CN204790612U - 一种抽真空系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于真空系统技术领域，公开了一种抽真空系统，包括：用于抽真空的真空泵、用于缓冲的缓冲瓶和应用设备，所述真空泵和应用设备之间连接有缓冲瓶，所述真空泵和缓冲瓶之间设有调压阀，所述真空泵包括第一真空泵和第二真空泵，所述缓冲瓶包括第一缓冲瓶和第二缓冲瓶，所述第一真空泵和第二真空泵分别连接在第一缓冲瓶上，所述第一缓冲瓶和第二缓冲瓶串联连接，第二缓冲瓶的输出端与应用设备相连接。本实用新型的抽真空系统使得设备处于固定的真空状态，满足设备的使用要求。
Description
技术领域
本实用新型属于抽真空技术领域，涉及一种抽真空系统。
背景技术
微电子行业所用光刻胶实验室的每台设备都需要抽真空，通过真空来吸附硅片，所以每台设备都直接配有1到2台真空泵。
直接使用真空泵造成真空泵寿命短，真空压力下降快，导致真空度不够，设备报警，硅片破碎等问题发生。所以，目前设备所需真空问题是比较棘手的问题，亟需一种安全的抽真空系统。
实用新型内容
为了解决现有的真空系统中存在真空泵寿命短，真空压力下降快的问题，本实用新型提供了一种带有缓冲瓶的真空系统。
本实用新型采用的技术方案是：一种抽真空系统，包括：用于抽真空的真空泵、用于缓冲的缓冲瓶和应用设备，所述真空泵和应用设备之间连接有缓冲瓶，所述真空泵和缓冲瓶之间设有调压阀，所述真空泵包括第一真空泵和第二真空泵，所述缓冲瓶包括第一缓冲瓶和第二缓冲瓶，所述第一真空泵和第二真空泵分别连接在第一缓冲瓶上，所述第一缓冲瓶和第二缓冲瓶串联连接，第二缓冲瓶的输出端与应用设备相连接。
优选地，还包括一压力表，所述压力表设置在所述第二缓冲瓶和应用设备之间。
优选地，还包括第三缓冲瓶，所述第三缓冲瓶设置在第一缓冲瓶和第二缓冲瓶之间。
优选地，所述第一缓冲瓶和第一真空泵之间还设有第一控制阀。
优选地，所述第一缓冲瓶和第二真空泵之间还设有第二控制阀。
优选地，所述第二缓冲瓶与应用设备之间还设有调压阀。
优选地，还包括一控制器，所述控制器分别与两个真空泵的电机相连接，用于控制电机的工作状态。
优选地，所述控制器还与第一控制阀、第二控制阀、压力表相连接，用于根据压力表的压力值来控制第一控制阀、第二控制阀的开闭状态。
本实用新型的优点和有益效果在于：本实用新型的真空系统可以减少实验室真空泵的个数，降低设备成本和实验室噪音污染(此系统将放置于实验室外)，提供更稳定的真空压力，为了增加真空系统的寿命和方便系统内真空泵的维护，真空系统内最少配备两台真空泵，而且需要定期更换使用保养。该设计占用室内洁净空间较小，设计巧妙，安装方便简单，并且整体造价不高，是一种非常实用的抽真空方式。
附图说明
图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的具体实施方式作进一步描述，以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图1所示，为本实用新型一种实施例的结构示意图，该抽真空系统包括第一真空泵1和第二真空泵2，所述缓冲瓶包括第一缓冲瓶3、第二缓冲瓶4，所述第一真空泵1和第二真空泵2分别连接在第一缓冲瓶3上，所述第一缓冲瓶3和第二缓冲瓶4串联连接，第二缓冲瓶4的输出端与应用设备9相连接。
本实用新型的真空系统可以减少实验室真空泵的个数，降低设备成本和实验室噪音污染(此系统将放置于实验室外)，提供更稳定的真空压力，为了增加真空系统的寿命和方便系统内真空泵的维护
本实用新型的抽真空系统包括用于抽真空的第一真空泵1、第二真空泵2和用于缓冲作用的第一缓冲瓶3、第二缓冲瓶4，在所述真空泵和缓冲瓶之间设有第一控制阀5、第二控制阀6、压力表8，以及各设备端调压阀，所述真空系统用于提供设备需要的正常真空压力。
本实用新型的抽真空系统还包括一压力表8，所述压力表设置在所述第二缓冲瓶4和应用设备9之间，用于测量输到应用设备的压力值。
本实用新型的第一缓冲瓶3和第一真空泵1之间还设有第一控制阀5，所述第一缓冲瓶3和第二真空泵2之间还设有第二控制阀6。
本实用新型的第二缓冲瓶4与应用设备9之间还设有调压阀7，用于调整压力值。
优选地，所述第二缓冲瓶通过多条管路与对应的应用设备相连接。
优选地，还包括第三缓冲瓶，所述第三缓冲瓶设置在第一缓冲瓶和第二缓冲瓶之间。三个缓冲瓶共同来提高压力缓冲，从而提高了设备的使用寿命。
本实用新型的抽真空系统还包括一控制器，所述控制器分别与两个真空泵的电机相连接，用于控制电机的工作状态。优选地，控制器还与第一控制阀5、第二控制阀6、压力表8相连接，用于根据压力表的压力值来控制第一控制阀、第二控制阀的关断。更优地，所述控制器还与调压阀7相连接，用于控制调压阀的调压大小。
以上所述仅是本实用新型的优先实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种抽真空系统，其特征在于，包括：用于抽真空的真空泵、用于缓冲的缓冲瓶和应用设备(9)，所述真空泵和应用设备之间连接有缓冲瓶，所述真空泵和缓冲瓶之间设有调压阀，所述真空泵包括第一真空泵(1)和第二真空泵(2)，所述缓冲瓶包括第一缓冲瓶(3)和第二缓冲瓶(4)，所述第一真空泵(1)和第二真空泵(2)分别连接在第一缓冲瓶(3)上，所述第一缓冲瓶(3)和第二缓冲瓶(4)串联连接，第二缓冲瓶(4)的输出端与应用设备(9)相连接。
2.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，还包括一压力表(8)，所述压力表设置在所述第二缓冲瓶(4)和应用设备(9)之间。
3.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，还包括第三缓冲瓶，所述第三缓冲瓶设置在第一缓冲瓶和第二缓冲瓶之间。
4.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述第一缓冲瓶(3)和第一真空泵(1)之间还设有第一控制阀(5)。
5.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述第一缓冲瓶(3)和第二真空泵(2)之间还设有第二控制阀(6)。
6.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述第二缓冲瓶(4)与应用设备(9)之间还设有调压阀(7)。
7.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，还包括一控制器，所述控制器分别与两个真空泵的电机相连接，用于控制电机的工作状态。
8.根据权利要求7所述的抽真空系统，其特征在于，所述控制器还与第一控制阀(5)、第二控制阀(6)、压力表(8)相连接，用于根据压力表的压力值来控制第一控制阀、第二控制阀的开闭状态。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201520477818.2U CN204790612U (zh) | 2015-07-03 | 2015-07-03 | 一种抽真空系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520477818.2U CN204790612U (zh) | 2015-07-03 | 2015-07-03 | 一种抽真空系统 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN204790612U true CN204790612U (zh) | 2015-11-18 |
Family
ID=54530624
Family Applications (1)
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| CN201520477818.2U Active CN204790612U (zh) | 2015-07-03 | 2015-07-03 | 一种抽真空系统 |
Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114939445A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-08-26 | 合肥通用机械研究院有限公司 | 一种大型真空度变化试验装置及应用该装置的试验方法 |
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2015
- 2015-07-03 CN CN201520477818.2U patent/CN204790612U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114939445A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-08-26 | 合肥通用机械研究院有限公司 | 一种大型真空度变化试验装置及应用该装置的试验方法 |
| CN114939445B (zh) * | 2022-03-29 | 2023-12-22 | 合肥通用机械研究院有限公司 | 一种大型真空度变化试验装置及应用该装置的试验方法 |
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