CN204855349U - 硅块检测用的卡盘装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种硅块检测用的卡盘装置，所述卡盘的顶面凹设形成有凹槽，所述卡盘装置的顶端安装有硅块固定装置，所述硅块固定装置包括上下依次连接的硅胶层、支撑板和凸块，所述凸块的外形尺寸与所述凹槽匹配，所述凸块可拆卸卡持于所述凹槽内。本实用新型中，硅胶皮因其具有较好的吸附性，可对硅块起到定位作用，同时硅胶皮可以在卡盘原地旋转时起到阻止硅块发生位错的现象，硅块可以在硅胶皮上摆放成各种角度进行测量，不受卡盘尺寸的限制；环状凸块通过扣合的方式嵌在卡盘凹槽内，便于装置安装和拆卸，使用户根据需要，决定是否使用检测硅块顶底部的卡盘用装置，使用方便。

Description

硅块检测用的卡盘装置

技术领域

本申请属于硅块检测技术领域，特别是涉及一种可以辅助红外探伤仪检测到硅块顶底部缺陷的卡盘装置。

背景技术

参图1所示，现有硅块红外探伤仪11只能探测垂直于相机12的硅块13四个面，其具有如下缺点：

(1)、经探伤仪检测完后的硅块，通过截断工序把检测出来的杂质截去，由于硅块内部多晶方向的随意性，会有杂质残余包含在其中，特别是硅的氮化物和碳化物，它们会导致线切割的断线或所切硅片中有大量杂质不良品，大大提高了生产成本；

(2)、现有的红外探伤设备只能检测垂直于相机的硅块四个面，无法将硅块横向放置，使其检测到硅块顶部和底部；

(3)、机器配置的卡盘表面由四个螺钉固定，无法把硅块横放置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅块检测用的卡盘装置，以克服现有技术中的不足。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

本申请实施例公开了一种硅块检测用的卡盘装置，所述卡盘的顶面凹设形成有凹槽，所述卡盘装置的顶端安装有硅块固定装置，所述硅块固定装置包括上下依次连接的硅胶层、支撑板和凸块，所述凸块的外形尺寸与所述凹槽匹配，所述凸块可拆卸卡持于所述凹槽内。

优选的，在上述的硅块检测用的卡盘装置中，所述凸块为环形的凸块。

优选的，在上述的硅块检测用的卡盘装置中，所述环形凸块的尺寸为158*158mm，所述环形凸块的宽度为3mm，高度为3mm。

优选的，在上述的硅块检测用的卡盘装置中，所述支撑板和/或凸块的材质为PE或PVC。

优选的，在上述的硅块检测用的卡盘装置中，所述硅胶层的厚度为6mm。

本实用新型所提供的检测硅块顶底部的卡盘用装置具有以下优点：

(1)、支撑板和环状凸块的材质采用PE或PVC板构成，大大降低了生产成本；

(2)、操作起来方便快捷，提高了生产效率；

(3)、该装置虽然成本廉价，但是由于其材质具有弹性，很大程度上减少了硅块因杂质而出现的不良品，为工序节约了成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为现有技术中硅块探测装置的示意图；

图2所示为本实用新型具体实施例中硅块固定装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参图2所示，硅块检测用的卡盘装置，卡盘的顶面凹设形成有凹槽，卡盘装置的顶端安装有硅块固定装置，硅块固定装置包括上下依次连接的硅胶层21、支撑板22和凸块23，凸块23的外形尺寸与凹槽匹配，凸块23可拆卸卡持于凹槽内。

在该技术方案中，硅胶皮因其具有较好的吸附性，可对硅块起到定位作用，同时硅胶皮可以在卡盘原地旋转时起到阻止硅块发生位错的现象，硅块可以在硅胶皮上摆放成各种角度进行测量，不受卡盘尺寸的限制；环状凸块通过扣合的方式嵌在卡盘凹槽内，便于装置安装和拆卸，使用户根据需要，决定是否使用检测硅块顶底部的卡盘用装置，使用方便。

进一步地，凸块23为环形的凸块。环形凸块的尺寸为158*158mm，环形凸块的宽度为3mm，高度为3mm。

在其他实施例中，凸块23还可以为实心的矩形体。

进一步地，支撑板和/或凸块的材质为PE或PVC。硅胶层的厚度为6mm。

在该技术方案中，支撑板和环状凸块的材质采用PE或PVC板构成，大大降低了生产成本

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (5)

1.一种硅块检测用的卡盘装置，所述卡盘的顶面凹设形成有凹槽，其特征在于：所述卡盘装置的顶端安装有硅块固定装置，所述硅块固定装置包括上下依次连接的硅胶层、支撑板和凸块，所述凸块的外形尺寸与所述凹槽匹配，所述凸块可拆卸卡持于所述凹槽内。

2.根据权利要求1所述的硅块检测用的卡盘装置，其特征在于：所述凸块为环形的凸块。

3.根据权利要求2所述的硅块检测用的卡盘装置，其特征在于：所述环形凸块的尺寸为158*158mm，所述环形凸块的宽度为3mm，高度为3mm。

4.根据权利要求1所述的硅块检测用的卡盘装置，其特征在于：所述支撑板和/或凸块的材质为PE或PVC。

5.根据权利要求1所述的硅块检测用的卡盘装置，其特征在于：所述硅胶层的厚度为6mm。