CN202395013U - 带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具 - Google Patents

带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具 Download PDF

Info

Publication number
CN202395013U
CN202395013U CN2011205506628U CN201120550662U CN202395013U CN 202395013 U CN202395013 U CN 202395013U CN 2011205506628 U CN2011205506628 U CN 2011205506628U CN 201120550662 U CN201120550662 U CN 201120550662U CN 202395013 U CN202395013 U CN 202395013U
Authority
CN
China
Prior art keywords
clamp
pressure
pressure measuring
plasma etcher
utility
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2011205506628U
Other languages
English (en)
Inventor
刘重阳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHANGHAI YINGLI OPTRONICS TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
SHANGHAI YINGLI OPTRONICS TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHANGHAI YINGLI OPTRONICS TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical SHANGHAI YINGLI OPTRONICS TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN2011205506628U priority Critical patent/CN202395013U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202395013U publication Critical patent/CN202395013U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Abstract

本实用新型公开了一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器，所述压力传感器与压力显示设备连接。本实用新型能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。

Description

带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具
技术领域
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种等离子刻蚀技术中的带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具。
背景技术
等离子刻蚀是现代晶体硅太阳能电池生产不可缺少的部分。现有的等离子刻蚀机的夹具并没有压力测量装置，由于硅片的薄厚不是固定的，所以在等离子刻蚀夹硅片的过程中操作人员不知道硅片受到夹具压力的大小，如果夹的过松，硅片之间有间隙，这样会导致刻蚀的深度变深会影响电池片的效率；如果夹的过紧就会出现硅片损坏，这样将会增大碎片率，减少利润。
因此，特别需要一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，这样就能解决夹片过程中出现上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，以解决现有技术中不方便控制夹具力度的问题。
为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，其特征在于，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器，所述压力传感器与压力显示设备连接。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述压力传感器的下端设置有一隔板。
本实用新型能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。
本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
附图说明
图1为本实用新型的上夹具夹持面的示意图。
图2为本实用新型的使用状态示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例进一步阐述本实用新型。
如图1和2所示，带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，夹具本体包括上夹具100和下夹具200，在上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器110，压力传感器110均布在上夹具的夹持面上。压力传感器110与压力显示设备300连接。
压力传感器的下端设置有一隔板400。使硅片500和压力传感器110均匀受力。
当夹具中放有硅片500，把上夹具盖好，开始旋转螺母压缩硅片500，压力显示设备300就会显示一个数值，当压力达到合理大小时，停止旋转螺母，完成压缩硅片。
本实用新型能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (2)

1.带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，其特征在于，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器，所述压力传感器与压力显示设备连接。
2.根据权利要求1所述的带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，其特征在于，所述压力传感器的下端设置有一隔板。
CN2011205506628U 2011-12-26 2011-12-26 带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具 Expired - Fee Related CN202395013U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011205506628U CN202395013U (zh) 2011-12-26 2011-12-26 带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011205506628U CN202395013U (zh) 2011-12-26 2011-12-26 带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202395013U true CN202395013U (zh) 2012-08-22

Family

ID=46669917

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011205506628U Expired - Fee Related CN202395013U (zh) 2011-12-26 2011-12-26 带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202395013U (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103746042A (zh) * 2014-01-26 2014-04-23 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 一种太阳能电池片的刻蚀方法
CN108039333A (zh) * 2018-01-12 2018-05-15 常州市杰洋精密机械有限公司 太阳能电池硅片清洗花篮用夹具及其控制方法
CN110714217A (zh) * 2018-07-15 2020-01-21 台湾积体电路制造股份有限公司 侦测压力的方法及用于电镀设备的装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103746042A (zh) * 2014-01-26 2014-04-23 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 一种太阳能电池片的刻蚀方法
CN108039333A (zh) * 2018-01-12 2018-05-15 常州市杰洋精密机械有限公司 太阳能电池硅片清洗花篮用夹具及其控制方法
CN108039333B (zh) * 2018-01-12 2023-09-26 常州市杰洋精密机械有限公司 太阳能电池硅片清洗花篮用夹具及其控制方法
CN110714217A (zh) * 2018-07-15 2020-01-21 台湾积体电路制造股份有限公司 侦测压力的方法及用于电镀设备的装置
US11187602B2 (en) 2018-07-15 2021-11-30 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Device and method for pressure force inspection
CN110714217B (zh) * 2018-07-15 2022-04-19 台湾积体电路制造股份有限公司 侦测压力的方法及用于电镀设备的装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN204471236U (zh) 一种涡轮转子叶片专用夹具
CN202395013U (zh) 带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具
CN203414332U (zh) 一种混凝土试块定位装置
CN207066875U (zh) 一种压缩应力松弛检测装置
CN207967183U (zh) 一种动力电池模组工装
CN203565890U (zh) 管道端面坡口机的刀杆斜铁调整装置
CN203132742U (zh) 压力盒固定装置
CN202622108U (zh) 一种电极夹具调节装置
CN104124192A (zh) 一种等离子体刻蚀硅片夹具
CN104089559A (zh) 一种电池测厚装置
CN203437949U (zh) 一种用于水泵壳加工的旋转装置
CN203282290U (zh) 一种矩形刀片固定治具
CN202388403U (zh) 一种平板夹具
CN203178134U (zh) 拉力试验夹
CN203973124U (zh) 接地基引线焊接模具
CN205317413U (zh) 一种气密检测装置
CN203900906U (zh) 一种加工模具冲头长度的夹具
CN201837664U (zh) 用于电能表的接线片
CN203817826U (zh) 零件专用加工装备
CN206632897U (zh) 一种手机中框测量卡槽夹具
CN203011811U (zh) 一种用于测试压敏胶粘力的装置
CN203389993U (zh) 一种钢板卷取轴
CN203566292U (zh) 高效车外圆夹具
CN203343765U (zh) 用于切割钢管的固定装置
CN203317273U (zh) 一种安装汽车水箱安装孔上的保护扣用的工装

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120822

Termination date: 20151226

EXPY Termination of patent right or utility model