CN202329110U - 导电氮化硼蒸发坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种蒸发坩埚，具体涉及一种导电氮化硼蒸发坩埚，包括锅体，锅体上部开设有物料凹槽，锅体底部开设有凹槽，其特征在于物料凹槽表面复合有防粘涂层。本实用新型结构简单，制作简便，利用氮化硼的优良特性从而使坩埚更加耐高温，并且避免与锅体反应，防粘涂层有效的防止物料与锅体的粘附。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蒸发坩埚，具体涉及一种导电氮化硼蒸发坩埚。
背景技术
目前用于难熔金属，特别是用于铁、铜、铝、锌等难熔金属以及单晶硅等的熔解冶炼，是在真空状态下，将待蒸发材料通电加热，达到金属材料熔点后熔化蒸发，用于金属涂层的蒸镀。
传统用于难熔金属以及单晶硅熔解的熔解炉主要材料为石墨，现有的石墨坩埚在熔炼过程中其锅体容易被铁、铜渣等沉渣料所粘附，从而导致石墨坩埚锅体出现裂缝，缩短了使用寿命。
实用新型内容
根据以上现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种导电氮化硼蒸发坩埚，能够解决沉渣料粘附锅体的问题，从而延长坩埚的使用寿命。
本实用新型所述的一种导电氮化硼蒸发坩埚，包括锅体，锅体上部开设有物料凹槽，锅体底部开设有凹槽，物料凹槽表面复合有防粘涂层。
其中，物料凹槽的开口形状优选为圆形。
本实用新型采用氮化硼来代替石墨作为坩埚的制作原料，氮化硼可加热的温度高，并且不与金属发生反应，还能熔解一些普通坩埚难以熔解的金属与非金属材料。
本实用新型在制作好坩埚锅体后，在高温离心作用下将熔融的防粘涂层附于物料凹槽的表面，防粘涂层能有效的防止物料与锅体的粘附。
本实用新型所具有的有益效果是：结构简单，制作简便，利用氮化硼的优良特性从而使坩埚更加耐高温，并且避免与锅体反应，防粘涂层有效的防止物料与锅体的粘附。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为图1的俯视图；
图中：1、锅体 2、物料凹槽 3、凹槽 4、防粘涂层。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步描述。
如图1和图2所示，本实用新型所述的一种导电氮化硼蒸发坩埚，包括锅体1，锅体1上部开设有物料凹槽2，锅体1底部开设有凹槽3，物料凹槽2表面复合有防粘涂层4。
其中，物料凹槽2的开口形状为圆形。
本实用新型采用氮化硼来代替石墨作为坩埚的制作原料，氮化硼可加热的温度高，并且不与金属发生反应，还能熔解一些普通坩埚难以熔解的金属与非金属材料。
本实用新型在制作好坩埚锅体1后，在高温离心作用下将熔融的防粘涂层4附于物料凹槽2的表面，防粘涂层4能有效的防止物料与锅体1的粘附。
本实用新型结构简单，制作简便，利用氮化硼的优良特性从而使坩埚更加耐高温，并且避免与锅体1反应，防粘涂层4有效的防止物料与锅体1的粘附。
Claims (2)
1.一种导电氮化硼蒸发坩埚，包括锅体，锅体上部开设有物料凹槽，锅体底部开设有凹槽，其特征在于物料凹槽表面复合有防粘涂层。
2.根据权利要求1所述的一种导电氮化硼蒸发坩埚，其特征在于物料凹槽的开口形状为圆形。
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| CN2011204439999U CN202329110U (zh) | 2011-11-10 | 2011-11-10 | 导电氮化硼蒸发坩埚 |
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| CN (1) | CN202329110U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104233197A (zh) * | 2014-09-30 | 2014-12-24 | 苏州普京真空技术有限公司 | 一种新型坩埚 |
| CN105964318A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-09-28 | 江阴市正中科教器材有限公司 | 一种环形加热坩埚 |
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2011
- 2011-11-10 CN CN2011204439999U patent/CN202329110U/zh not_active Expired - Fee Related
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20120711 Termination date: 20131110 |