CN204918759U - 一种电加热反应源储存及供应装置 - Google Patents
一种电加热反应源储存及供应装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204918759U CN204918759U CN201520546543.3U CN201520546543U CN204918759U CN 204918759 U CN204918759 U CN 204918759U CN 201520546543 U CN201520546543 U CN 201520546543U CN 204918759 U CN204918759 U CN 204918759U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- reaction source
- feeding mechanism
- shell
- reaction
- store
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)
Abstract
一种电加热反应源储存及供应装置，包括外壳，加热管，反应源存储器，高温阀和接口。加热管处于外壳的内壁上。反应源存储器放入到外壳内。高温阀设置在反应源存储器的上端。接口设置在高温阀上并与反应腔室连接。通过采用此电加热反应源储存及供应装置，在整个沉积应用过程中，可以很好的实现反应源的储存及供应。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种供温装置，尤其是一种电加热反应源储存及供应装置，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。
背景技术
为了满足为满足气相沉积膜设备在沉积时的反应要求，在沉积过程中要向反应腔室内部通入各种反应源，其反应源形态包含气态、液态及固态等。因此需要一种装置来储存及在沉积过程中向反应腔室内供应反应源，且需要此装置对反应源加热。尤其对于液态和固态的反应源，可使用此装置对反应源进行加热(气化或升华)。
实用新型内容
针对上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种电加热反应源储存及供应装置。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种电加热反应源储存及供应装置，包括外壳，加热管，反应源存储器，高温阀和接口。加热管处于外壳的内壁上。反应源存储器放入到外壳内。高温阀设置在反应源存储器的上端。接口设置在高温阀上并与反应腔室连接。
本实用新型的有益效果及特点：通过采用此电加热反应源储存及供应装置，在整个沉积应用过程中，可以很好的实现反应源的储存及供应。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的使用状态图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1和图2所示：一种电加热反应源储存及供应装置，包括外壳1，加热管2，反应源存储器3，高温阀4和接口5。加热管2处于外壳1的内壁上。反应源存储器3放入到外壳1内。高温阀4设置在反应源存储器3的上端。接口5设置在高温阀4上并与反应腔室连接。
使用时，在反应源储存器内储存反应源，通过接口与反应腔室相连接。将高温阀打开后，可向反应腔室提供反应源，同时通过电加热管，可以对装置进行加热。
Claims (1)
1.一种电加热反应源储存及供应装置，其特征在于：包括外壳，加热管，反应源存储器，高温阀和接口；加热管处于外壳的内壁上，反应源存储器放入到外壳内，高温阀设置在反应源存储器的上端，接口设置在高温阀上并与反应腔室连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520546543.3U CN204918759U (zh) | 2015-07-23 | 2015-07-23 | 一种电加热反应源储存及供应装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520546543.3U CN204918759U (zh) | 2015-07-23 | 2015-07-23 | 一种电加热反应源储存及供应装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204918759U true CN204918759U (zh) | 2015-12-30 |
Family
ID=54967905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520546543.3U Active CN204918759U (zh) | 2015-07-23 | 2015-07-23 | 一种电加热反应源储存及供应装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204918759U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106861557A (zh) * | 2017-04-24 | 2017-06-20 | 中国科学技术大学 | 一种用于cvd固态源的挥发装置 |
-
2015
- 2015-07-23 CN CN201520546543.3U patent/CN204918759U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106861557A (zh) * | 2017-04-24 | 2017-06-20 | 中国科学技术大学 | 一种用于cvd固态源的挥发装置 |
| CN106861557B (zh) * | 2017-04-24 | 2023-03-10 | 中国科学技术大学 | 一种用于cvd固态源的挥发装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MX2021004910A (es) | Ensamblaje de almacenamiento de energía térmica. | |
| CN204918759U (zh) | 一种电加热反应源储存及供应装置 | |
| CN109924644A (zh) | 一种便于携带的加热饭盒 | |
| CN106702349A (zh) | 电加热反应源储存及供应设备 | |
| CN203963892U (zh) | 蒸汽发生器 | |
| CN203672188U (zh) | 一种空温式汽化器组 | |
| CN202469470U (zh) | 液氯汽化器 | |
| CN204409915U (zh) | 蒸汽美发器 | |
| CN204014128U (zh) | 新型便携式热得快 | |
| CN208841940U (zh) | 一种新型中封制袋机用冷却装置 | |
| CN204400614U (zh) | 一种改进结构的储液装置 | |
| CN203235097U (zh) | 一种注射器 | |
| CN204676139U (zh) | 一种电容器真空镀膜机雾化熔锌槽加热装置 | |
| CN204426671U (zh) | 一种低温卷烟加热装置 | |
| CN204338405U (zh) | 一种涂布机热水循环装置 | |
| CN204161672U (zh) | 新型非pvc膜虚焊装置 | |
| CN204310985U (zh) | 甘油生产设备 | |
| CN203529179U (zh) | 一种润滑油储罐 | |
| CN203267403U (zh) | 新型太阳能电池背膜层压机加热板 | |
| CN202558102U (zh) | 一种氯化石蜡存储罐的加热装置 | |
| CN202650853U (zh) | 一种电容器浸渍剂保温炉 | |
| CN202403129U (zh) | 一种新型浴霸灯泡 | |
| CN201610496U (zh) | 一种蒸汽发热装置 | |
| CN207645795U (zh) | 粘合剂灌装机 | |
| CN208176255U (zh) | 一种便于携带的加热饭盒 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No.900 Shuijia, Hunnan District, Shenyang City, Liaoning Province Patentee after: Tuojing Technology Co.,Ltd. Address before: 110179 3rd floor, No.1-1 Xinyuan street, Hunnan New District, Shenyang City, Liaoning Province Patentee before: PIOTECH Co.,Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address |