CN204557049U - 光阻预烤炉的热板改良结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型有关于一种光阻预烤炉的热板改良结构，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉的加热装置，能调整加热区域的热板达到理想的加热温度，以提升产品品质及生产良率。其主要是由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为一容槽状，位于支撑底板上方设有多个加热器，并可对热板进行加热，而该热板的底部开设有多个沟槽，其对应每一加热器间形成的间隙设置，则该沟槽将热板区隔成多个小分区，使各小分区的温度不会互相干扰，借以提升热板的温度控制，能将放置于热板上烘烤的玻璃基板达到均匀的受热。

Description

光阻预烤炉的热板改良结构

技术领域

本实用新型有关于一种光阻预烤炉的热板改良结构，其是利用多个温度感应器，以调整加热器使热板表面的温度均匀一致。

背景技术

玻璃基板是液晶显示装置(TFT-LCD)的主要制作原料，就是俗称的母玻璃或素玻璃，是一种高精密透明的电子零件，玻璃基板在液晶显示装置产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆，因此液晶显示装置产业对玻璃基板表面精度的要求相当精细。

其次，液晶显示装置的制程是分别利用两块无碱玻璃基板，于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色片，IC驱动电路则利用半导体制程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，而液晶显示装置制程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板必须要能忍受强酸强碱的腐蚀、高温的制程环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。

因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细，其中，当涂抹光阻液后，需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发，此时，请配合参阅图1所示，该基板1进行烘烤时，先将基板1放在热板11上，再通过热板11的热度使基板1表面的化学物质挥发，在此过程中，其温度高达约摄氏70～150℃，且热板11的热源来自于底部的加热器12，而该加热器12则以1～16个区域设置在热板11下方(如图2所示)，使热板11中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度，然而，尽管热板11已藉由分隔区域的加热器12来控制温度，却还是无法在烘烤过程中保持温度的一致，加上每一相邻区域的温度会互相干扰，以及各区域间的温度会由高温逐渐传导至低温，而无法确实控制每一区域的温度，往往导致基板1的烘烤效果不佳，而影响液晶显示装置的生产品质。

有鉴于此，发明人特别针对热板进行改良，能将热板分成多个小分区，使加热器产生的热源不会造成个区域间的相互干扰，确实将每一小分区间的温度独立控制在理想的范围内，当加热区域在温度偏离设定值，只要调整该小分区的温度，而能使热板的全区域尽量达到均匀的温度，以提高产品的生产良率，显为一理想的光阻预烤炉热板的加热性性能提升的改良结构。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光阻预烤炉的热板改良结构，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉的加热装置，能调整加热区域的热板达到理想的加热温度，以提升产品品质及生产良率。

为达上述目的，本实用新型提供一种光阻预烤炉的热板改良结构，包括腔体、加热器、热板及温度感应器，该腔体为容槽状，该腔体底部设有一支撑底板，该腔体顶端面利用上盖板将该腔体封闭成一加热空间，位于腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，且于支撑底板上方设有多个加热器，并于加热器上放置一热板，该热板为具有导热性的金属板，而该加热器内或热板上设置有温度感应器，其中，该热板的底部开设有多个沟槽，其对应于每一加热器间产生的间隙设置，而能通过沟槽将热板区隔成多个小分区，使各小分区的温度不会互相干扰，借以提升热板的温度控制，且该每一加热器内或热板的每一小分区上设置有温度感应器，供侦测每一小分区的温度，而能独立控制每一小分区的温度。

当光阻预烤炉腔体内进行烘烤作业时，先将玻璃基板由入口置入腔体内，然后将入口封闭，使腔体形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口，以便于空气流通，而位于腔体内的热板，受加热器的加温，使其达到约70～150℃的温度，借以将玻璃基板进行加热并使光阻内的溶剂挥发，当烘烤一段时间后，该热板每一小分区的温度产生些微的变化，一般来说，位于热板中央的温度通常高于端边，而容易导致玻璃基板的受热不均，此时维持热板的均温相当重要，此时，可利用热板下方的多个加热器进行热板的温度调整，并配合加热器的间隙向上投影到热板底部开设的多个沟槽，不仅能将热板分成多个加热的小分区，且每一小分区的温度可以独立控制，更不会因为温度的相互传导而干扰每一小分区的温度，使得热板的加热区域的温度掌握更加准确。

此外，该沟槽主要开设在热板底部，亦可由热板侧边直接开设贯穿热板的通孔而成，同样能于热板内形成沟槽，且该沟槽将热板区隔成多个小分区，且每一小分区能依底部的加热器进行独立的温度调整，使用上相当理想。

因此，针对热板使用上产生的温度不均进行改良，不仅能控制每一加热区域的温度调整，且能避免温度传导时的互相干扰，并将热源集中在每一小分区内，使热板达到更加均匀的受热，确实提升产品的生产良率。

附图说明

图1为现有的烘烤玻璃基板的剖面示意图；

图2为现有的热板温度传导示意图；

图3本实用新型腔体的立体图；

图4为本实用新型的立体分解图；

图5为本实用新型的另一实施例图；

图6为本实用新型烘烤时的剖面示意图；

图7为本实用新型热板与加热器的放大示意图；

图8为本实用新型沟槽的第1实施例图；

图9为本实用新型沟槽的第2实施例图；

图10为本实用新型沟槽的第3实施例图；

图11为本实用新型沟槽的第4实施例图；

图12为本实用新型热板分区加热的示意图；

图13为本实用新型热板开设通孔的立体图；

图14为本实用新型热板开设通孔的第1实施例图；

图15为本实用新型热板开设通孔的第2实施例图；

图16为本实用新型热板开设通孔的第3实施例图；

图17为本实用新型热板开设通孔的第4实施例图。

附图标记说明：

背景技术：1-基板；11-热板；12-加热器；

本实用新型：2-腔体；20-上盖板；201-支撑底板；202-排风口；203-入口；21-加热器；22-热板；221-小分区；23-温度感应器；24-沟槽；25-通孔；3-玻璃基板。

具体实施方式

首先，请参阅图3并配合图4所示，其主要是由腔体2、加热器21、热板22及温度感应器23所组成，该腔体2为容槽状，底部设有一支撑底板201，顶端面利用上盖板20将其封闭成一加热空间，位于腔体2一侧设有入口203，供置入玻璃基板3，而于任一侧边开设有排风口202，且于支撑底板201上方设有多个加热器21，其是利用电热丝产生热源，并于加热器21上放置一热板22，该热板22为具有导热性的金属板，而该热板22的底部开设有多个沟槽24，其对应于每一加热器21间产生的间隙设置，能凭借沟槽24将热板22区隔成多个小分区221，使各小分区221的温度不会互相干扰，以提升热板22的温度控制，且该每一加热器21内或热板22的每一小分区221上设置有温度感应器23(如图5所示)，供侦测每一小分区221的温度，而能独立控制每一小分区221的温度。

当光阻预烤炉腔体2内进行烘烤作业时，请仍然参阅图5并配合图6所示，先将玻璃基板3由入口203置入腔体2内，然后将入口203封闭，使腔体2形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口202，以便于空气流通，而位于腔体内2的热板22，受加热器21的加温，使其达到约70～150℃的温度，借以将玻璃基板3进行加热并使光阻内的溶剂挥发，当烘烤一段时间后，该热板22每一小分区221的温度会产生些微的变化，一般来说，位于热板22中央的温度通常高于端边，而容易导致玻璃基板3的受热不均，此时维持热板22的均温相当重要，此时，可利用热板22下方的多个加热器21进行热板22的温度调整，请再参阅图7及图8所示，该热板22配合各加热器21的间隙向上对应至热板22底部，并开设有多个沟槽24。

为了能确实集中热源在小分区221内，可调整沟槽24的宽度及深度，请配合参阅图9、图10、图11所示，该沟槽24的尺寸会影响热源的集中性及小分区221受热的面积，因此，使用者能依据所需的宽度及深度预先开设沟槽24，以达到较佳的加热效果，通过沟槽24可将热板22分成多个加热的小分区221，且每一小分区221的温度可以独立控制(如图12所示)，更不会因为温度的相互传导而干扰每一小分区221的温度，使得热板22的加热区域的温度能掌握地更加准确。

此外，该沟槽24主要开设在热板22底部(请回顾图11所示)，该沟槽24亦可由热板22侧边直接开设贯穿热板22的通孔25而成，请再配合图13及图14所示，通过连通热板22内的通孔25，同样能于热板22内形成沟槽24，且该沟槽24是将热板22区隔成多个小分区221，且每一小分区221能依底部的加热器21进行独立的温度调整，使用上相当理想。且该通孔25的尺寸能设置成长槽孔、直槽孔或方形孔(如图15、图16、图17所示)，来调整沟槽24在每一小分区221的面积，借以达到不同的分区加热效果。

综上所述，本实用新型依每一加热器的间隙对应设置，而于热板上形成有沟槽，使得每一小分区内的温度不会互相干扰，且该热源不会四处传导，而能将热板的温度控制的更加精准，使热板能达到均匀受热，有效提升产品的生产良率，本实用新型极具创造性及实用性，理已符合实用新型的专利要件，故依法提出专利申请。

Claims (2)

1.一种光阻预烤炉的热板改良结构，包括腔体、加热器、热板及温度感应器，该腔体为容槽状，该腔体底部设有一支撑底板，该腔体顶端面利用上盖板将该腔体封闭成一加热空间，位于腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，且于支撑底板上方设有多个加热器，并于加热器上放置一热板，该热板为具有导热性的金属板，而该加热器内或热板上设置有温度感应器，其特征在于：该热板的底部开设有多个沟槽，其对应于每一加热器间产生的间隙设置，而能通过沟槽将热板区隔成多个小分区。

2.如权利要求1所述光阻预烤炉的热板改良结构，其特征在于，该沟槽由热板的一侧边开设通孔，并贯穿至热板另一侧而成。