CN204857791U - 团簇式oled腔体切换装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种团簇式OLED腔体切换装置，包括环形轨道、机架以及安装在机架上的弧形轮组、液压夹持器和动力机构，所述环形轨道以团簇式OLED腔体的交换腔中心为圆点，弧形轮组与环形轨道活动连接，动力机构的输出端与弧形轮组相连用于驱动弧形轮组；液压夹持器位于机架下部，与团簇式OLED腔体的工艺腔相对。本实用新型所提供的团簇式OLED腔体切换装置，在团簇式OLED腔体外围的顶部设置环形轨道，通过动力机构和弧形轮组实现机架沿环形轨道的移动，并在机架下悬挂液压夹持器对接单个工艺腔，从而实现各个腔体的进退和换位作业。
Description
技术领域
本实用新型属于OLED显示技术领域，具体涉及一种团簇式OLED腔体切换装置。
背景技术
OLED的中文名为“有机电致发光显示器”，又称“有机电激发光显示器”，OLED技术被视为继LCD与PDP之后发展潜力最大的新型平板显示技术，由于其突出的性能优势得到了世界上许多国家和企业的重视，目前正处于技术快速发展、产业逐步启动的阶段。OLED具有主动发光、响应速度快、低压驱动、耗电量低、全固态结构、超轻薄、视角宽、可使用温度范围大等诸多优点，被业内称为“梦幻显示器”，代表了目前显示技术的发展方向。
在OLED研发和制造中大量使用到团簇式设备，这些设备通常是集成了预处理、有机蒸镀、金属蒸镀、磁控溅射、CVD于一体的综合镀膜设备。交换腔位于簇群中心，其他各个独立的工艺腔均布在其周围形成团簇式结构。工艺腔是在高真空条件下，在基板上沉积各种化合物的单层或多层薄膜，而交换腔内机械手则在各工艺腔完成作业后，在工艺腔内取放基板并退回交换腔，在回转传输到下一个工艺腔体。团簇式设备巨大而沉重，在平时大规模生产时不会做出变动，但遇到其他情况时，如在设备安装调试时，在设备进行大修和维护时，在工艺变更或者产品升级换代需要改变腔体位置时，腔体结构难以调整，极大的影响了工程进度和生产任务。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决上述问题，提供一种切换装置，能够方便切换团簇式OLED腔体的工艺腔。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种团簇式OLED腔体切换装置，包括环形轨道、机架以及安装在机架上的弧形轮组、液压夹持器和动力机构，所述环形轨道以团簇式OLED腔体的交换腔中心为圆点，弧形轮组与环形轨道活动连接，动力机构的输出端与弧形轮组相连用于驱动弧形轮组；液压夹持器位于机架下部，与团簇式OLED腔体的工艺腔相对。
优选地，还包括安装在机架上的减速电机、液压耦合器和转向齿轮箱，所述减速电机的输出端与液压耦合器的输入端相连，液压耦合器的输出端与转向齿轮箱的输入端相连，转向齿轮箱的输出端与液压夹持器相连。
优选地，所述环形轨道的数量为二。
优选地，所述减速电机为行星齿轮减速电机。
本实用新型的有益效果是：本实用新型所提供的团簇式OLED腔体切换装置，在团簇式OLED腔体外围的顶部设置环形轨道，通过动力机构和弧形轮组实现机架沿环形轨道的移动，并在机架下悬挂液压夹持器对接单个工艺腔，从而实现各个腔体的进退和换位作业。
附图说明
图1是本实用新型团簇式OLED腔体切换装置的示意图；
图2是本实用新型环形轨道与团簇式OLED腔体的位置关系示意图。
附图标记说明：1、环形轨道；2、弧形轮组；3、液压夹持器；4、减速电机；5、液压耦合器；6、转向齿轮箱；7、交换腔；8、工艺腔。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明：
如图1和图2所示，本实用新型的团簇式OLED腔体切换装置，包括机架、环形轨道1、弧形轮组2、液压夹持器3和动力机构，环形轨道1以团簇式OLED腔体的交换腔7中心为圆点进行设置，位于团簇式OLED腔体外围的顶部，在本实施例中，环形轨道1的数量为二；弧形轮组2、液压夹持器3和动力机构均安装在机架上，具体的，弧形轮组2与环形轨道1活动连接，动力机构的输出端与弧形轮组2相连用于驱动弧形轮组2；液压夹持器3位于机架下部，与团簇式OLED腔体的工艺腔8相对；本装置还包括安装在机架上的减速电机4、液压耦合器5和转向齿轮箱6，减速电机4的输出端与液压耦合器5的输入端相连，液压耦合器5的输出端与转向齿轮箱6的输入端相连，转向齿轮箱6的输出端与液压夹持器3相连；其中，减速电机4为行星齿轮减速电机。
以下对上述团簇式OLED腔体切换装置的工作过程作进一步的详细描述，以表示其工作原理：
操作人员通过控制动力机构驱动的弧形轮组使机架沿着环形轨道运行到对应的工艺腔的位置附近。减速电机用于驱动液压夹持器前进和后退，当液压夹持器推进至与工艺腔接触后，操作人员通过控制液压夹持器与工艺腔连接，在确认夹持稳固后，操作减速电机使液压夹持器回退。待达到安全位置后，操作人员控制松开液压夹持器，由设备技术人员把工艺腔推移至暂存区后，再对下个工艺腔进行作业。同样道理，在设备完成维修、改进或者升级后，由操作人员和设备技术员合作进行反向操作把原来或者变更后的工艺腔推进对接到交换腔对应的位置上。
本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本实用新型的原理，应被理解为本实用新型的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本实用新型公开的这些技术启示做出各种不脱离本实用新型实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本实用新型的保护范围内。
Claims (4)
1.团簇式OLED腔体切换装置，其特征在于：包括环形轨道(1)、机架以及安装在机架上的弧形轮组(2)、液压夹持器(3)和动力机构，所述环形轨道(1)以团簇式OLED腔体的交换腔(7)中心为圆点，弧形轮组(2)与环形轨道(1)活动连接，动力机构的输出端与弧形轮组(2)相连用于驱动弧形轮组(2)；液压夹持器(3)位于机架下部，与团簇式OLED腔体的工艺腔(8)相对。
2.根据权利要求1所述的团簇式OLED腔体切换装置，其特征在于：还包括安装在机架上的减速电机(4)、液压耦合器(5)和转向齿轮箱(6)，所述减速电机(4)的输出端与液压耦合器(5)的输入端相连，液压耦合器(5)的输出端与转向齿轮箱(6)的输入端相连，转向齿轮箱(6)的输出端与液压夹持器(3)相连。
3.根据权利要求1所述的团簇式OLED腔体切换装置，其特征在于：所述环形轨道(1)的数量为二。
4.根据权利要求2所述的团簇式OLED腔体切换装置，其特征在于：所述减速电机(4)为行星齿轮减速电机。
Priority Applications (1)
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| CN201520535474.6U CN204857791U (zh) | 2015-07-22 | 2015-07-22 | 团簇式oled腔体切换装置 |
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| CN201520535474.6U CN204857791U (zh) | 2015-07-22 | 2015-07-22 | 团簇式oled腔体切换装置 |
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| CN204857791U true CN204857791U (zh) | 2015-12-09 |
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN204857791U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111111034A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-05-08 | 江苏海拓科技有限公司 | 一种移动式长管呼吸器 |
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2015
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