CN204718746U - 一种基板的气液密封检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种基板的气液密封检测装置,包括支架、固定在支架上的无底水池、位于无底水池正下方的升降台以及与升降台相连的驱动机构,升降台上搁置有基板,升降台的外侧设有固定基板的固定机构,基板上设有螺堵,基板通过所述升降台升降来控制与所述无底水池的下端密封接触或者分离;升降台上设有与螺堵相对应的出气口,该出气口与外界进气管连通,升降台上出气口的外侧设有压力传感器,无底水池的上方设有出水龙头,在出水龙头上设有控制阀,该控制阀和压力传感器之间通过控制器连接;本实用新型具有机构简单和可靠性强的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种检测装置,尤其是一种基板的气液密封检测装置。
背景技术
许多精密器械当中都包含有基板,在基本上往往设有螺堵,这类基板在使用过程中,一般要求气密封,以使得器械能够正常高效的运行。在现有技术中,通常只是在螺堵与基板之间加设密封胶带,以认为螺堵与基板之间已达到气密封,即没有专门的气密性检测设备对其进行检测,故有些基板与螺堵之间的气密性无法保证,即可靠性不强,而且现在基板与螺堵之间的气密性都是通过人工进行检测,效率不高。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中基板检测装置所存在的缺陷,提供一种基板的气液密封检测装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种基板的气液密封检测装置,包括支架、固定在支架上的无底水池、位于无底水池正下方的升降台以及与升降台相连的驱动机构,所述升降台上搁置有基板,升降台的外侧设有固定基板的固定机构,基板上设有螺堵,基板通过所述升降台升降来控制与所述无底水池的下端密封接触或者分离;
所述升降台上设有与所述螺堵相对应的出气口,该出气口与外界进气管连通,所述升降台上出气口的外侧设有压力传感器,所述无底水池的上方设有出水龙头,在出水龙头上设有控制阀,该控制阀和所述压力传感器之间通过控制器连接;
所述驱动机构包括设置在所述支架上的伸缩气缸,该伸缩气缸的活塞杆与所述升降台的底部固定连接;
所述固定机构包括与所述升降台边缘连接的多个活动挡板,活动挡板与升降台的连接处设有扭簧。
上述的一种基板的气液密封检测装置,所述所述无底水池的下方与基板之间设有密封条。
上述的一种基板的气液密封检测装置,所述进气管的端部连接有气泵。
上述的一种基板的气液密封检测装置,所述气泵与所述控制器连接。
本实用新型的有益效果为:由于在基板的上方设有水池,且该水池为无底结构,即基板与水池围成了一个储水腔,同时在基板的下方设有升降台,在升降台上设有与基板上螺堵位置相对应的出气口。在检测过程中,向水池中注入水,使它完全淹没过螺堵,再向出气口中通入高压空气,此时通过观测螺堵周围是否有气泡溢出即可得知基板的密封情况,因此本实用新型具有机构简单和可靠性强的优点。
附图说明
图1为本实用新型的示意图;
图2为本实用新型升降台的示意图。
具体实施方式
为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解和认识,用以较佳的实施例及附图配合详细的说明,说明如下:
如图1、图2所示,一种基板的气液密封检测装置,包括支架1、固定在支架1上的无底水池2、位于无底水池2正下方的升降台3以及与升降台3相连的驱动机构,升降台3上搁置有基板4,升降台3的外侧设有固定基板4的固定机构,基板4上设有螺堵,基板4通过升降台3升降来控制与无底水池2的下端密封接触或者分离,无底水池2的下方与基板4之间设有密封条;
升降台3上设有与螺堵相对应的出气口5,该出气口5与外界进气管连通,升降台3上出气口5的外侧设有压力传感器6,进气管的端部连接有气泵,气泵与控制器连接,无底水池2的上方设有出水龙头7,在出水龙头7上设有控制阀8,该控制阀8和压力传感器6之间通过控制器连接;
驱动机构包括设置在支架1上的伸缩气缸9,该伸缩气缸9的活塞杆10 与升降台3的底部固定连接;固定机构包括与升降台3边缘连接的多个活动挡板11,活动挡板11与升降台3的连接处设有扭簧。
由于在基板的上方设有水池,且该水池为无底结构,即基板4与水池2围成了一个储水腔,同时在基板4的下方设有升降台3,在升降台3上设有与基板4上螺堵位置相对应的出气口5。在检测过程中,升降台3在伸缩气缸9的推力作用下,升降台上的出气口5处的压力传感器6与基板4的螺堵产生挤压力,压力传感器6将接触挤压的信号输送给控制器,此时,控制器控制出水龙头7上的控制阀8开启向水池2中注水,使它完全淹没过螺堵,控制器再控制气泵通过进气管向出气口5中通入高压空气,此时通过观测螺堵周围是否有气泡溢出即可得知基板的密封情况,因此本实用新型具有机构简单和可靠性强的优点。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (4)
1.一种基板的气液密封检测装置,包括支架、固定在支架上的无底水池、位于无底水池正下方的升降台以及与升降台相连的驱动机构,其特征在于,所述升降台上搁置有基板,升降台的外侧设有固定基板的固定机构,基板上设有螺堵,基板通过所述升降台升降来控制与所述无底水池的下端密封接触或者分离;
所述升降台上设有与所述螺堵相对应的出气口,该出气口与外界进气管连通,所述升降台上出气口的外侧设有压力传感器,所述无底水池的上方设有出水龙头,在出水龙头上设有控制阀,该控制阀和所述压力传感器之间通过控制器连接;
所述驱动机构包括设置在所述支架上的伸缩气缸,该伸缩气缸的活塞杆与所述升降台的底部固定连接;
所述固定机构包括与所述升降台边缘连接的多个活动挡板,活动挡板与升降台的连接处设有扭簧。
2.根据权利要求1所述的一种基板的气液密封检测装置,其特征在于,所述所述无底水池的下方与基板之间设有密封条。
3.根据权利要求1所述的一种基板的气液密封检测装置,其特征在于,所述进气管的端部连接有气泵。
4.根据权利要求3所述的一种基板的气液密封检测装置,其特征在于,所述气泵与所述控制器连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201520298716.4U CN204718746U (zh) | 2015-05-11 | 2015-05-11 | 一种基板的气液密封检测装置 |
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CN201520298716.4U CN204718746U (zh) | 2015-05-11 | 2015-05-11 | 一种基板的气液密封检测装置 |
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CN (1) | CN204718746U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108120561A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-06-05 | 重庆晓微城企业孵化器有限公司 | 一种水密性气密性检测台 |
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2015
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GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20151021 Termination date: 20170511 |