CN204469482U - 一种用于mocvd机台的除尘装置 - Google Patents
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Abstract
一种用于MOCVD机台的除尘装置，包括过滤装置和吸尘装置，所述吸尘装置包括上部的电机部件和下部的粉尘回收部件，其特征在于：所述除尘装置还包括与所述吸尘装置连接的气体吹扫装置；所述过滤装置还包括分别连接于所述吸尘装置两侧的离心过滤装置和液体过滤装置。利用上述的除尘装置除尘时，气体吹扫装置可减少MOCVD机台腔体的金属等颗粒导致的电机短路现象；离心过滤装置对气体和粉尘等废弃物的预过滤，可有效延长吸尘装置的使用寿命；液体过滤装置可出去氨气等气体，并可实现其回收再利用。
Description
技术领域
本实用新型主要涉及除尘装置领域，特别涉及一种清理MOCVD设备的时尾气除尘装置。
背景技术
MOCVD设备作为一种常用的外延（Epitaxy）生产设备，在高温、密闭、低压的环境中会形成大量反应残留粉尘，且粉尘中含有较高浓度的氨气。目前普遍使用吸尘器来吸除反应室内部的颗粒，但由于该颗粒具有导电性，很容易使吸尘器内部电路发生短路等故障，且普通吸尘器无法滤除氨气，直接排入周围的环境中会造成严重的污染。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型旨在提出一种用于MOCVD机台的除尘装置，可以有效改善传统除尘装置在工作过程中废气外溢及电机短路等缺点，减少对环境的污染及增加除尘装置的使用寿命。
本实用新型的技术方案为提供一种用于MOCVD机台的除尘装置，包括过滤装置和吸尘装置，所述吸尘装置包括上部的电机部件和下部的粉尘回收部件，其特征在于：所述除尘装置还包括与所述吸尘装置连接的气体吹扫装置；所述过滤装置还包括分别连接于所述吸尘装置两侧的离心过滤装置和液体过滤装置。
优选的，所述气体吹扫装置为惰性气体吹扫装置。
优选的，所述离心过滤装置包括形成气体涡流的漏斗形收集部件和收集部件下端的颗粒容纳部件。
优选的，所述液体过滤装置包括用于吸收尾气中包含的氨气等气体及残留的固体颗粒的液体容纳装置。
优选的，所述液体容纳装置为酸性液体容纳装置或水容纳装置或其组合。
优选的，所述液体过滤装置还具有排放液体的排液管。
优选的，所述除尘装置包括包覆于所述吸尘装置和气体吹扫装置外部用于防止废气外溢的气体回收罩。
本实用新型至少具有以下有益效果：所述离心过滤装置有效延长吸尘器的保养周期；气体吹扫装置有效保证了吸尘器电机部件的正常工作时的散热问题及电机的清洁，减少短路现象，延长吸尘器的使用寿命；液体过滤装置有效吸收并过滤废气中的氨气及残留的固体颗粒，减小了最终排放的废气的再次污染的可能性，且回收的氨气可二次使用，节约成本；气体回收罩，可以有效抑制除尘装置工作时废气的外溢状况，使废气可完全进入MOCVD机台的废气排放装置内，从而增加操作空间的安全性能。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种用于MOCVD机台的除尘装置的结构示意图。
图2为实际使用时本实用新型和MOCVD机台部件的结构示意图。
元件标号说明：1：吸尘装置；11：电机部件；12：粉尘回收部件；13：第二气体粉尘进入管；14：气体回收管；15：进气管；2：气体吹扫装置；3：离心过滤装置；31：第一气体粉尘进入管；32：收集部件；33：颗粒容纳部件；34：排尘阀；4：液体过滤装置；41：液体容纳装置；42：排气管；43：排液管；44：排液阀；5：气体回收罩；6：N2提供装置；7：MOCVD排风管道；8：支架；9：可移动平台。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施案例对本发明作进一步的详细描述，有关本发明的相关技术内容，特点和功效，将可以清楚的呈现。
参看图1，在MOCVD机台中，机台运行后在其腔体内产生含有大量的金属等导电性粉尘以及氨气等气体。为了除去气体并回收其中的金属等，本实用新型提供的用于MOCVD机台的除尘装置，包括吸尘装置1、与吸尘装置1连接的气体吹扫装置2、以及连接于吸尘装置1两侧的离心过滤装置3和液体过滤装置4。其中，吸尘装置1包括位于上部的电机部件11、位于下部的粉尘回收部件12、与离心过滤装置3连接的第二粉尘气体进入管13、与液体过滤装置连接的气体回收管14、以及与气体吹扫装置2连接用于吹扫气体进入的进气管15；离心过滤装置3包括位于上部的漏斗形收集部件32、位于下部的颗粒容纳部件33、气体和粉尘进入的第一气体粉尘进入管31、以及位于收集部件32和颗粒容纳部件33之间用于控制粉尘颗粒回收的排尘阀34；液体过滤装置4包括液体容纳装置41、与液体容纳装置41上端连接并用于排出气体的排气管42、与液体容纳装置41下端连接并用于排出液体的排液管43、以及位于排液管上控制液体排出的排液阀44。另外，在吸尘装置1、气体吹扫装置2外部还包覆有气体回收罩5，防止在除尘过程中，气体和粉尘再次进入MOCVD腔体内，会造成二次污染。为了回收金属等颗粒，并防止空气中氧化性气体对其的氧化，气体吹扫装置2采用惰性气体对电机部件11进行吹扫，本实施例优选N2进行吹扫；为了除去氨气等气体，液体容纳装置41内装有水或酸性溶液，本实施例中优选水吸收氨气。
图2显示了实际使用时本实用新型的除尘装置和MOCVD机台部件的结构示意图。在实际使用时，利用上述除尘装置对MOCVD进行除尘时，图中箭头表示气体粉尘在除尘装置内的流经路径，首先，将进气管15与MOCVD的N2提供装置6连接，排气管42与MOCVD排风管道7连接，启动电机部件11。机台腔体内的气体和粉尘在电机部件11和MOCVD排风管道7的吸力作用下，通过第一气体粉尘进入管31进入漏斗形收集部件32内，粉尘在收集部件32内呈漩涡状旋转，较大的粉尘颗粒沉降至收集部件32底部，打开排尘阀34，使其进入颗粒容纳部件33内，完成MOCVD腔体中粉尘的预过滤。预过滤后的小颗粒粉尘和气体通过第二气体粉尘进入管13进入粉尘回收部件12内，同时，N2通过进气管15进入气体吹扫装置2内对电机部件11吹扫，将金属等颗粒吹入粉尘回收部件12内，保持电机部件11的清洁，同时降低其温度。由于电机部件11和粉尘回收部件12均为不封闭性，经粉尘回收部件12回收后剩余的气体和细小粉尘进入气体回收罩5内，避免造成环境的二次污染，随后，气体和细小粉尘通过气体回收管14进入液体容纳装置41内，氨气等气体被水吸收，细小粉尘进一步被水沉降、过滤。为了防止污染空气，经液体容纳装置41吸收后剩余的气体，通过排气管42进入MOCVD排风管道7内进一步处理。除尘结束后，可将液体容纳装置41内的氨水通过排液管43放出，供回收再利用。为了方便使用，可将上述除尘装置置于支架8上，并置于可移动平台9上进行除尘。
相较于现有吸尘器，本实用新型提供的除尘装置可有效延长使用寿命和MOCVD的维护周期，并可除去 MOCVD产生的氨气等废气。
应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实例，凡依照本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用于MOCVD机台的除尘装置，包括过滤装置、吸尘装置，所述吸尘装置包括上部的电机部件和下部的粉尘回收部件，其特征在于：所述除尘装置包括与所述吸尘装置连接的气体吹扫装置；所述过滤装置包括分别连接于所述吸尘装置两侧的离心过滤装置和液体过滤装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于MOCVD机台的除尘装置，其特征在于：所述气体吹扫装置为惰性气体吹扫装置。
3.根据权利要求1所述的一种用于MOCVD机台的除尘装置，其特征在于：所述离心过滤装置包括形成气体涡旋的漏斗形收集部件和收集部件下端的颗粒容纳部件。
4.根据权利要求1所述的一种用于MOCVD机台的除尘装置，其特征在于：所述液体过滤装置包括用于吸收尾气中的气体及残留固体颗粒的液体容纳装置。
5.根据权利要求4所述的一种用于MOCVD机台的除尘装置，其特征在于：所述液体容纳装置为酸性液体容纳装置或水容纳装置或其组合。
6.根据权利要求4所述的一种用于MOCVD机台的除尘装置，其特征在于：所述液体过滤装置具有排放液体的排液管。
7.根据权利要求1所述的一种用于MOCVD机台的除尘装置，其特征在于：所述除尘装置包括包覆于所述吸尘装置和气体吹扫装置外部用于防止废气外溢的气体回收罩。
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| CN105736103A (zh) * | 2016-05-04 | 2016-07-06 | 淮安信息职业技术学院 | 发动机尾气净化装置 |
| CN109572033A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-04-05 | 杜亮 | 增压机压制制动片灰尘回收再利用装置 |
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