CN204867692U - 一种用于掩膜电解加工的恒力机构 - Google Patents
一种用于掩膜电解加工的恒力机构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型专利公开了一种用于掩膜电解加工的恒力机构,它是由支撑板、立杆、连接销、施力横杆、移动环、圆柱重物块、圆柱尖头顶针和电解主体装置组成。此装置通过调节挂有圆柱重物块的移动环在施力横杆上的位置,利用杠杆原理,经过施力横杆使圆柱尖头顶针对电解主体装置施加一个恒力,从而能够很好的增加极间流场和电场强度的稳定性。这种恒力机构操作方便、结构简单。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于电解加工的恒力机构,特别是一种用于极间多孔物掩膜电解加工的恒力机构,属于电解加工设备领域。
背景技术
一般的掩膜电解加工是在工件阳极表面涂覆一层光刻胶制备粘结性掩膜,工件阳极与粘结性掩膜是紧密粘结在一起,电解加工时不存在掩膜的滑动与走位,但该方法加工工艺复杂、时间长、成本较高。文献“HaoQL,MingPM.FabricationofMicro-DimpleArraysUsingModifiedThrough-MaskElectrochemicalMicromachining[C]//AppliedMechanicsandMaterials,2015,703:146-149.”提出了一种极间柔性多孔介质掩膜电解加工的方法。该方法采用的是可重复使用的活动掩膜,为达到加工要求,需要施加一个使工件阳极和活动掩膜相互贴合的力。这是因为,在加工时如果活动掩膜与工件阳极贴合的不够紧,电解液的流动会导致掩膜的滑动与走位,并且电解液可能会沿着掩膜与工件阳极贴合面的夹缝区域流进工件阳极的非加工区域,从而导致加工的形状变形以及加工质量的下降。公开号为201510205346.X的发明专利公布了一种用于极间多孔介质填充型掩膜电解加工的引液装置,为保持电解液的顺利排除必须保持顶盖、密封垫、阴极、多孔介质和掩膜自上而下依次紧密贴合于工件阳极之上。为此,本专利开发了一种能够使工件阳极、掩膜和阴极依次紧密结合的施力机构,用以抵抗电解液对阴极的反向冲击力,此机构所产生的力为恒力。
发明内容
为满足上述要求,本实用新型提出了一种能够使工件阳极和掩膜机紧密结合并且结构简单、操作方便的用于掩膜电解加工的恒力机构。
本实用新型采用的技术方案是:一种用于掩膜电解加工的恒力机构,其特征在于:包括支撑板(1)、放置于支撑板(1)上的立柱(2)和电解主体装置(8)、圆柱尖头顶针(7)、与支撑板(1)上立杆(2)和圆柱尖头顶针(7)以连接销一(3-1)和连接销二(3-2)活动铰接的施力横杆(4)、移动环(5)、圆柱重物块(6);所述的移动环(5)滑动套接在水平放置的施力横杆(4)上;所述的圆柱重物块(6)可拆悬挂在移动环(5)的下端;所述的圆柱尖头顶针(7)的下端压在电解主体装置(8)的上端表面上。
所述的一种用于掩膜电解加工的恒力机构,其特征在于:所述的施力横杆(4)侧表面上刻有刻度。
所述的一种用于掩膜电解加工的恒力机构,其特征在于:所述的立杆(2)从下端面到上端连接销一(3-1)中心的距离与电解主体装置(8)的下端面到连接销二(3-2)中心的距离相等。
本实用新型所能实现的有益效果是:能够方便的为电解主体装置(8)提供一个恒定的力并且机构够简单、操作方便。
附图说明
图1是一种用于掩膜电解加工的恒力机构装置图。
图中:1、支撑板2、立柱3-1、连接销一4、施力横杆5、移动环6、圆柱重物块3-2、连接销二7、圆柱尖头顶针8、电解主体装置。
具体实施方式
下面结合图1对本实用新型进行进一步的说明。
本实用新型包括支撑板1、立柱2、连接销一3-1、施力横杆4、移动环5、圆柱重物块6、连接销二3-2、圆柱尖头顶针7、电解主体装置8。电解主体装置8放置于支撑板1上;施力横杆4一端与支撑板1上立柱2通过连接销一3-1活动铰接在一起,一端与圆柱尖头顶针7通过连接销二3-2活动铰接在一起;移动环5滑动套接在施力横杆4上;圆柱重物块6可拆悬挂在移动环5的下端;圆柱尖头顶针7的下端压在电解主体装置8上端表面上。
如图1所示,当滑动移动环5一并带起圆柱重物块6到施力横杆4上的某一位置时,在圆柱重物块6的重力作用下对施力横杆4产生一个向下的力,力通过施力横杆4传递给圆柱尖头顶针7,进而给电解主体装置8施加一个向下的恒力;本装置还可以通过滑动移动环5或者增加圆柱重物块,都可以改变圆柱尖头顶针8对电解主体装置力的大小。
Claims (3)
1.一种用于掩膜电解加工的恒力机构,其特征在于:包括支撑板(1)、放置于支撑板(1)上的立柱(2)和电解主体装置(8)、圆柱尖头顶针(7)、与支撑板(1)上立杆(2)和圆柱尖头顶针(7)以连接销一(3-1)和连接销二(3-2)活动铰接的施力横杆(4)、移动环(5)、圆柱重物块(6);所述的移动环(5)滑动套接在水平放置的施力横杆(4)上;所述的圆柱重物块(6)可拆悬挂在移动环(5)的下端;所述的圆柱尖头顶针(7)的下端压在电解主体装置(8)上端表面上。
2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜电解加工的恒力机构,其特征是:所述的施力横杆(4)侧面刻有刻度。
3.根据权利要求1所述的一种用于掩膜电解加工的恒力机构,其特征是:所述的立杆(2)从下端面到上端连接销一(3-1)中心的距离与电解主体装置(8)的下端面到连接销二(3-2)中心的距离相等。
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CN201520344860.7U CN204867692U (zh) | 2015-05-26 | 2015-05-26 | 一种用于掩膜电解加工的恒力机构 |
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CN107971589A (zh) * | 2018-01-09 | 2018-05-01 | 河南理工大学 | 一种掩膜电解加工装置 |
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