CN204573579U - 一种用于气体状态转换的蒸发罐设备 - Google Patents

一种用于气体状态转换的蒸发罐设备 Download PDF

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Abstract

本实用新型记载了一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,包括柜体,在该柜体的一个侧壁上设置有密闭门和观察窗,且密闭门位于观察窗的上方,同时在密闭门的表面还设置有显示屏和蜂鸣器;此外,在柜体的顶部设置有风阀和差压表,并且在差压表的上方还设置有三色指示灯;至于柜体的内部则设置有辅助盘面、蒸发罐以及高温盘面,并且辅助盘面和蒸发罐均位于高温盘面的下方。由于采用了上述技术,本实用新型可以通过加热将液态性气体转化为气态性气体,且蒸发罐有一定的储存量,从而能够相对稳定的供应气体;同时通过报警单元来避免现有的安全隐患问题,具备了较强的安全性能,并最终达到了提高工作效率和降低安全隐患等目的。

Description

一种用于气体状态转换的蒸发罐设备
技术领域
本实用新型涉及特殊气体输送技术领域,尤其涉及一种用于气体状态转换的蒸发罐设备。
背景技术
随着全球电子产业和光伏产业的蓬勃发展,国内的半导体和光伏等制造业也得到了迅猛的发展。据2006年中国半导体产业研究报告指出:“2006年底,中国国内有近50家晶圆制造厂,112家IC封装和IC装配厂,450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币,大约为100亿美元,其中封测350亿元,晶圆制造242亿元,IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”可见光伏产业在近几年的快速发展,是未来新能源产业的主力军。
目前,在半导体或光伏的相关产业中,通常的制程中一般会需要使用到许多的特殊气体,其中一些是液态性气体,需要转化为气态性气体来使用;然而,现有的用于气体状态转换的设备较为缺乏,并且工作效率交底,同时还存在着操作复杂而导致泄露等安全隐患。
实用新型内容
为了解决上述问题,本实用新型提供了一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,具备工作效率高、安全性能好等优点。
上述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,包括柜体,其中,所述柜体的一个侧壁上设置有密闭门和观察窗,所述密闭门位于观察窗的上方,所述密闭门的表面设置有显示屏和蜂鸣器;所述柜体的顶部设置有风阀和差压表,所述差压表的上方设置有三色指示灯;所述柜体的内部设置有辅助盘面、蒸发罐以及高温盘面,所述辅助盘面和蒸发罐均位于高温盘面的下方。
上述装置中,所述观察窗为防爆玻璃视窗。
上述装置中,所述风阀设置有调节装置。
上述装置中,所述蒸发罐设置有压力传感器和液位传感器。
上述装置中,所述蜂鸣器和三色指示灯组成报警单元。
上述装置中,还包括操作单元和微处理器。
上述装置中,所述操作单元位于密封门的表面,所述显示屏通过操作单元与微处理器相连。
上述装置中,所述显示屏为LED触摸屏。
本实用新型的优点和有益效果在于:本实用新型提供了一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,主要适用于液态性气体的净化,降压及输送,通过加热将液态性气体转化为气态性气体,且蒸发罐有一定的储存量,从而能够相对稳定的供应气体;同时通过报警单元来避免现有的安全隐患问题,具备了较强的安全性能,并最终达到了提高工作效率和降低安全隐患等目的。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型中蒸发罐设备的整体结构示意图;
图2是本实用新型中蒸发罐设备的内部结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图1和图2所示,本实用新型记载了一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,主要由柜体1构成,在柜体1的正面侧壁上设置有密闭门2和观察窗3,且该密闭门2位于观察窗3的上方;同时,在密闭门2的表面还设置有显示屏6和蜂鸣器10;
优选的,本实用新型中的蒸发罐设备还设置有操作单元和微处理器,具体将操作单元设置于密封门2的表面,并且将显示屏6通过操作单元与微处理器相连,从而便于对显示屏6进行操作和控制;同时,为了提高装置的操作便利性和安全性,上述的显示屏6采用了LED触摸屏,而观察窗3则采用了防爆玻璃视窗。
此外,在柜体1的顶部还设置有风阀4和差压表5,并且在差压表5的上方还设置有三色指示灯11,通过该三色指示灯11与上述蜂鸣器10来组成报警单元,从而进一步提高了装置的安全性能。
优选的,风阀4还设置有调节装置,从而能够调节排风量,进而便于操作人员根据现场情况做出临时的调节。
进一步的,在柜体1的内部设置有辅助盘面7、蒸发罐8以及高温盘面9,该辅助盘面7和蒸发罐8均位于高温盘面9的下方;其中,辅助盘面7作为常温的液态性气体和惰性气体输送的盘面;而蒸发罐8具有一定的容量,能够相对稳定的供应气体,主要负责将液态性气体蒸发为气态性气体;至于高温盘面9则是用来输送液态性型气体蒸发后的气态性气体,以便完成最终的供应操作。
优选的,上述的蒸发罐8设置有压力传感器和液位传感器,通过该压力传感器可以检测蒸发罐8内的压力是否具备罐内补液,而通过液位传感器则可以检测罐内补液是否完成。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,包括柜体,其特征在于,所述柜体的一个侧壁上设置有密闭门和观察窗,所述密闭门位于观察窗的上方,所述密闭门的表面设置有显示屏和蜂鸣器;所述柜体的顶部设置有风阀和差压表,所述差压表的上方设置有三色指示灯;所述柜体的内部设置有辅助盘面、蒸发罐以及高温盘面,所述辅助盘面和蒸发罐均位于高温盘面的下方。
2.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,其特征在于,所述观察窗为防爆玻璃视窗。
3.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,其特征在于,所述风阀设置有调节装置。
4.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,其特征在于,所述蒸发罐设置有压力传感器和液位传感器。
5.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,其特征在于,所述蜂鸣器和三色指示灯组成报警单元。
6.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,其特征在于,还包括操作单元和微处理器。
7.如权利要求6所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,其特征在于,所述操作单元位于密封门的表面,所述显示屏通过操作单元与微处理器相连。
8.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备,其特征在于,所述显示屏为LED触摸屏。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105730885A (zh) * 2016-03-16 2016-07-06 哈尔滨宏万智科技开发有限公司 一种真空密封罐

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