CN204832763U - 光罩线路检测仪 - Google Patents

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胡德才
李朝庭
张义
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Abstract

本实用新型公开了一种光罩线路检测仪，包括工作平台、横梁、放大装置及显示装置，所述工作平台上设有用于放置光罩的曝光区，所述曝光区的下方设有灯箱，所述工作平台上还设有两条相对设置的导轨，所述横梁可滑动地安装在两条导轨上，所述放大装置可滑动地安装在横梁上，所述显示装置与放大装置电性连接。上述光罩线路检测仪，可根据检测需要，将放大装置移动至曝光区的任意位置对待测光罩上的线路进行放大，放大的图像由显示装置输出。利用该光罩线路检测仪，检测人员可以大幅提升检验的速度，节约检测时间，而且检验的结果更准确，能大大降低了检验成本。检测过程并不需要对光罩进行移动，避免了材料刮花或磨损，也不会对曝光区造成损坏。

Description

光罩线路检测仪
技术领域
本实用新型涉及光罩检测技术领域，特别涉及一种光罩线路检测仪。
背景技术
光罩，又称光掩模版，其上形成有与半导体芯片对应的电路布线图。目前，在光罩的制造过程中，需要人工使用放大镜(10倍)对光罩上的线路进行检测，但这种检测方式需不停调整光罩的位置，易造成材料刮花、磨损，同时也容易造成漏检，使不良品流往生产线，增加了产品制造的不良风险，形成的废品浪费生产成本。另外由于光罩本身很笨重，难以移动，会导致检测难度增大，检测不精确。
发明内容
基于此，本实用新型在于克服现有技术的缺陷，提供一种便于检测的光罩线路检测仪，大大提升了光罩线路的检测效率，省时省力。
其技术方案如下：
一种光罩线路检测仪，包括工作平台、横梁、放大装置及显示装置，所述工作平台上设有用于放置光罩的曝光区，所述曝光区的下方设有灯箱，所述工作平台上还设有两条相对设置的导轨，所述横梁可滑动地安装在两条导轨上，所述放大装置可滑动地安装在横梁上，所述显示装置与放大装置电性连接。
在其中一个实施例中，两条所述导轨分别安装在曝光区的两侧，所述放大装置吊装在横梁的下方。
在其中一个实施例中，所述显示装置固定在横梁上。
在其中一个实施例中，所述灯箱内至少设有三根日光灯管。
在其中一个实施例中，所述光罩线路检测仪还包括第一驱动电机及第二驱动电机，所述横梁与第一驱动电机驱动连接，所述放大装置与第二驱动电机驱动连接。
在其中一个实施例中，所述光罩线路检测仪还包括控制器，所述第一驱动电机、第二驱动电机分别与所述控制器电性连接。
在其中一个实施例中，所述光罩线路检测仪还包括放大倍数调节器，所述放大倍数调节器与放大装置电性连接。
在其中一个实施例中，所述曝光区上铺设有若干静电条。
在其中一个实施例中，所述放大装置为CCD摄像头，所述显示装置为CCD显示器。
在其中一个实施例中，所述光罩线路检测仪还包括与所述导轨匹配的导轨支架，所述导轨通过导轨支架安装在工作平台上。
下面对前述技术方案的优点或原理进行说明：
上述光罩线路检测仪，在进行线路检测时，将待测光罩置于曝光区上，曝光区下的灯箱提供检测所需的光源，由于横梁可在导轨上滑动，且放大装置可在横梁上滑动，因而可根据检测需要，将放大装置移动至曝光区的任意位置对待测光罩上的线路进行放大，放大的图像由显示装置输出。利用该光罩线路检测仪，检测人员可以大幅提升检验的速度，节约检测时间，而且检验的结果更准确，能大大降低了检验成本。检测过程并不需要对光罩进行移动，避免了材料刮花或磨损，也不会对曝光区造成损坏。
附图说明
图1为本实用新型实施例所述的光罩线路检测仪的剖视示意图。
附图标记说明：
1、工作平台，2、横梁，3、放大装置，4、显示装置，5、曝光区，6、灯箱，7、导轨，8、导轨支架。
具体实施方式
下面对本实用新型的实施例进行详细说明：
如图1所示，本实施例提供了一种光罩线路检测仪，包括工作平台1、横梁2、放大装置3及显示装置4，所述工作平台1上设有用于放置光罩的曝光区5，所述曝光区5的下方设有灯箱6，所述工作平台1上还设有两条相对设置的导轨7，所述横梁2可滑动地安装在两条导轨7上，所述放大装置3可滑动地安装在横梁2上，所述显示装置4与放大装置3电性连接。上述光罩线路检测仪，在进行线路检测时，将待测光罩置于曝光区5上，曝光区5下的灯箱6提供检测所需的光源，由于横梁2可在导轨7上滑动，且放大装置3可在横梁2上滑动，因而可根据检测需要，将放大装置3移动至曝光区5的任意位置对待测光罩上的线路进行放大，放大的图像由显示装置4输出。利用该光罩线路检测仪，检测人员可以大幅提升检验的速度，节约检测时间，而且检验的结果更准确，能大大降低了检验成本。检测过程并不需要对光罩进行移动，避免了材料刮花或磨损，也不会对曝光区5造成损坏。
在本实施例中，两条所述导轨7分别安装在曝光区5的两侧，使横梁2处于曝光区5的上方，所述放大装置3吊装在横梁2的下方，靠近待测光罩以便放大。所述显示装置4固定在横梁2上，跟随横梁2移动，检测人员在观察到图像的同时能够得知横梁2移动至何处，便于检测。可以理解的，显示装置4也可以固定在其它地方，以方便观察为宜。所述光罩线路检测仪还包括第一驱动电机及第二驱动电机，所述横梁2与第一驱动电机驱动连接，所述放大装置3与第二驱动电机驱动连接，驱使横梁2和放大装置3移动。优选的，所述灯箱6内至少设有三根日光灯管，充分照亮曝光区5上的待测光罩，方便检测。
本实施例所述的光罩线路检测仪还包括控制器，所述第一驱动电机、第二驱动电机分别与所述控制器电性连接，检测人员通过操作控制器以控制横梁2与放大装置3的移动方向。所述光罩线路检测仪还包括放大倍数调节器，所述放大倍数调节器与放大装置3电性连接，可作放大装置3的倍率调整。所述曝光区5上铺设有若干静电条，防止静电对待测光罩的损坏。
本实施例采用CCD摄像头作为放大装置3，畸变小、体积小、寿命长，最大放大倍数可达200倍，显示装置4为CCD显示器，显示图像清晰。所述光罩线路检测仪还包括与所述导轨7匹配的导轨支架8，所述导轨7通过导轨支架8安装在工作平台1上，以提高导轨7与横梁2的高度，方便CCD摄像头吊装。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种光罩线路检测仪，其特征在于，包括工作平台、横梁、放大装置及显示装置，所述工作平台上设有用于放置光罩的曝光区，所述曝光区的下方设有灯箱，所述工作平台上还设有两条相对设置的导轨，所述横梁可滑动地安装在两条导轨上，所述放大装置可滑动地安装在横梁上，所述显示装置与放大装置电性连接。
2.根据权利要求1所述的光罩线路检测仪，其特征在于，两条所述导轨分别安装在曝光区的两侧，所述放大装置吊装在横梁的下方。
3.根据权利要求2所述的光罩线路检测仪，其特征在于，所述显示装置固定在横梁上。
4.根据权利要求1所述的光罩线路检测仪，其特征在于，所述灯箱内至少设有三根日光灯管。
5.根据权利要求1所述的光罩线路检测仪，其特征在于，还包括第一驱动电机及第二驱动电机，所述横梁与第一驱动电机驱动连接，所述放大装置与第二驱动电机驱动连接。
6.根据权利要求5所述的光罩线路检测仪，其特征在于，还包括控制器，所述第一驱动电机、第二驱动电机分别与所述控制器电性连接。
7.根据权利要求1所述的光罩线路检测仪，其特征在于，还包括放大倍数调节器，所述放大倍数调节器与放大装置电性连接。
8.根据权利要求1所述的光罩线路检测仪，其特征在于，所述曝光区上铺设有若干静电条。
9.根据权利要求1-8任一项所述的光罩线路检测仪，其特征在于，所述放大装置为CCD摄像头，所述显示装置为CCD显示器。
10.根据权利要求9所述的光罩线路检测仪，其特征在于，还包括与所述导轨匹配的导轨支架，所述导轨通过导轨支架安装在工作平台上。
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