CN204912164U - 一种吸附器清洗装置 - Google Patents

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CN204912164U CN201520627098.3U CN201520627098U CN204912164U CN 204912164 U CN204912164 U CN 204912164U CN 201520627098 U CN201520627098 U CN 201520627098U CN 204912164 U CN204912164 U CN 204912164U
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刘辉
王利侠
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Abstract

本实用新型公开了一种吸附器清洗装置,包括通过循环泵与清洗循环槽相连接的清洗接口,所述的清洗接口包括与清洗循环槽出液口相连接的位于吸附器底部的盘管入口,盘管入口与位于吸附器上部的盘管出口相连通,盘管出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。本实用新型能够实现吸附器类设备的连续的、循环流水线作业,能够实现包括吸附器多个清洗口的清洗,而且能够对吸附器的多个流道进行清洗,并进行串接之后实现了一次循环多个层次的清洗,从而使吸附器清洗产能提高3-5倍,能大大缩短吸附器清洗的时间。

Description

一种吸附器清洗装置
技术领域
本实用新型属于设备清洗技术领域,涉及一种吸附器清洗装置。
背景技术
作为生产太阳能发电板和电子元件的基础材料多晶硅产品,近年来可谓大起大落。经过多年的发展,多晶硅产品和组件市场逐渐平稳回升。多晶硅生产过程中对设备的洁净度要求极其严格,尤其是油分子和重金属离子,太阳能级的多晶硅纯度要求9个9%,电子级更是达到11个9%,在庞大的设备系统中,哪怕几个PPM的油分子都会造成无法出产品的严重后果。因此,多晶硅设备的开车前清洗技术多年以来,代表着工业清洗行业的最高水平。
多晶硅设备投产前的清洗,不仅仅是代表清洗技术的高低,关键是对清洗企业的综合实力体现,不仅对清洗技术的苛刻要求,重要的是对清洗现场的管理能力。清洗工艺流程,清洗剂,清洗后的保护,再到安装公司对管道和设备的安装,都对最后多晶硅产品有着很大的影响。多晶硅设备中的管道清洗,有着非常高的洁净度要求,比如清洗脱脂后,用去离子的纯水进行冲洗管道表面其他离子,然后需要对管道用无油,无水,无尘的三无压缩空气进行干燥处理,最后成品保护处理。
吸附器指装有多孔结构的吸附剂,用以将气体或液体溶液中某些性质相近似组分分离,或除去其中有害的或不需要的组分的设备。根据吸附器内吸附剂颗粒的运动状态不同,其中的床层可以是固定床、移动床或流化床。此外,还有在吸附器上下两端连接对称移动的往复泵,使固定床内流过的溶液发生周期性地脉动,配合着加热、冷却温度场和浓度的变化的参数泵分离装置。由于吸附器的结构复杂而且涉及吸附其清洗尤为困难。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题在于提供一种吸附器清洗装置,能够实现连续循环流水线作业,缩短多晶硅设备清洗的时间。
本实用新型是通过以下技术方案来实现:
一种吸附器清洗装置,包括通过循环泵与清洗循环槽相连接的清洗接口,所述的清洗接口包括与清洗循环槽出液口相连接的位于吸附器底部的盘管入口,盘管入口与位于吸附器上部的盘管出口相连通,盘管出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
所述的盘管出口还通过夹套清洗口后与清洗循环槽相连接:盘管出口通过管路与吸附器底部的夹套入口相连接,夹套入口与位于吸附器上部的夹套出口相连通,夹套出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
所述的夹套出口还通过中心筒体清洗口后与清洗循环槽相连接:夹套出口通过管路与吸附器底部的中心筒体入口相连接,中心筒体入口与位于吸附器上部的中心筒体出口相连通,中心筒体出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
所述的中心筒体出口还通过吸附腔清洗口后与清洗循环槽相连接:中心筒体出口通过管路与吸附器底部的吸附腔入口相连接,吸附腔入口与位于吸附器上部的吸附腔出口相连通,吸附腔出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
所述的循环泵包括正向循环泵和反向循环泵,正向循环泵和反向循环泵择一启动,分别进行正向循环清洗和反向循环清洗。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益的技术效果:
本实用新型提供的吸附器清洗装置,能够实现吸附器类设备的连续的、循环流水线作业,能够实现包括吸附器多个清洗口的清洗,而且能够对吸附器的多个流道进行清洗,并进行串接之后实现了一次循环多个层次的清洗,从而使吸附器清洗产能提高3-5倍,能大大缩短吸附器清洗的时间。本实用新型还可以通过循环泵实现正、反循环的清洗,能够满足不同清洗情况的要求,保证了清洗洁净度的要求。
附图说明
图1为本实用新型的结果示意图。
其中,A1为盘管入口,B1为盘管出口,A2为夹套入口,B2为夹套出口,A3为中心筒体入口,B3为中心筒体出口,A4为吸附腔入口,B4为吸附腔出口。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述,所述是对本实用新型的解释而不是限定。
参见图1,一种吸附器清洗装置,包括通过循环泵与清洗循环槽相连接的清洗接口,所述的清洗接口包括与清洗循环槽出液口相连接的位于吸附器底部的盘管入口A1,盘管入口A1与位于吸附器上部的盘管出口B1相连通,盘管出口B1通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
所述的盘管出口还通过夹套清洗口后与清洗循环槽相连接:盘管出口B1通过管路与吸附器底部的夹套入口A2相连接,夹套入口A2与位于吸附器上部的夹套出口B2相连通,夹套出口B2通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
所述的夹套出口还通过中心筒体清洗口后与清洗循环槽相连接:夹套出口B2通过管路与吸附器底部的中心筒体入口A3相连接,中心筒体入口A3与位于吸附器上部的中心筒体出口B3相连通,中心筒体出口B3通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
所述的中心筒体出口还通过吸附腔清洗口后与清洗循环槽相连接:中心筒体出口B3通过管路与吸附器底部的吸附腔入口A4相连接,吸附腔入口A4与位于吸附器上部的吸附腔出口B4相连通,吸附腔出口B4通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
所述的循环泵包括正向循环泵和反向循环泵,正向循环泵和反向循环泵择一启动,分别进行正向循环清洗和反向循环清洗。
具体的,将盘管清洗口、夹套清洗口、中心筒体清洗口、吸附腔清洗口依次串接,即将图1中的清洗管路串联顺序为A1-B1-A2-B2-A3-B3-A4-B4。
本实用新型提供的吸附器清洗装置,能够实现吸附器类设备的连续的、循环流水线作业,能够实现包括吸附器多个清洗口的清洗,而且能够对吸附器的多个流道进行清洗,并进行串接之后实现了一次循环多个层次的清洗,从而使吸附器清洗产能提高3-5倍,能大大缩短吸附器清洗的时间。
以上给出的实施例是实现本实用新型较优的例子,本实用新型不限于上述实施例。本领域的技术人员根据本实用新型技术方案的技术特征所做出的任何非本质的添加、替换,均属于本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种吸附器清洗装置,其特征在于,包括通过循环泵与清洗循环槽相连接的清洗接口,所述的清洗接口包括与清洗循环槽出液口相连接的位于吸附器底部的盘管入口,盘管入口与位于吸附器上部的盘管出口相连通,盘管出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
2.如权利要求1所述的吸附器清洗装置,其特征在于,所述的盘管出口还通过夹套清洗口后与清洗循环槽相连接:盘管出口通过管路与吸附器底部的夹套入口相连接,夹套入口与位于吸附器上部的夹套出口相连通,夹套出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
3.如权利要求2所述的吸附器清洗装置,其特征在于,所述的夹套出口还通过中心筒体清洗口后与清洗循环槽相连接:夹套出口通过管路与吸附器底部的中心筒体入口相连接,中心筒体入口与位于吸附器上部的中心筒体出口相连通,中心筒体出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
4.如权利要求3所述的吸附器清洗装置,其特征在于,所述的中心筒体出口还通过吸附腔清洗口后与清洗循环槽相连接:中心筒体出口通过管路与吸附器底部的吸附腔入口相连接,吸附腔入口与位于吸附器上部的吸附腔出口相连通,吸附腔出口通过管路与清洗循环槽入液口相连接。
5.如权利要求1所述的吸附器清洗装置,其特征在于,所述的循环泵包括正向循环泵和反向循环泵,正向循环泵和反向循环泵择一启动,分别进行正向循环清洗和反向循环清洗。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106512644A (zh) * 2016-12-28 2017-03-22 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 用于电子级多晶硅尾气纯化的多层吸附塔

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