CN204596753U - 检测发光器件混色缺陷的装置 - Google Patents
检测发光器件混色缺陷的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204596753U CN204596753U CN201520154803.2U CN201520154803U CN204596753U CN 204596753 U CN204596753 U CN 204596753U CN 201520154803 U CN201520154803 U CN 201520154803U CN 204596753 U CN204596753 U CN 204596753U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- luminescent device
- colour mixture
- light
- light source
- luminescent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
本实用新型提供的检测发光器件混色缺陷的装置，涉及半导体器件制造领域，通过增设光源及与其匹配的滤镜，即可在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中，利用该光源及滤镜对发光区以外的区域所产生的干扰光线进行互补，以消除该干扰光线，进而使得采集的图像中，将发光区图像与其他区域图像予以区分，进而消除混色等缺陷，在增强后续对发光范围的分析判定精准度的同时，还大大提高了检测工艺的工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体器件制造领域，尤其涉及一种检测发光器件混色的装置。
背景技术
在显示器件(如OLED显示器件等)的制备工艺中，一般需要对其混色(color mixing)缺陷进行检测，以及时发现缺陷产品，进而避免因混色等各种缺陷而给后续工艺带来的不良影响及制程浪费等。
当前的工艺中，一般是采用自动光学检测仪(Automatic Optic Inspection，简称AOI)对显示器件的混色缺陷检测，即通过利用电荷耦合器件(Charge-Coupled Device，简称CCD)将光学图像(Video)转换为数字图形(CCD-TDI image)后，以灰阶模式进行运算对比后，以确定显示器件是否存在有诸如混色等缺陷。
但是，由于在对显示器件进行检测时，需要利用紫外光(UV)激发显示器件中的有机材料才能使其发光，进而产生光学图像；而在采用UV激发有机材料后，因有机材料特性等原因成像背景区域会产生诸多干扰(如在激发发光时显示器件的背板所成像会偏蓝)，进而影响了后续对发光范围的分析判定，甚至会引起大量的假缺陷及误判，从而导致检测工艺的精准度及效率大大降低。
实用新型内容
鉴于上述技术问题，本实用新型提供一种检测发光器件混色的装置，发光器件设置有发光区和背材区，所述装置包括：
机台，所述发光器件固定设置在所述机台上；
激励光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以激励该发光器件发光；
有色光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以滤除所述背材区产生的干扰光线；以及
数字图形获取装置，设置于所述发光器件的上方，以获取并分析所述发光器件发光时的数字图形。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：
所述发光器件为OLED器件。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中的所述OLED器件包括：
有机发光层，具有发射光线的正面及相对于该正面的背面；
背板玻璃，设置于所述有机发光层的背面；
透光玻璃，设置于所述有机发光层的正面；
其中，所述发光区设置于所述有机发光层上。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：
所述机台为自动光学检测仪。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：
所述激励光源为紫外线光源。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：
所述有色光源发射光的波长与所述激励光源发射光的波长不同。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：
所述有色光源发射光的波长及强度可调。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中的所述有色光源包括：
可见光源，用于发射包含有与所述背材区发射的光线互补的光线；
滤镜，设置在所述可见光源与所述发光器件之间；
其中，所述滤镜对所述可见光源照射至所述发光器件上的光线进行滤除，仅允许与所述背材区发射的光线互补的光线照射至所述发光器件上。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中的所述数字图形获取装置包括：
电荷耦合器件，固定设置在所述发光器件的上方，以获取所述发光器件发射光时的数字图形。
作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中的所述数字图形获取装置还包括：
运算分析模块，与所述电荷耦合器件连接，以获取并运算分析所述数字图形。
上述技术方案具有如下优点或有益效果：
本实用新型中的技术方案可基于现有AOI机台的基础上，通过增设光源及与其匹配的滤镜，即可在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中，利用该光源及滤镜对发光区以外的区域所产生的干扰光线进行互补，以消除该干扰光线，进而使得采集的图像中，将发光区图像与其他区域图像予以区分，进而消除混色等缺陷，在增强后续对发光范围的分析判定精准度的同时，还大大提高了检测工艺的工作效率。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用新型范围的限制。
图1为本申请实施例中检测发光器件混色的装置的结构示意图；
图2为本申请实施例中发光器件上发光区域的俯视图。
具体实施方式
本实用新型实施例中提供的检测发光器件混色的装置，可基于现有AOI机台的基础上，通过增设光源及与其匹配的滤镜，就能够在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中，利用该光源及滤镜对发光器件的发光区以外的区域所产生的干扰光线进行过滤，以消除该干扰光线，进而使得采集的图像中，将发光区图像与其他区域图像予以区分，进而消除混色等缺陷，在增强后续对发光范围的分析判 定精准度的同时，还大大提高了检测工艺的工作效率。
下面结合附图和具体实施例对本实用新型的像素阵列及包括该像素阵列的显示器件的制备方法进行详细说明。
图1为本申请实施例中检测发光器件混色的装置的结构示意图；如图1所示，本实施例中的检测发光器件混色等缺陷的装置包括：
机台1，该机台1可采用现有的自动光学检测仪(Automatic Optic Inspection，简称AOI)，以与目前的光学缺陷检测设备实现良好的兼容，进而降低生产及改造成本。
发光器件2，固定在机台1上，如固定设置在AOI机台的检测产品缺陷的位置区域中，以使其固定在机台上，方便后续对该发光器件2进行诸如混色等缺陷的检测。
优选的，该发光器件2可为OLED器件，一般包括有背板玻璃21和透光玻璃23，以及设置在背板玻璃21和透光玻璃23的有机发光层23，且该有机发光层23具有用于发光的正面及相对于该正面的背面，上述的透光玻璃22覆盖在所述有机发光层23的正面上。
优选的，上述的发光器件2上设置有发光区和背材区。
图2为本申请实施例中发光器件上发光区域的俯视图；如图2所示，上述的发光器件2中的有机发光层22上设置有包括若干像素单元构成的像素阵列，例如该若干像素单元包括发射红光的R像素单元221、发射绿光的G像素单元222和发射蓝光的B像素单元223，且环绕每个像素单元周围并包括该像素单元的区域均可视为一个发光子区域，即对应上述的R像素单元221的红光子区域71、对应上述 的G像素单元221的绿光子区域72和对应上述的B像素单元221的蓝光子区域73；上述所有的像素单元所对应子区域便构成了发光器件2的发光区7，而在有机发光层22上除去上述的发光区7剩余的区域则可视为背材区(图中未标示)。
激励光源3，设置在机台1的上，且位于固定的发光器件2的上方，以对该发光器件2进行照射，进而激励发光器件2中的有机发光层22发光，便于后续对该发光器件2进行诸如混色等缺陷的检测。
优选的，该激励光源3可为紫外线(UV)光源，例如可以采用AOI机台上预置的UV-AOI作为该激励光源3，以降低生产改造成本，同时也提高了现有设备的利用效率。
优选的，上述的激励光源3发射激励光线经透光玻璃23照射至有机发光层22上，以激励该有机发光层22上的像素阵列发光，进而形成上述的发光区7及背材区；而由于材质特性等诸多因素的影响，会致使背材区上会产生干扰光线，例如在对OLED器件进行缺陷检测时，其背材区中便会产生偏蓝色的光，进而会影响到对应B像素单元221的蓝光子区域73的缺陷检测判断。
有色光源，包括光源4和滤镜5，光源4固定设置在机台1上，滤镜5则设置在该光源4与固定的发光器件2之间；该有色光源发射的光线与上述背材区产生的干扰光线进行互补，以过滤掉该干扰光线进而降低其对于后续诸如混色等缺陷检测的影响。例如，在对OLED器件进行检测时，该光源4发射的光线经过滤镜5过滤后保留与蓝色光为互补色光的黄光，以使得背材区呈现白光。
优选的，在采用光源4和滤镜5对背材区进行光线互补时，可通过调整照射至有机发光层22上光线的波长及强度(如调整光源4发射光线的光强或滤镜5透射的光强等)来进行上述光线互补，以在降低背材区产生的干扰光线的同时，避免对发光区7发射光线的所造成的影响；即在采用上述的光源4和滤镜5对上述的发光器件2进行缺陷检测时的调整，会提高发光区7与背材区之间成像亮度及色彩度等各方面的差异，进而降低背材区对于发光区7缺陷检测的干扰。
优选的，上述的光源4和滤镜5均可通过另外添加设置的方式固定在机台1的上方，且该光源4及滤镜5均可根据具体的工艺需求采用相应的制程材质，只要其能达到提高发光区7与背材区在缺陷检测时的区分度即可。
数字图像获取装置6，固定设置在机台1上，位于固定在该机台1上的发光器件2正面表面的正上方，以获取该发光器件2发射光线时的图形，并将获取的图形转化为数字图像，以进行逻辑运算和分析，进而确定该发光器件2是否具有诸如混色等缺陷，并在检测到缺陷时触发报警装置进行报警。
优选的，该数字图像获取装置6可包括设置在AOI机台上的电荷耦合器件(Charge-Coupled Device，简称CCD)和与其连接的运算分析模块，以将获取的发光器件2发送光线时的图形转化为数字图形，即使得具有混色等缺陷的图像在电荷耦合器件中呈现灰阶色差，并配合AOI配置的运算分析模块，进而准确的获取有机发光层22上产生混色的区域的信息，并将其传送至对应的设备中进行呈现。
具体的：
如图1-2所示，首先，在对发光器件2进行封装后，可将其固定在机台1上用于检测的区域中。
其次，利用激励光源3对其进行照射后，激励其有机发光层22发送光线，同时有色光源4根据发光器件2的背材区产生的干扰光线的色彩及强度发射包含与该干扰光线互为互补色光的光线，并经滤镜5后仅保留上述与干扰光线互为互补色光的光线，使其照射至背材区，进而降低其对发光区7中所造成的干扰。
之后，利用数字图像获取装置6对发光器件2发射的光线进行采集，以形成数字图形，并结合运算分析模块对该数字图形进行运算分析后，确定该发光器件2是否具有发射混色光线的区域，并将具有发射混色光线的区域的具体信息(如位置信息层)传送至相应的设备进行呈现，以达到实时监控及时预警的目的。
综上所述，本实用新型的上述实施例中，通过增设光源及与其匹配的滤镜，并搭配现有AOI机台上的UV光源即可实现对发光器件混色缺陷的精准检测，同时该检测工艺可在对发光器件进行封装后，立即对其混色缺陷进行监控，进而能够及时的发现具有混色等缺陷的器件产品，从而大大降低因采用具有缺陷的产品继续生产而造成的浪费及制造成本。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本实用新型的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所 有等价的范围与内容，都应认为仍属本实用新型的意图和范围内。
Claims (10)
1.一种检测发光器件混色的装置，其特征在于，发光器件设置有发光区和背材区，所述装置包括：
机台，所述发光器件固定设置在所述机台上；
激励光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以激励该发光器件发光；
有色光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以滤除所述背材区产生的干扰光线；以及
数字图形获取装置，设置于所述发光器件的上方，以获取并分析所述发光器件发光时的数字图形。
2.如权利要求1所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述发光器件为OLED器件。
3.如权利要求2所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述OLED器件包括：
有机发光层，具有发射光线的正面及相对于该正面的背面；
背板玻璃，设置于所述有机发光层的背面；
透光玻璃，设置于所述有机发光层的正面；
其中，所述发光区设置于所述有机发光层上。
4.如权利要求1所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于， 所述机台为自动光学检测仪。
5.如权利要求1所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述激励光源为紫外线光源。
6.如权利要求1所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述有色光源发射光的波长与所述激励光源发射光的波长不同。
7.如权利要求6所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述有色光源发射光的波长及强度可调。
8.如权利要求6所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述有色光源包括：
可见光源，用于发射包含有与所述背材区发射的光线互补的光线；
滤镜，设置在所述可见光源与所述发光器件之间；
其中，所述滤镜对所述可见光源照射至所述发光器件上的光线进行滤除，仅允许与所述背材区发射的光线互补的光线照射至所述发光器件上。
9.如权利要求1所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述数字图形获取装置包括：
电荷耦合器件，固定设置在所述发光器件的上方，以获取所述发光器件发射光时的数字图形。
10.如权利要求9所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述数字图形获取装置还包括：
运算分析模块，与所述电荷耦合器件连接，以获取并运算分析所述数字图形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520154803.2U CN204596753U (zh) | 2015-03-18 | 2015-03-18 | 检测发光器件混色缺陷的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520154803.2U CN204596753U (zh) | 2015-03-18 | 2015-03-18 | 检测发光器件混色缺陷的装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204596753U true CN204596753U (zh) | 2015-08-26 |
Family
ID=53932877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520154803.2U Active CN204596753U (zh) | 2015-03-18 | 2015-03-18 | 检测发光器件混色缺陷的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204596753U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109448619A (zh) * | 2019-01-02 | 2019-03-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 混色检查方法及装置 |
| CN111038114A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-04-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 喷墨打印装置及其制备有机发光二极体显示面板的方法 |
-
2015
- 2015-03-18 CN CN201520154803.2U patent/CN204596753U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109448619A (zh) * | 2019-01-02 | 2019-03-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 混色检查方法及装置 |
| CN109448619B (zh) * | 2019-01-02 | 2021-08-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 混色检查方法及装置 |
| CN111038114A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-04-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 喷墨打印装置及其制备有机发光二极体显示面板的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101856533B1 (ko) | 발광소자 검사 장치 및 그 검사 방법 | |
| US10885821B2 (en) | Inspection device and inspection method for array substrate | |
| CN109084957A (zh) | 光伏太阳能晶硅电池片的缺陷检测和颜色分选方法及其系统 | |
| US20090028419A1 (en) | Method for manufacturing plasma display panel, inspection method for inspecting phospor layer and inspection apparatus for inspecting phosphor layer | |
| JP2006343688A (ja) | 表示パネルモジュール、表示装置、表示パネル用検査装置、表示パネルの検査方法 | |
| CN1278118C (zh) | 图形缺陷检查装置及图形缺陷检查方法 | |
| CN101865846B (zh) | 植物叶绿素荧光在线检测装置 | |
| CN103076344A (zh) | 显示面板的缺陷检测方法及其检测装置 | |
| CN101498605A (zh) | 一种可调谐多光谱视觉检测光源 | |
| CN105388132B (zh) | 荧光检测装置、被检物检测装置及荧光检测方法 | |
| CN207163931U (zh) | 玻璃缺陷检测装置 | |
| CN204596753U (zh) | 检测发光器件混色缺陷的装置 | |
| CN208459716U (zh) | 一种液晶显示屏检测装置 | |
| CN106353317A (zh) | 检测待测目标物的检测装置与方法 | |
| CN106770367A (zh) | 一种fpc焊点检测方法 | |
| JP2019052868A (ja) | 塗布シート材の検査方法および検査装置、塗布シート材の製造方法 | |
| CN104867429B (zh) | 显示器的检测设备 | |
| JP2005338261A (ja) | 液晶パネルの検査装置および検査方法 | |
| KR100925275B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체 검사 장치 및 방법 | |
| CN112611717A (zh) | 一种基于多光谱灯源成像的果蔬视觉检测系统 | |
| CN202676609U (zh) | 一种半导体组件检测设备 | |
| JP4822468B2 (ja) | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 | |
| JP2004146108A (ja) | 蛍光体検査方法及び装置 | |
| CN213903293U (zh) | 一种基于多光谱灯源成像的果蔬视觉检测系统 | |
| CN111735823B (zh) | 一种模组的缺陷检测方法及系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 201506, building two, building 100, 1, Jinshan Industrial Road, 208, Shanghai, Jinshan District Patentee after: Shanghai Hehui optoelectronic Co., Ltd Address before: 201506, building two, building 100, 1, Jinshan Industrial Road, 208, Shanghai, Jinshan District Patentee before: EverDisplay Optronics (Shanghai) Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |