CN204503622U - 晶粒分选机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶粒分选机，包括晶粒输入带、晶粒检测承台、磁性晶粒收集单元和检测装置；晶粒输入带用于将待分选晶粒输入、并经过磁性晶粒收集单元的磁性分选作用收集带磁性晶粒后、将剩余待分选的无磁性晶粒逐颗输入晶粒检测承台；检测装置用于将待分选的无磁性晶粒进行分选检测；晶粒检测承台的台面四周至少分布有两个分选收集单元，其包括收集吸嘴和分选收集盒；收集吸嘴正对着晶粒检测承台台面上的待分选晶粒、用于将分选检测后的晶粒吸取并落入分选收集盒中。将分磁操作集合在检测前输入阶段、缩短单独工序，简化了检测后独立的传送机构、分选直接高效、没有多余传送动作、可大幅提升分选效率，动作衔接顺畅，实现高精度分选。

Description

晶粒分选机

技术领域

本实用新型涉及一种分选装置，特别是涉及一种晶粒分选机，晶粒分选技术领域。

背景技术

随着信息、通信及光电产业的快速发展，电子产品逐渐走向高阶化及轻薄化，在高速度、高频率及小型化的需求下，晶圆线路更加细致、微小化。晶粒(Dice)为一般半导体组件的基本原料，体积极为细小，在加工之前必须先经测试筛选以确保半导体组件的良好率。

然而，现有技术中的晶粒分选机，在实现分选过程中，存在结构复杂、传送机构的传送速度慢、检测后的传送动作繁杂、整体效能较低等诸多问题；而且，待分选晶粒如果是带磁性晶粒和无磁性晶粒的混合料，则需要进行分磁操作，工序拉长使整体分选效率降低。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有技术中的不足，提供一种新型结构的晶粒分选机，特别适用于高效分选。

本实用新型所要解决的技术问题是提供结构简单、拆装方便、成本较低、质量可靠、实用性强的晶粒分选机，不仅分选有效、精度高，而且将分磁操作集合在检测前输入阶段、缩短单独工序，同时简化了检测后独立的传送机构、分选直接高效、没有多余传送动作、大幅提升分选效率，整体动作衔接顺畅、能耗较低，极具有产业上的利用价值。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种晶粒分选机，包括依次相连并相同水平面设置的晶粒输入带和晶粒检测承台、设置在晶粒输入带侧边的磁性晶粒收集单元、以及设置在晶粒检测承台的台面正上方的检测装置；所述晶粒输入带用于将待分选晶粒输入、并经过磁性晶粒收集单元的磁性分选作用收集带磁性晶粒后、将剩余待分选的无磁性晶粒逐颗输入晶粒检测承台；所述检测装置用于将晶粒检测承台的待分选的无磁性晶粒进行分选检测。

其中，所述晶粒检测承台的台面四周以台面中点为中心、并与台面相同水平面至少分布有两个分选收集单元，所述分选收集单元仅围绕晶粒检测承台中不与晶粒输入带相连的台面四周。

同时，所述分选收集单元包括收集吸嘴和分选收集盒；所述分选收集盒与晶粒检测承台的台面周沿相连、且顶面敞口、并保持顶面与台面齐平；所述收集吸嘴正对着晶粒检测承台台面上的待分选晶粒、用于将分选检测后的晶粒吸取并落入分选收集盒中。

本实用新型进一步设置为：所述磁性晶粒收集单元包括磁性条和带磁性晶粒收集盒；所述带磁性晶粒收集盒与晶粒输入带的侧边相连、且顶面敞口、并保持顶面与侧边沿齐平；所述磁性条正对着晶粒输入带输入的待分选晶粒、设置在带磁性晶粒收集盒的顶面、用于将待分选晶粒中的带磁性晶粒吸取后收集进带磁性晶粒收集盒中。

本实用新型更进一步设置为：所述分选收集单元均匀分布有三个，依次为分选收集单元一、分选收集单元二和分选收集单元三，所述分选收集单元二和晶粒输入带同轴设置，所述分选收集单元一和分选收集单元三同轴设置。

本实用新型更进一步设置为：所述分选收集单元一和分选收集单元二的轴线相交夹角为直角；所述分选收集单元二和分选收集单元三的轴线相交夹角也为直角。

本实用新型更进一步设置为：所述分选收集单元一和分选收集单元二之间、分选收集单元二和分选收集单元三之间、分选收集单元三和晶粒输入带之间、晶粒输入带和分选收集单元一之间均设置有隔离板。

本实用新型更进一步设置为：所述隔离板为透明板。

本实用新型更进一步设置为：所述带磁性晶粒收集盒通过挂钩悬挂在晶粒输入带的侧边沿。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果是：

通过晶粒输入带将待分选晶粒输入、并经过磁性晶粒收集单元的磁性分选作用收集带磁性晶粒后、将剩余待分选的无磁性晶粒输入晶粒检测承台进行检测，检测后通过围绕晶粒检测承台台面四周的分选收集单元进行直接收集，不仅将分磁操作集合在检测前输入阶段、缩短单独分磁工序，而且省略了检测后繁杂的传送收集机构，根据分选需求通过启动不同分选收集单元中的收集吸嘴将分选检测后的晶粒吸取并落入对应的分选收集盒中，分选直接高效、没有多余传送动作，从而可大幅提升分选效率，整体动作衔接顺畅，整机结构简单、拆装方便、成本较低、能耗也较低，可实现有效分选、高精度分选。

上述内容仅是本实用新型技术方案的概述，为了更清楚的了解本实用新型的技术手段，下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

附图说明

图1为本实用新型晶粒分选机的俯视结构示意图；

图2为本实用新型晶粒分选机的正视结构剖示图。

具体实施方式

下面结合说明书附图，对本实用新型作进一步的说明。

如图1及图2所示，一种晶粒分选机，包括依次相连并相同水平面设置的晶粒输入带1和晶粒检测承台2、设置在晶粒输入带1侧边的磁性晶粒收集单元、以及设置在晶粒检测承台2的台面正上方的检测装置3；所述晶粒输入带1用于将待分选晶粒输入、并经过磁性晶粒收集单元的磁性分选作用收集带磁性晶粒11后、将剩余待分选的无磁性晶粒21逐颗输入晶粒检测承台2；所述检测装置3用于将晶粒检测承台2的待分选的无磁性晶粒21进行分选检测。

所述晶粒检测承台2的台面四周以台面中点为中心、并与台面相同水平面均匀分布有三个分选收集单元，所述分选收集单元仅围绕晶粒检测承台2中不与晶粒输入带1相连的台面四周。

所述均匀分布的三个分选收集单元，依次为分选收集单元一4、分选收集单元二5和分选收集单元三6，所述分选收集单元二5和晶粒输入带1同轴设置，所述分选收集单元一4和分选收集单元三6同轴设置。

如图1所示，所述分选收集单元一4和分选收集单元二5的轴线相交夹角为直角，所述分选收集单元二5和分选收集单元三6的轴线相交夹角也为直角。

所述分选收集单元一4、分选收集单元二5和分选收集单元三6均包括收集吸嘴41和分选收集盒42；所述分选收集盒42与晶粒检测承台2的台面周沿相连、且顶面敞口、并保持顶面与台面齐平；所述收集吸嘴41正对着晶粒检测承台2台面上的待分选的无磁性晶粒21、用于将分选检测后的无磁性晶粒21吸取并落入分选收集盒42中。所述收集吸嘴41的吸取通过开启其上的通气阀实现、放气落入分选收集盒通过关闭通气阀完成，通气阀与外界气路控制系统相连。

如图1所示，所述磁性晶粒收集单元包括磁性条7和带磁性晶粒收集盒8；所述带磁性晶粒收集盒8与晶粒输入带1的侧边相连、且顶面敞口、并保持顶面与侧边沿齐平，所述带磁性晶粒收集盒8通过挂钩悬挂在晶粒输入带1的侧边沿，挂钩的设置方便拆装和更换磁性晶粒收集盒；所述磁性条7正对着晶粒输入带1输入的待分选晶粒、设置在带磁性晶粒收集盒8的顶面、用于将待分选晶粒中的带磁性晶粒11吸取后收集进带磁性晶粒收集盒8中。

所述分选收集单元一4和分选收集单元二5之间、分选收集单元二5和分选收集单元三6之间、分选收集单元三6和晶粒输入带1之间、晶粒输入带1和分选收集单元一4之间均设置有隔离板9，所述隔离板9为透明板；隔离板的设置可使各个分选收集单元互不干扰、保持独立性。

本实用新型的创新点在于，通过晶粒输入带将待分选晶粒输入、并经过磁性晶粒收集单元的磁性分选作用收集带磁性晶粒后、将剩余待分选的无磁性晶粒输入晶粒检测承台进行检测，检测后通过围绕晶粒检测承台台面四周的分选收集单元进行直接收集，不仅将分磁操作集合在检测前输入阶段、缩短单独分磁工序，而且省略了检测后繁杂的传送收集机构，根据分选需求通过启动不同分选收集单元中的收集吸嘴将分选检测后的晶粒吸取并落入对应的分选收集盒中，可以根据实际分选需要更换不同分布排列的分选收集单元，如果分选项目较多通过增加分选收集单元来实现，如果分选项目较少则可以直接暂停分选收集单元使之处于不启用状态，不需要拆除或更换，方便实用；更重要的是分选直接高效、没有多余传送动作，从而可大幅提升分选效率，整体动作衔接顺畅，整机结构简单、拆装方便、成本较低、能耗也较低，可实现有效分选、高精度分选。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何的简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (7)

1.一种晶粒分选机，其特征在于：包括依次相连并相同水平面设置的晶粒输入带和晶粒检测承台、设置在晶粒输入带侧边的磁性晶粒收集单元、以及设置在晶粒检测承台的台面正上方的检测装置；

所述晶粒输入带用于将待分选晶粒输入、并经过磁性晶粒收集单元的磁性分选作用收集带磁性晶粒后、将剩余待分选的无磁性晶粒逐颗输入晶粒检测承台；

所述检测装置用于将晶粒检测承台的待分选的无磁性晶粒进行分选检测；

所述晶粒检测承台的台面四周以台面中点为中心、并与台面相同水平面至少分布有两个分选收集单元，所述分选收集单元仅围绕晶粒检测承台中不与晶粒输入带相连的台面四周；

所述分选收集单元包括收集吸嘴和分选收集盒；所述分选收集盒与晶粒检测承台的台面周沿相连、且顶面敞口、并保持顶面与台面齐平；所述收集吸嘴正对着晶粒检测承台台面上的待分选晶粒、用于将分选检测后的晶粒吸取并落入分选收集盒中。

2.根据权利要求1所述的晶粒分选机，其特征在于：所述磁性晶粒收集单元包括磁性条和带磁性晶粒收集盒；所述带磁性晶粒收集盒与晶粒输入带的侧边相连、且顶面敞口、并保持顶面与侧边沿齐平；

所述磁性条正对着晶粒输入带输入的待分选晶粒、设置在带磁性晶粒收集盒的顶面、用于将待分选晶粒中的带磁性晶粒吸取后收集进带磁性晶粒收集盒中。

3.根据权利要求1或2所述的晶粒分选机，其特征在于：所述分选收集单元均匀分布有三个，依次为分选收集单元一、分选收集单元二和分选收集单元三，所述分选收集单元二和晶粒输入带同轴设置，所述分选收集单元一和分选收集单元三同轴设置。

4.根据权利要求3所述的晶粒分选机，其特征在于：所述分选收集单元一和分选收集单元二的轴线相交夹角为直角；所述分选收集单元二和分选收集单元三的轴线相交夹角也为直角。

5.根据权利要求3所述的晶粒分选机，其特征在于：所述分选收集单元一和分选收集单元二之间、分选收集单元二和分选收集单元三之间、分选收集单元三和晶粒输入带之间、晶粒输入带和分选收集单元一之间均设置有隔离板。

6.根据权利要求5所述的晶粒分选机，其特征在于：所述隔离板为透明板。

7.根据权利要求2所述的晶粒分选机，其特征在于：所述带磁性晶粒收集盒通过挂钩悬挂在晶粒输入带的侧边沿。