CN204714885U - 用于电子枪蒸发镀铝的坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，其特征在于：所述坩埚包括陶瓷坩锅体和刚玉坩埚口，所述刚玉坩埚口烧结在所述陶瓷坩埚体的上部，两者之间构成一体。本实用新型的优点是：避免了铝从坩埚中外爬；增加坩埚的开裂周期，即增加了坩埚的可使用时间，降低了生产成本；结构简单合理、使用方便、适于推广。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是用于电子枪蒸发镀铝的坩埚。
背景技术
目前镀铝的坩埚主要是石墨坩埚、陶瓷坩埚、刚玉坩埚和氮化硼坩埚。其中石墨坩埚的缺点是：如果石墨坩埚跟冷却的坩埚座相接触，使用1-2次坩埚就膨胀并开裂，同时铝会爬到坩埚口的外壁部分，蒸发电流很大，如果石墨坩埚跟冷却的坩埚座不接触，镀膜过程中铝爬的就非常厉害，能够爬到坩埚外侧的底部，而且铝会浸润到石墨里面，第二次第三次镀膜的时候，石墨坩埚就会开裂。陶瓷坩埚跟石墨坩埚类似，但是开裂的周期比石墨长，仍然不能避免铝往外面爬。刚玉坩埚虽然跟铝有疏离的特性，但是很容易开裂。氮化硼坩埚目前使用也有开裂的问题，但是成本很高。
发明内容
本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，通过把刚玉的坩埚口直接烧结在陶瓷坩埚上面，形成具有刚玉坩埚口的陶瓷坩埚，刚玉的坩埚口阻止了铝往外爬，解决了镀铝的坩埚问题。
本实用新型目的实现由以下技术方案完成：
一种用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，其特征在于：所述坩埚包括陶瓷坩锅体和刚玉坩埚口，所述刚玉坩埚口烧结在所述陶瓷坩埚体的上部，两者之间构成一体。
所述陶瓷坩埚体和所述刚玉坩埚口之间通过连接结构配合连接并烧结成一体。
所述连接结构为形成于所述刚玉坩埚口下部的挂钩形连接结构。
所述挂钩形连接结构为挂钩形刚玉连接件。
所述连接结构为形成于所述刚玉坩埚口下部的工字形连接结构。
所述工字形连接结构为工字形刚玉连接件。
本实用新型的优点是：避免了铝从坩埚中外爬；增加坩埚的开裂周期，即增加了坩埚的可使用时间，降低了生产成本；结构简单合理、使用方便、适于推广。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
如图1所示，图中标记1-2分别为：刚玉坩埚口1、陶瓷坩埚体2。
实施例：如图1所示，本实施例中用于电子枪蒸发镀铝的坩埚包括刚玉坩埚口1和陶瓷坩埚体2。刚玉坩埚口1烧结在陶瓷坩埚体2的上部，两者之间形成一体。藉由刚玉坩埚口1跟铝的疏离特性，在蒸发镀铝时，即使铝爬到陶瓷坩埚体2的上部边缘，也会被烧结在陶瓷坩埚体2上部的刚玉坩埚口1阻拦，以避免其进一步外爬。而选择陶瓷坩埚体2是利用其开裂周期较长的特点，来增加坩埚的可使用时间。
本实施例在具体实施时：为了提高刚玉坩埚口1和陶瓷坩埚体2之间的连接强度和一体程度，可通过在刚玉坩埚口1与陶瓷坩埚体2之间设置连接结构来实现。例如，通过刚玉坩埚口1在陶瓷坩埚体2内部的挂钩形、工字形或其它可行的连接结构烧结在陶瓷坩埚体2内部；此时，烧结完成后的刚玉坩埚口1和陶瓷坩埚体2之间便通过该连接结构紧密连接，从而形成一体的坩埚。连接结构可形成于刚玉坩埚口1下部，因此其材质为刚玉，可进一步避免铝在蒸发时的向上攀爬。挂钩形和工字形的连接结构可分别选择为刚玉坩埚口1下部的挂钩形刚玉连接件或工字形刚玉连接件。
虽然以上实施例已经参照附图对本实用新型目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本实用新型作出各种改进和变换，如：在改变坩埚的形状、大小，刚玉坩埚口1所占坩埚的比例等，故在此不一一赘述。
Claims (6)
1.一种用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，其特征在于：所述坩埚包括陶瓷坩锅体和刚玉坩埚口，所述刚玉坩埚口烧结在所述陶瓷坩埚体的上部，两者之间构成一体。
2.根据权利要求1所述的一种用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，其特征在于：所述陶瓷坩埚体和所述刚玉坩埚口之间通过连接结构配合连接并烧结成一体。
3.根据权利要求2所述的一种用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，其特征在于：所述连接结构为形成于所述刚玉坩埚口下部的挂钩形连接结构。
4.根据权利要求3所述的一种用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，其特征在于：所述挂钩形连接结构为挂钩形刚玉连接件。
5.根据权利要求2所述的一种用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，其特征在于：所述连接结构为形成于所述刚玉坩埚口下部的工字形连接结构。
6.根据权利要求5所述的一种用于电子枪蒸发镀铝的坩埚，其特征在于：所述工字形连接结构为工字形刚玉连接件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520349128.9U CN204714885U (zh) | 2015-05-27 | 2015-05-27 | 用于电子枪蒸发镀铝的坩埚 |
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| CN201520349128.9U CN204714885U (zh) | 2015-05-27 | 2015-05-27 | 用于电子枪蒸发镀铝的坩埚 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN204714885U true CN204714885U (zh) | 2015-10-21 |
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ID=54313891
Family Applications (1)
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| CN201520349128.9U Active CN204714885U (zh) | 2015-05-27 | 2015-05-27 | 用于电子枪蒸发镀铝的坩埚 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN204714885U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111979515A (zh) * | 2019-05-24 | 2020-11-24 | 南开大学 | 一种蓝宝石坩埚和制备铊系高温超导薄膜的方法 |
-
2015
- 2015-05-27 CN CN201520349128.9U patent/CN204714885U/zh active Active
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|---|---|---|---|---|
| CN111979515A (zh) * | 2019-05-24 | 2020-11-24 | 南开大学 | 一种蓝宝石坩埚和制备铊系高温超导薄膜的方法 |
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