为分别设于制绒槽101左侧壁和右侧壁上的挡液板103，所述挡液板103为长方形板，所述挡液板103的长度与制绒槽101的宽度相同。所述挡液板103上开有若干条形通孔，所述条形通孔的长度方向与制绒槽101的高度方向一致，螺钉穿过条形通孔与制绒槽101上的螺纹孔配合将挡液板103固定于制绒槽101上，这种调节结构易加工，调节方式简单、方便。其中，左侧壁上开有的螺纹孔的个数与和左侧壁连接的挡液板103上开有的条形通孔个数相同，右侧壁上开有的螺纹孔的个数与和右侧壁连接的挡液板103上开有的条形通孔个数相同。为避免在制绒液经挡液板103顶部流出制绒槽101的过程中制绒液发生溅射现象，将挡液板103顶部设置为斜面，所述斜面较高一侧靠近所述带液滚筒102。制绒槽101中溢出的制绒液从挡液板103顶部的斜面的较高处流向较低处，从而起到导流的作用。所述斜面与水平面夹角为30-60度，本实施例中优选45度。

所述带液滚筒102水平均匀的布置于制绒槽101前侧壁和后侧壁上开设有的通孔内，所述带液滚筒102垂直于制绒槽101的前侧壁和后侧壁。为使硅片104下表面能够与制绒液更好接触，在带液滚筒102上设有螺旋结构。为避免硅片104在螺旋结构的推力作用下沿带液滚筒102轴线方向运动，将传送装置中两个相邻的带液滚筒102的螺旋结构的旋向设为相反。带液滚筒102一端与电动机的转轴连接，电动机固定连接于后侧壁上。带液滚筒102安装于制绒槽101内后，制绒槽101左侧壁和右侧壁的顶端均低于带液滚筒102的上缘。在本实施例中，所述驱动装置为电动机。

硅片104在制造加工过程中，硅片104表面会残留有机物和金属杂质，为去除硅片104上表面中的有机物和金属杂质，在带液滚筒102上方靠近所述制绒槽101的出料口处设置喷淋装置105。由于喷淋装置105设于靠近出料口处，因此，硅片104上表面与喷淋装置105喷出的制绒液接触时间较短，并不会降低硅片104的厚度。在喷淋过程中，喷淋装置105所喷出的制绒液来源于副槽106中。

进一步地，为保证制绒液中的化学药液的均匀性，制绒槽101内的制绒液处于一直循环的状态。因此，制绒槽101下方设有副槽106，制绒槽101外部设有的回流槽107，副槽106中的制绒液通过循环泵111提升到制绒槽101中。所述循环泵111包括输入口和输出口，所述输入口通过管道与副槽106连通，所述输出口通过第一管道108与制绒槽101底板上开设的进液孔连通，所述回流槽107与副槽106通过第二管道109连通。所述第一管道108上设有流量阀，通过流量阀来控制进入制绒槽101内的制绒液流量的大小。所述第一管道108与副槽106通过第三管道110连通，所述第三管道110上设有回流阀112，当第三管道110中的压力超过回流阀112的设定值时，回流阀112会自动释放压力，从而达到安全保护的目的。所述流量阀可为一个也可为相互并联的多个，在本实施例中优选为5个，即每个进液孔所连接的第一管道108上均设有流量阀。此外，所述循环泵111连接有变频器，通过变频器可改变循环泵111的输出流量。

在本实施例中，挡液板103与左侧壁和右侧壁的连接处、挡液板103与前后侧壁的接触处不可避免的会存在小间隙，制绒槽101内的制绒液会从间隙中流入到回流槽107中。由于通过第一管道108进入制绒槽101内的制绒液的流量大于从间隙中流出的制绒液的流量，因此，挡液板103与制绒槽101间的间隙的存在并不会影响到制绒液的液位高度。

本实施例是这样实现的：首先，拧松螺钉，将挡液板103调节到与硅片104下表面等高的位置，再拧紧螺钉，从而将挡液板103固定于制绒槽101上，副槽106中的制绒液通过循环泵111提升到制绒槽101中，使制绒槽101内的制绒液的液位始终保持在刚好与硅片104下表面接触处，硅片104从进料口到出料口的过程中，制绒液对硅片104下表面进行腐蚀，从而达到单面制绒的效果，当硅片104运行到出料口时，喷淋装置105喷出的液体喷于硅片104上表面，从而达到去除硅片104上表面的有机物和金属杂质的效果。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种单面腐蚀制绒设备，其特征在于，包括制绒槽和传送装置，所述传送装置包括若干水平布置于所述制绒槽内的带液滚筒和驱动带液滚筒转动的驱动装置，所述带液滚筒垂直于制绒槽的前侧壁和后侧壁，所述制绒槽包括进料口和出料口，所述进料口和出料口处均设有液位调节装置。

2.根据权利要求1所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，所述液位调节装置包括高度可调的挡液板，所述制绒槽包括左侧壁和右侧壁，所述左侧壁和右侧壁上均设有所述挡液板。

3.根据权利要求2所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，所述挡液板上开有若干条形通孔，所述条形通孔的长度方向与制绒槽的高度方向一致，所述左侧壁和右侧壁均开有若干螺纹孔，螺钉穿过条形通孔与制绒槽上的螺纹孔配合将挡液板固定于制绒槽上。

4.根据权利要求3所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，所述左侧壁和所述右侧壁等高，所述左侧壁和所述右侧壁的顶端均低于所述带液滚筒上缘。

5.根据权利要求4所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，所述挡液板顶部为斜面，所述斜面较高一侧靠近所述带液滚筒，所述斜面与水平面夹角为30-60度。

6.根据权利要求5所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，所述斜面与水平面夹角为45度。

7.根据权利要求1所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，所述带液滚筒上设有螺旋结构，所述传送装置中的两个相邻的带液滚筒的螺旋结构旋向相反。

8.根据权利要求1所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，还包括喷淋装置，所述喷淋装置设于所述带液滚筒上方靠近所述制绒槽的出料口处。

9.根据权利要求1所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，还包括供液装置，所述供液装置包括设于制绒槽下方的副槽、设于制绒槽外部的回流槽和循环泵，所述循环泵包括输入口和输出口，所述输入口通过管道与副槽连通，所述输出口通过第一管道与制绒槽连通，所述回流槽与副槽通过第二管道连通。

10.根据权利要求9所述的单面腐蚀制绒设备，其特征在于，所述第一管道上设有流量阀，所述第一管道与副槽通过第三管道连通，所述第三管道上设有回流阀。