CN105630024A - 增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉装置，凭借增加独立控温的区域以增加玻璃基板的均温性及可控制性，能有效均匀的除去玻璃基板的光阻溶剂。其主要由腔体、热板、加热器、温度感应器及支撑底板所组成，该腔体底部为一热板；加热器设置于支撑底板上，并可对热板进行分区温控，而光阻预烤炉内设有温度感应器，可以侦测热板各区域的温度，再凭借温度感应器来调整加热器的温度，使热板的各区域温度达到相同，使位于热板上烘烤加热的玻璃基板达到均匀受热，达到除去玻璃基板的光阻溶剂及固化光阻，以利于后续的处理作业。

Description

增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构

技术领域

本发明涉及一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，使热板表面的温度均匀一致。

背景技术

按，玻璃基板是液晶显示装置(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗称的母玻璃或素玻璃，是一种高精密透明的电子零件，玻璃在液晶显示装置(TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆，因此液晶显示装置(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。

其次，液晶显示装置(TFT-LCD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板，于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色片，IC驱动电路则利用半导体制程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能是做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，而液晶显示装置(TFT-LCD)制程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板，必须要能忍受强酸强碱的腐蚀、高温的制程环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。

因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细，其中，当涂抹光阻液后，需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发，此时，请配合参阅图1所示，该基板1进行烘烤时，是将基板1放在热板11上，再凭借热板11的热度使玻璃基板1表面的化学物质挥发，在此过程中，其温度高达约摄氏70～150℃，且热板11的热源来自于底部的加热器12，而该加热器12则以1～15个区域设置在热板11下方，使热板11中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度，然而，尽管热板11已经设置1～15个区域来控制温度，却还是无法在烘烤过程中保持均温，加上每一相邻区域的温度会互相干扰，使得烘烤效果不佳，而影响液晶显示装置(TFT-LCD)的生产品质。

发明人是专门从事相关加热机器的改良、制造及开发工作，深知传统光阻预烤装置使用上的无法达到均匀加热的缺失，使玻璃基板品质无法提升，于是乃极力苦思解决的道，并凭借本身的专业及多年来的工作经验，终于在历经数次的修正、试验与改进后，首创出本发明。

发明内容

本发明涉及一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉装置，能使加热区域的热板达到均温，可有效均匀的除去玻璃基板的光阻溶剂及固化光阻。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，其主要由腔体、热板、加热器及温度感应器所组成，该腔体底部为支撑底板，并利用上盖板盖合腔体形成一封闭的加热空间，在支撑底板向上依序设置加热器及热板，而能凭借加热器对热板进行加热，其特征在于：该热板划分为复数个小分区，且小分区是配合加热器的数量投影于热板而成，并分成有16至60个区域，位于小分区下方的加热器是独立对每一小分区进行加热，使每一小分区都具有独立的温度控制，能针对热板的每一小分区上的各区域温度进行调整。

由于本发明主要由腔体、热板、加热器、温度感应器及支撑底板所组成，该腔体底部为支撑底板，并利用上盖板盖合腔体形成一封闭的加热空间，位于腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，而于任一侧边开设有排风口，以便于空气流通；位于支撑底板上方设置加热器，其是利用电热丝产生热源，并于加热器上方设置一热板，而能对热板进行分区加热；该热板为具导热性的金属板，可将加热器的热传导至玻璃基板，至于温度感应器则设于热板上或加热器内，用以侦测热板各区域的温度，凭借各区域的温度感应器来调整各区加热器的温度，使热板的各区域温度可达到设定范围内。

当腔体内进行加热作业时，腔体为一封闭空间，腔体周围或上方设有排气口，使空气可排出腔体的外；而位于腔体内的热板，受加热器的加温，以去除玻璃基板表面的光阻溶剂及固化光阻。当烘烤一段时间后，该热板每一区域的温度会产生差异，通常热板中央的温度会高于四周端边处，使玻璃基板受热不均。而为控制热板整体达到均温，因此将加热器分成数区域，可分区进行加热，并凭借温度感应器侦测热板在中央或端边的各分区温度，使热板对玻璃基板能持续的均匀加热，有效提升生产合格率，及降低不合格率。

附图说明

图1是现有玻璃基板烘烤的示意图；

图2是本发明的立体分解图；

图3是本发明的另一实施例的示意图；

图4是本发明加热器投影于热板的小分区示意图；

图5是本发明光阻预烤玻璃基板的剖面示意图；

图6是本发明小分区的分布示意图。

附图标记说明：〔现有技术〕1-基板；11-热板；12-加热器；〔本实用新型〕2-腔体；20-上盖板；201支撑底板；202排风口；203入口；21-加热器；22-热板；221-小分区；23-温度感应器；3-玻璃基板。

具体实施方式

首先，请参阅图2所示，是本发明的立体分解图，其主要由腔体2、热板22及加热器21所组成，该腔体2底部为支撑底板201，并利用上盖板20盖合腔体2形成一封闭的加热空间，位于腔体一侧设有入口203，供置入玻璃基板3，而于任一侧边开设有排风口202，以便于空气流通；位于支撑底板201上方设置加热器21，其是利用电热丝来产生热源，并于加热器21上方设置一热板22，而能对热板22进行分区加热；该热板22为具导热性的金属板，可将加热器21的热传导至玻璃基板3，至于温度感应器23则设于热板22内或加热器21内(请参阅图3所示)。

其次，请继续参阅图4所示，该腔体2下方的热板22划分为复数个小分区221，且小分区221是配合加热器21的数量投影于热板22而成(请回顾图3所示)，然后将独立的加热器21依照小分区221的范围设置于热板22下方，为腔体2提供加热的热源，且使每一小分区221具有独立的温度控制。由于热板22具有复数个的加热器21，故当热板22内的温度感应器23侦测到某一小分区221温度过低或过高时，即可控制该小分区221的加热器21，促使热板22提供稳定且固定的温度。

烘烤时，请仍然参阅图3并配合图5所示，其是先将玻璃基板3由入口203置入腔体2内，然后将入口203封闭，使腔体2形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口202，此时玻璃基板3放置于腔体2内的热板22上方；接着启动加热器21，即可对玻璃基板3进行烘烤加热；当加热一段时间后，温度感应器23侦测到热板22部份小分区221温度过低或过高时(请回顾图4所示)，此时会针对该温度偏离的小分区221，调整其小分区221下方对应的加热器21的加热温度，使热板22的每一小分区221都能达到加热器21的设定温度；而当温度感应器23侦测到热板22部份区域温度偏离时，此时会针对该温度偏离的小分区221，调整其下方的加热器21的加热温度，使热板22的每一小分区221达到温度一致。

另外，本发明热板22的小分区221控制的范围为16至60个小分区221，请再参阅图6所示，能凭借更细密的小分区221，来针对热板11表面进行温度的控制及调整，且使每一小分区221具有独立的温度控制，促使热板22的每一小分区221上的温度都能达到均匀受热，有效提升玻璃基板3的品质(请回顾图5所示)，并降低不合格率的发生，并提升液晶显示装置(LCD)的产品解析度。

综上所述，本发明是将热板分成复数个小分区(16至60个)，再凭借温度感应器所侦测的温度来调整每一小分区的温度，使热板的各区域都能达到均温，而能令热板的整体表面都可达到均匀加热，使位于热板上的玻璃基板的烘烤温度相当一致，不会过高或过低，以达到最佳的效能。

Claims (1)

1.一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，其主要由腔体、热板、加热器及温度感应器所组成，该腔体底部为支撑底板，并利用上盖板盖合腔体形成一封闭的加热空间，在支撑底板向上依序设置加热器及热板，而能凭借加热器对热板进行加热，其特征在于：该热板划分为复数个小分区，且小分区是配合加热器的数量投影于热板而成，并分成有16至60个区域，位于小分区下方的加热器是独立对每一小分区进行加热，使每一小分区都具有独立的温度控制，能针对热板的每一小分区上的各区域温度进行调整。