CN204352835U - 在线式稀释设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种在线式稀释设备，包括PLC控制器、进药管、进水管、可调流量阀、浓度计及在线混合器，所述在线混合器的进液端口分别连接进药管、进水管及回流管道，所述进药管、进水管及回流管道上分别设有可调流量阀Ⅰ、可调流量阀Ⅱ及截止阀Ⅰ，所述在线混合器的出液端口连接出液管，所述出液管分别连接回流管道、供液管道，所述出液管上装有浓度计，所述供液管道上设有截止阀Ⅱ，所述可调流量阀Ⅰ、可调流量阀Ⅱ、截止阀Ⅰ、截止阀Ⅱ及浓度计分别连接PLC控制器，本实用新型通过PLC控制,将按一定流量流入的纯水和药品通过在线混合器中混合,不仅可以节约大量时间,提高药液精度,还能增加设备的使用寿命。

Description

在线式稀释设备

[技术领域]

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种在线式稀释设备。

[背景技术]

在半导体制造工艺中，经常会碰到使用同一种药品的不同浓度的情况，例如HF49％、HF5％、HF1％、HF0.5％，因此厂商需要设计制造专门的稀释设备，将高浓度药品直接添加到纯水中，调配出目标浓度的药品。

传统的批次式稀释设备，通过加入适量的纯水，再加入适量的药品，使用泵循环均匀，测量浓度，浓度合格后再传送到存储槽备用。这种设备使用带电子称的稀释槽，根据药品和纯水的重量比例，调配出合格的药品。其存在的技术问题：一、每批次花费时间长，生产效率不高。加水，加药品，循环，测量，传送都需要时间。通常2000升的稀释槽生产一批需要4小时以上，一天的产量只有12000升。二、纯水用量大。每批次中，平均流量虽然不大，但是因为加纯水时间短，纯水的瞬时流量很大。通常加水时间约15分钟，接收1800升，瞬间120升/分,对纯水站冲击大。三、泵频繁的启动停止,会使电机过热,造成绝缘老化,同时启动电流过大,会影响供电线路。泵频繁的启动停止还会降低配电柜开关的使用寿命。随着工业的飞速发展,技术要求不断地提高,传统的批次式稀释装备已经不能满足日益增长的生产及精度需求。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足，而提供一种在线式稀释设备，通过PLC控制,将按一定流量流入的纯水和药品通过在线混合器中混合,不仅可以节约大量时间,提高药液精度,还能增加设备的使用寿命。

为实现上述目的设计一种在线式稀释设备，包括PLC控制器1、进药管2、进水管3、可调流量阀、浓度计9、出液管10、截止阀及供液管道11，还包括在线混合器7，所述在线混合器7的进液端口分别连接进药管2、进水管3及回流管道6，所述进药管2、进水管3及回流管道6上分别设有可调流量阀Ⅰ4、可调流量阀Ⅱ5及截止阀Ⅰ8，所述在线混合器7的出液端口连接出液管10，所述出液管10分别连接回流管道6、供液管道12，所述出液管10上装有浓度计9，所述供液管道12上设有截止阀Ⅱ11，所述可调流量阀Ⅰ4、可调流量阀Ⅱ5、截止阀Ⅰ8、截止阀Ⅱ11及浓度计9分别连接PLC控制器1。

所述在线混合器7内部设有旋转通道。

所述旋转通道设有搅拌叶轮。

本实用新型同现有技术相比，具有如下优点：

1、使用流量计准确控制纯水和药品的流量，实现大流量的精确稀释。

2、使用在线式混合器，确保稀释的均匀。

3、使用在线式浓度计测量浓度，反馈控制纯水和药品的流量，确保稀释结果的准确性。

4、实现了大流量的精确稀释，满足了现场大用量的要求。

[附图说明]

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1为PLC控制器、2为进药管、3为进水管、4为可调流量阀Ⅰ、5为可调流量阀Ⅱ、6为回流管道、7为在线混合器、8为截止阀Ⅰ、9为浓度计、10为出液管、11为截止阀Ⅱ、12为供液管道。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

如附图1所示，本实用新型包括：包括PLC控制器1、进药管2、进水管3、可调流量阀、浓度计9、出液管10、截止阀及供液管道11，还包括在线混合器7，所述在线混合器7的进液端口分别连接进药管2、进水管3及回流管道6，所述进药管2、进水管3及回流管道6上分别设有可调流量阀Ⅰ4、可调流量阀Ⅱ5及截止阀Ⅰ8，所述在线混合器7的出液端口连接出液管10，所述出液管10分别连接回流管道6、供液管道12，所述出液管10上装有浓度计9，所述供液管道12上设有截止阀Ⅱ11，所述可调流量阀Ⅰ4、可调流量阀Ⅱ5、截止阀Ⅰ8、截止阀Ⅱ11及浓度计9分别连接PLC控制器1。所述在线混合器7内部设有旋转通道，所述旋转通道设有搅拌叶轮。目的是让药液和水更加充分的混合。

本实用新型通过两个可调流量阀同时控制纯水和药品分别按一定的流量不间断流入在线式混合器，在在线混合器中纯水和药品混合均匀，再通过浓度计测量浓度，合格的药品直接传送到存储槽备用。若不合格,则将药液通过回流管道重新稀释。同时采用PLC控制不仅能够消除技术人员操作时的人为误差,还具有操作参数管理功能,能够保存、修改和重复使用各种操作参数,能够建立、保存、使用各种自定义的操作方法,十分的简洁方便。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种在线式稀释设备，包括PLC控制器(1)、进药管(2)、进水管(3)、可调流量阀、浓度计(9)、出液管(10)、截止阀及供液管道(11)，其特征在于：还包括在线混合器(7)，所述在线混合器(7)的进液端口分别连接进药管(2)、进水管(3)及回流管道(6)，所述进药管(2)、进水管(3)及回流管道(6)上分别设有可调流量阀Ⅰ(4)、可调流量阀Ⅱ(5)及截止阀Ⅰ(8)，所述在线混合器(7)的出液端口连接出液管(10)，所述出液管(10)分别连接回流管道(6)、供液管道(12)，所述出液管(10)上装有浓度计(9)，所述供液管道(12)上设有截止阀Ⅱ(11)，所述可调流量阀Ⅰ(4)、可调流量阀Ⅱ(5)、截止阀Ⅰ(8)、截止阀Ⅱ(11)及浓度计(9)分别连接PLC控制器(1)。

2.如权利要求1所述的在线式稀释设备，其特征在于：所述在线混合器(7)内部设有旋转通道。

3.如权利要求2所述的在线式稀释设备，其特征在于：所述旋转通道设有搅拌叶轮。