CN204547269U - 压边组件及具有该压边组件的贴膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于贴膜机配件领域,尤其涉及一种压边组件及具有该压边组件的贴膜机,旨在解决现有贴膜机中的掩膜版夹具难以适配不同尺寸规格掩膜版的技术问题。两个压杆在蒙版与掩膜版贴合过程中与掩膜版背离蒙版的一侧相抵,实现蒙版与掩膜版的其中一对边的贴合,第一驱动组件驱动旋转板转动,从而带动安装在旋转板上第二驱动组件与压杆转动,以实现蒙版与掩膜版的另外一对边的贴合。两个第二驱动组件分别驱动两个压杆沿旋转板的长度方向移动,让两个压杆间距可调,从而适应不同尺寸规格掩膜版,克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版夹具的麻烦,节省了制作多套掩膜版夹具的成本。
Description
技术领域
本实用新型属于贴膜机配件领域,尤其涉及一种压边组件及具有该压边组件的贴膜机。
背景技术
贴膜机用于蒙版(Pellicle)贴付在掩膜版(Mask)上,现有技术仅能够满足第3.5代至第6代的掩膜版贴付蒙版的制作。根据国内外TFT(薄膜场效应晶体管)行业发展趋势,各地均开始建立第8代的TFT液晶面板生产线。TFT液晶面板的代数越高,掩膜版尺寸越大。现有贴膜机无法满足第8代的大尺寸掩膜版贴付蒙版的需求。现有技术需要多套掩膜版夹具来满足贴膜要求,即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版夹具,且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版夹具。该方案操作麻烦,经济成本较高。
还有,现有的贴膜机采用旋转门结构,而且压边组件设置在旋转门上,在安装蒙版与掩膜版时,需要开启旋转门。由于旋转门尺寸较大,每次开启时会占用贴膜机前侧很大的空间,让净化间空间没有得到充分利用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种压边组件,旨在解决现有贴膜机中的掩膜版夹具难以适配不同尺寸规格掩膜版的技术问题。
本实用新型是这样实现的,一种压边组件,用于将蒙版贴付在掩膜版上,所述压边组件包括安装座、绕Y轴转动安装在所述安装座上的旋转板及安装在所述安装座上且用于驱动所述旋转板绕Y轴转动的第一驱动组件,所述旋转板 具有两个沿该旋转板的长度方向开设的直通槽,且该两个直通槽的长度方向重合,所述压边组件还包括设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且能沿所述旋转板的长度方向输出直线运动的两个第二驱动组件、由所述第二驱动组件一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽中的两个第一连接件及设置在每一所述第一连接件上的压杆,两个所述压杆平行分布,两个所述压杆分别相抵在所述掩膜版的相对两边上,所述Y轴方向垂直于所述安装座。
进一步地,所述压边组件还包括固定在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且呈环形分布的若干第一滑座及安装在所述安装座的一侧上且与所有所述第一滑座滑动配合的环形导轨。
进一步地,所述第一驱动组件包括绕Y轴枢接在所述安装座上且能输出直线运动的第一驱动件,所述第一驱动件具有一输出直线运动的输出端,所述第一驱动件的所述输出端绕Y轴枢接在所述旋转板上。
进一步地,所述压边组件还包括固定在所述安装座上的支撑板、固定在所述旋转板的靠近所述安装座一侧上且呈环形分布的若干第一滑座及安装在所述支撑板一侧上且与所有所述第一滑座滑动配合的环形导轨。
进一步地,所述支撑板上设置有一个碰块,所述旋转板的靠近所述支撑板的一侧上设置有两个与所述碰块碰撞配合以限制所述旋转板的转动范围的调整轴。
进一步地,两个所述调整轴呈相垂直设置。
进一步地,所述旋转板的靠近所述支撑板的一侧上设置有两个与所述碰块碰撞配合以缓冲所述旋转板的转动的缓冲件。
进一步地,所述压边组件还包括设置在每一所述压杆的相对两端上的第二连接件、设置在每一所述第二连接件上的第二滑座及设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上的四个直线导轨,所述第二滑座一一对应滑动设置在所述直线导轨上。
进一步地,所述第二驱动组件包括安装在所述旋转板上且能输出旋转运动 的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的丝杆及沿所述旋转板的长度方向滑动且与所述丝杆螺纹配合的滑块。
本实用新型相对于现有技术的技术效果是:两个压杆在蒙版与掩膜版贴合过程中与掩膜版背离蒙版的一侧相抵,实现蒙版与掩膜版的其中一对边的贴合,第一驱动组件驱动旋转板转动,从而带动安装在旋转板上第二驱动组件与压杆转动,以实现蒙版与掩膜版的另外一对边的贴合。两个第二驱动组件分别驱动两个压杆沿旋转板的长度方向移动,让两个压杆间距可调,从而适应不同尺寸规格掩膜版,克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版夹具的麻烦,节省了制作多套掩膜版夹具的成本。
本实用新型的另一目的在于提供一种贴膜机,旨在解决现有贴膜机由于采用旋转门而占用较大空间的技术问题。
本实用新型是这样实现的,一种贴膜机,包括固定支架,所述贴膜机还包括安装在所述固定支架上且用于安装所述蒙版与所述掩膜版的夹具组件及压边组件,所述压边组件沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架上,所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件沿Z轴方向移动的第三驱动组件,所述Y轴方向与所述Z轴方向相垂直。
本实用新型相对于现有技术的技术效果是:由于压边组件沿Z轴方向滑动安装在固定支架上,当压边组件远离夹具组件时,可在夹具组件上安装蒙版与掩膜版。当压边组件靠近夹具组件时,可与夹具组件配合进行蒙版与掩膜版贴合。该方案克服现有贴膜机采用旋转门结构在开启旋转门时占用较大空间的问题,让净化间空间能得到充分利用。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的压边组件的立体装配图。
图2是图1的压边组件的另一角度的立体装配图。
图3是图1的压边组件的立体分解图。
图4是图1的压边组件的另一角度的立体分解图。
图5是本实用新型实施例提供的贴膜机的立体装配图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
请参阅图1至图4,本实用新型实施例提供的一种压边组件200,用于将蒙版(图未示)贴付在掩膜版(图未示)上,所述压边组件200包括安装座210、绕Y轴转动安装在所述安装座210上的旋转板220及安装在所述安装座210上且用于驱动所述旋转板220绕Y轴转动的第一驱动组件230,所述旋转板220具有两个沿该旋转板220的长度方向开设的直通槽221,且该两个直通槽221的长度方向重合,所述压边组件200还包括设置在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上且能沿所述旋转板220的长度方向输出直线运动的两个第二驱动组件240、由所述第二驱动组件240一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽221中的两个第一连接件251及设置在每一所述第一连接件251上的压杆252,两个所述压杆252平行分布,两个所述压杆252分别相抵在所述掩膜版的相对两边上,所述Y轴方向垂直于所述安装座。
两个压杆252在蒙版与掩膜版贴合过程中与掩膜版背离蒙版的一侧相抵,实现蒙版与掩膜版的其中一对边的贴合,第一驱动组件230驱动旋转板220转动,从而带动安装在旋转板220上第二驱动组件240与压杆252转动,以实现蒙版与掩膜版的另外一对边的贴合。两个第二驱动组件240分别驱动两个压杆252沿旋转板220的长度方向移动,让两个压杆252间距可调,从而适应不同尺寸规格掩膜版,克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版夹具的麻烦,节省了制作多套掩膜版夹具的成本。
在本实施例中,旋转板220呈板状,作为支撑件,用于安装两个第二驱动 组件240。第二驱动组件240设置在旋转板220上靠近安装座210的一侧上,而压杆252滑动设置在旋转板220背离安装座210的一侧上,第二驱动组件240与压杆252以第一连接件251相连接。具体地,两个压杆252的长度方向与直通槽221的长度方向相垂直,第二驱动组件240分别带动对应的压杆252相互靠近或远离移动,以调整两个压杆252之间的距离,从而适应不同尺寸规格掩膜版。掩膜版与蒙版均大致呈板状,中部均开设有孔。掩膜版与蒙版在贴合的过程,通常先对掩膜版与蒙版的其中一对边进行贴合,然后再对掩膜版与蒙版的另外一对边进行贴合。
进一步地,所述压边组件200还包括固定在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上且呈环形分布的若干第一滑座253及安装在所述安装座210的一侧上且与所有所述第一滑座253滑动配合的环形导轨254。具体地,安装座210上均布有六个第一滑座253,并与环形导轨254滑动配合,引导旋转板220绕Y轴旋转。
进一步地,所述第一驱动组件230包括绕Y轴枢接在所述安装座210上且能输出直线运动的第一驱动件231,所述第一驱动件231具有一输出直线运动的输出端231a,所述第一驱动件231的所述输出端231a绕Y轴枢接在所述旋转板220上。第一驱动件231为气缸,带动旋转板220绕Y轴作摆动,该结构紧凑,占用空间小。可以理解地,第一驱动组件230为输出旋转运动的机构。
进一步地,所述压边组件200还包括固定在所述安装座210上的支撑板255、固定在所述旋转板220的靠近所述安装座210一侧上且呈环形分布的若干第一滑座253及安装在所述支撑板255一侧上且与所有所述第一滑座253滑动配合的环形导轨254。支撑板255呈板状,其中部开设有通孔2551,便于布置连接在旋转板220与第一驱动件231的输出端231a之间连接轴232。
进一步地,请参阅图3,所述支撑板255上设置有一个碰块259,所述旋转板220的靠近所述支撑板255的一侧上设置有两个与所述碰块259碰撞配合以限制所述旋转板220的转动范围的调整轴222。该结构便于调整旋转板220的 转动范围。
进一步地,两个所述调整轴222呈相垂直设置。该结构可以先对掩膜版与蒙版的其中一对边进行贴合,然后转动90度,再对掩膜版与蒙版的另外一对边进行贴合,即分两次先后对掩膜版的长方向与宽方向进行压合作业。
进一步地,所述旋转板220的靠近所述支撑板255的一侧上设置有两个与所述碰块259碰撞配合以缓冲所述旋转板220的转动的缓冲件223。该结构让旋转板220运动稳定。
进一步地,请参阅图4,所述压边组件200还包括设置在每一所述压杆252的相对两端上的第二连接件256、设置在每一所述第二连接件256上的第二滑座257及设置在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上的四个直线导轨258,所述第二滑座257一一对应滑动设置在所述直线导轨258上。该结构让压杆252运动更平稳。
进一步地,所述第二驱动组件240包括安装在所述旋转板220上且能输出旋转运动的第二驱动件241、由所述第二驱动件241驱动转动的丝杆242及沿所述旋转板220的长度方向滑动且与所述丝杆242螺纹配合的滑块243。第二驱动件241为伺服马达。可以理解地,第二驱动组件240还可以采用其他输出直线运动的机构。
请参阅图5,本实用新型实施例提供的一种贴膜机,包括固定支架300,贴膜机还包括安装在所述固定支架300上且用于安装所述蒙版与所述掩膜版的夹具组件100及压边组件200,所述压边组件200沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架300上,所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件200沿Z轴方向移动的第三驱动组件260,所述Y轴方向与所述Z轴方向相垂直。具体地,两个第三驱动组件260共同驱动压边组件200沿Z轴方向移动。第三驱动组件260包括安装在固定支架300上且能输出旋转运动的第三驱动件261、由所述第三驱动件261驱动转动的丝杆262及在固定支架300上Z轴方向滑动且与丝杆262螺纹配合的滑块263。第三驱动件261为伺服电机。由于压边组件200沿Z轴 方向滑动安装在固定支架300上,当压边组件200远离夹具组件100时,可在夹具组件100上安装蒙版与掩膜版。当压边组件200靠近夹具组件100时,可与夹具组件100配合进行蒙版与掩膜版贴合。该方案克服现有贴膜机采用旋转门结构在开启旋转门时占用较大空间的问题,让净化间空间能得到充分利用。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种压边组件,用于将蒙版贴付在掩膜版上,其特征在于:所述压边组件包括安装座、绕Y轴转动安装在所述安装座上的旋转板及安装在所述安装座上且用于驱动所述旋转板绕Y轴转动的第一驱动组件,所述旋转板具有两个沿该旋转板的长度方向开设的直通槽,且该两个直通槽的长度方向重合,所述压边组件还包括设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且能沿所述旋转板的长度方向输出直线运动的两个第二驱动组件、由所述第二驱动组件一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽中的两个第一连接件及设置在每一所述第一连接件上的压杆,两个所述压杆平行分布,两个所述压杆分别相抵在所述掩膜版的相对两边上,所述Y轴方向垂直于所述安装座。
2.如权利要求1所述的压边组件,其特征在于:所述压边组件还包括固定在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且呈环形分布的若干第一滑座及安装在所述安装座的一侧上且与所有所述第一滑座滑动配合的环形导轨。
3.如权利要求1所述的压边组件,其特征在于:所述第一驱动组件包括绕Y轴枢接在所述安装座上且能输出直线运动的第一驱动件,所述第一驱动件具有一输出直线运动的输出端,所述第一驱动件的所述输出端绕Y轴枢接在所述旋转板上。
4.如权利要求1所述的压边组件,其特征在于:所述压边组件还包括固定在所述安装座上的支撑板、固定在所述旋转板的靠近所述安装座一侧上且呈环形分布的若干第一滑座及安装在所述支撑板一侧上且与所有所述第一滑座滑动配合的环形导轨。
5.如权利要求4所述的压边组件,其特征在于:所述支撑板上设置有一个碰块,所述旋转板的靠近所述支撑板的一侧上设置有两个与所述碰块碰撞配合以限制所述旋转板的转动范围的调整轴。
6.如权利要求5所述的压边组件,其特征在于:两个所述调整轴呈相垂直 设置。
7.如权利要求5所述的压边组件,其特征在于:所述旋转板的靠近所述支撑板的一侧上设置有两个与所述碰块碰撞配合以缓冲所述旋转板的转动的缓冲件。
8.如权利要求1至7任一项所述的压边组件,其特征在于:所述压边组件还包括设置在每一所述压杆的相对两端上的第二连接件、设置在每一所述第二连接件上的第二滑座及设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上的四个直线导轨,所述第二滑座一一对应滑动设置在所述直线导轨上。
9.如权利要求1至7任一项所述的压边组件,其特征在于:所述第二驱动组件包括安装在所述旋转板上且能输出旋转运动的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的丝杆及沿所述旋转板的长度方向滑动且与所述丝杆螺纹配合的滑块。
10.一种贴膜机,包括固定支架,其特征在于:所述贴膜机还包括安装在所述固定支架上且用于安装所述蒙版与所述掩膜版的夹具组件及如权利要求1至9任一项所述的压边组件,所述压边组件沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架上,所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件沿Z轴方向移动的第三驱动组件,所述Y轴方向与所述Z轴方向相垂直。
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CN201520018485.7U CN204547269U (zh) | 2015-01-12 | 2015-01-12 | 压边组件及具有该压边组件的贴膜机 |
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CN112345525A (zh) * | 2020-11-23 | 2021-02-09 | 深圳清溢光电股份有限公司 | 一种mask目视检查机 |
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- 2015-01-12 CN CN201520018485.7U patent/CN204547269U/zh active Active
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