CN204454852U - 一种tft玻璃铂金欠点消除装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于TFT玻璃制备领域，具体涉及一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，包括氮气系统、净化空气系统、混合气体调节系统以及开设有混合气器进、出口的铂金管道，所述氮气系统包括依次连接的氮气源、第一调压装置、第一加热装置，所述净化空气系统包括依次连接的净化空气源、第二调压装置和第二加热装置，所述第一加热装置、第二加热装置的气体出口分别与混合气体调节系统的气体入口相连接，所述混合气体调节系统的气体出口与铂金管道的混合气体进口相连接。本实用新型有效减少了铂金通道内铂金和氧离子等有害气体发生反应，减少了铂金欠点的发生率，并有效延长铂金通道的使用寿命，本实用新型可将铂金不良率减少20％以上，同时提高铂金通道使用寿命半年以上。

Description

一种TFT玻璃铂金欠点消除装置

技术领域

本实用新型属于TFT玻璃制备领域，具体涉及一种TFT玻璃铂金欠点消除装置。

背景技术

由于TFT玻璃制造技术在国内起步较晚且技术不完善，与铂金通道技术内部环境的改善的技术相对较少，而对铂金通道内部环境要求没有相关的经验及文献资料,目前国内TFT玻璃制造中对铂金通道内部气氛不作管理，导致TFT玻璃制造中极易出现铂金类不良。

TFT玻璃制造中过程中主要的澄清及冷却过程均在铂金通道内进行，而铂金通道内部温度在1600℃以上，在如此高的温度下铂金极易和通道自由空间中的氧离子发生化学反应，从而生成新的铂金类化合物，铂金类化合物在高温环境冷凝及掉落，容易进入玻璃液中形成铂金欠点，同时也对铂金通道造成伤害。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术存在的缺陷和不足，提供一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，对铂金通道内部气氛环境进行改善，减少铂金欠点发生，并有效提高铂金通道使用寿命。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：包括氮气系统、净化空气系统、混合气体调节系统以及开设有混合气器进、出口的铂金管道，所述氮气系统包括依次连接的氮气源、第一调压装置、第一加热装置，所述净化空气系统包括依次连接的净化空气源、第二调压装置和第二加热装置，所述第一加热装置、第二加热装置的气体出口分别与混合气体调节系统的气体入口相连接，所述混合气体调节系统的气体出口与铂金管道的混合气体进口相连接。

进一步的，所述混合气体调节系统包括相互连接的第三调压装置和第三加热装置，所述第一加热装置、第二加热装置的气体出口分别与第三调压装置的气体入口相连接，所述第三加热装置的气体出口与铂金管道的混合气体进口相连接。

进一步的，所述混合气体调节系统与铂金管道的混合气体进口之间的管路上还设置有压力检测装置和温度检测装置。

进一步的，所述压力检测装置采用压力传感器，所述温度检测装置采用温度传感器。

进一步的，所述第三调压装置采用压缩机，所述第三加热装置采用电加热器。

进一步的，所述第一加热装置、第二加热装置均采用电加热器，所述第一调压装置、第二调压装置均采用减压阀。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益的技术效果：通过设置氮气系统和净化空气系统，将氮气和净化空气调节到适当的温度及压力，然后通过混合气体调节系统将氮气和净化空气合并调节至合适的温度和压力，再将混合气体通入铂金管道内，这样有效减少了铂金和铂金通道内的氧离子等有害气体发生反应，减少了铂金欠点的发生率，并有效延长铂金通道的使用寿命，本实用新型可将铂金不良率减少20％以上，同时提高铂金通道使用寿命半年以上。

进一步的，通过设置压力检测装置和温度检测装置，对混合气体的压力和温度进行检测，确保装置的安全性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

其中：1为氮气源；2为净化空气源；3为第一调压装置；4为第一加热装置；5为混合气体调节系统；6为第二调压装置；7为第二加热装置；8为压力检测装置；9为温度检测装置；10为铂金管道。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述。

参见图1，本实用新型包括：氮气系统、净化空气系统、混合气体调节系统5以及开设有混合气器进、出口的铂金管道10，所述氮气系统包括依次连接的氮气源1、第一调压装置3、第一加热装置4，所述净化空气系统包括依次连接的净化空气源2、第二调压装置6和第二加热装置4，所述第一加热装置4、第二加热装置4的气体出口分别与混合气体调节系统5的气体入口相连接，所述混合气体调节系统5的气体出口与铂金管道10的混合气体进口相连接。混合气体调节系统5包括相互连接的第三调压装置和第三加热装置，所述第一加热装置4、第二加热装置4的气体出口分别与第三调压装置的气体入口相连接，所述第三加热装置的气体出口与铂金管道10的混合气体进口相连接。混合气体调节系统5与铂金管道10的混合气体进口之间的管路上还设置有压力检测装置8和温度检测装置9。

其中压力检测装置采用压力传感器8，所述温度检测装置9采用温度传感器，第一加热装置4、第二加热装置7均采用电加热器，所述第一调压装置3、第二调压装置6均采用减压阀，第三调压装置采用压缩机，第三加热装置采用电加热器。

工作时，氮气源首先通过第一调压装置进行减压处理，然后进入第一加热装置进行升温，净化空气源通过第二调压装置减压后，进入第二加热装置进行升温，然后将减压、加热处理后的氮气和净化空气送入混合气体调节系统内依次进行加压和加热处理，确保进入铂金管道内的混合气体温度在1200℃左右，压力1.0±0.5KPa，并通过压力检测装置和温度检测装置对混合气体的温度和压力进行检测和监控。

由于铂金通道生产线的工艺要求，玻璃液的澄清主要在铂金管道内完成，为达到良好的澄清效果必须减小玻璃液的粘度，所以铂金通道温度必须保证在1600℃以上。为了保证玻璃液良好的澄清效果，必须将铂金通道内的温度升高，但是在这样的高温环境中，铂金极易和铂金通道内的氧离子等有害气体发生反应，从而导致增加了铂金欠点的发生率，并且缩短了铂金通道的使用寿命。本实用新型通过向铂金通道内通入加压、加热后的氮气和净化空气的混合气体，有效的解决了这一问题。通过将氮气通入铂金管道内，保证了玻璃液良好的澄清效果，并减少铂金和铂金通道内的氧离子等有害气体发生反应，减少铂金欠点的发生率并延长铂金通道使用寿命，可以将铂金不良减少20％以上，同时提高铂金通道使用寿命半年以上。

Claims (6)

1.一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，包括氮气系统、净化空气系统、混合气体调节系统(5)以及开设有混合气体进、出口的铂金管道(10)，所述氮气系统包括依次连接的氮气源(1)、第一调压装置(3)、第一加热装置(4)，所述净化空气系统包括依次连接的净化空气源(2)、第二调压装置(6)和第二加热装置(4)，所述第一加热装置(4)、第二加热装置(4)的气体出口分别与混合气体调节系统(5)的气体入口相连接，所述混合气体调节系统(5)的气体出口与铂金管道(10)的混合气体进口相连接。

2.根据权利要求1所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述混合气体调节系统(5)包括相互连接的第三调压装置和第三加热装置，所述第一加热装置(4)、第二加热装置(4)的气体出口分别与第三调压装置的气体入口相连接，所述第三加热装置的气体出口与铂金管道(10)的混合气体进口相连接。

3.根据权利要求2所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述混合气体调节系统(5)与铂金管道(10)的混合气体进口之间的管路上还设置有压力检测装置(8)和温度检测装置(9)。

4.根据权利要求3所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述压力检测装置采用压力传感器(8)，所述温度检测装置(9)采用温度传感器。

5.根据权利要求2所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述第三调压装置采用压缩机，所述第三加热装置采用电加热器。

6.根据权利要求2所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述第一加热装置(4)、第二加热装置(7)均采用电加热器，所述第一调压装置(3)、第二调压装置(6)均采用减压阀。