CN203770796U - 电控流量阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种电控流量阀，流量阀的进液接口和出液接口分别与进液管和出液管连接，所述的出液管上安装有流量计，所述的流量阀安装在电机座上，用于控制流量阀的开合度的电机也安装在电机座上，电机的驱动轴通过连接套与流量阀的阀杆连接，检测电机驱动轴旋转角度的旋转编码器安装在电机上，流量计的信号输出端及旋转编码器的信号输出端分别与控制器的输入/输出端连接，控制器的控制端与电机连接。本实用新型结构简单，能精确控制流量阀开合度，使用维护成本低。

Description

电控流量阀

技术领域

本实用新型涉及一种电控流量阀，属于流量阀技术领域。

背景技术

半导体器件的化学腐蚀和清洗工艺中，通常采用硫酸和过氧化氢的混合液，即形成含硫的Piranha溶液先进行清洗。为提高清洗效果，分别对两种清洗液进行加热，再将加热后的两种清洗液在混合集成阀内按一定比例混合后对半导体器件的基板进行清洗。故而需对药剂的流量进行控制，通常药剂的流量是由设置在管路上的流量阀进行控制。但流量阀其开合度通常是由人工控制，一方面造成药剂流量控制不是精准，而且也费时。再则在化学腐蚀和清洗工艺中，不同的清洗工艺所使用药剂的流量要求也不同，加之药剂受管路中压力的变化均会影响到其流量准确性，因此需要能精确控制药剂流量的流量阀。目前现有的电控流量阀能达到精确控制流量的效果，但也存在着结构非常复杂，造成使用和维护成本高。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单，能精确控制流量阀开合度，使用维护成本低的电控流量阀。

本实用新型为达到上述目的的技术方案是：一种电控流量阀，流量阀的进液接口和出液接口分别与进液管和出液管连接，其特征在于：所述的出液管上安装有流量计，所述的流量阀安装在电机座上，用于控制流量阀的开合度的电机也安装在电机座上，电机的驱动轴通过连接套与流量阀的阀杆连接，检测电机驱动轴旋转角度的旋转编码器安装在电机上，流量计的信号输出端及旋转编码器的信号输出端分别与控制器的输入/输出端连接，控制器的控制端与电机连接。

本实用新型将流量阀安装在电机座上，同时电机安装在电机座上，通过连接套将电机的驱动轴与流量阀的阀杆连接，能直接通过电机带动阀杆的转动,即控制流量阀的开合度而控制流量阀的流量，本实用新型通过旋转编码器监测电机的旋转角度，将流量计检测的数据以及旋转编码器检测的数据传至控制器内，控制器根据接收的数据而输出信号以控制电机的动作，实现对流量阀开合度的精确控制，从而达到对药剂流量的精确控制。本实用新型将电机和流量阀均安装在电机座上，通过连接套将电机的驱动轴与流量阀的阀杆连接，结构简单，成本低，具有较好的维护性。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步的详细描述。

图1是本实用新型电控流量阀的结构示意图。

其中：1—旋转编码器，2—电机，2-1—驱动轴，3—连接套，4—电机座，4-1—连接板，5—流量阀，5-1—阀杆，6—进液管，7—出液管，8—流量计，9—控制器。

具体实施方式

见图1所示，本实用新型的电控流量阀，流量阀5的进液接口和出液接口分别与进液管6和出液管7连接，出液管7上安装有流量计8，通过流量计8检测流过出液管7内的药液量。

见图1所示，本实用新型的流量阀5安装在电机座4上，用于控制流量阀5的开合度的电机2安装在电机座4上，本实用新型的电机2可采用步进电机，电机座4一端安装有连接板4-1，该连接板4-1安装在电机座4上，流量阀5安装在连接板4-1上，电机2连接在电机座4的另一端,连接套3设置在电机座4内，方便将电机2和流量阀5安装在电机座4上，具有较好的维护性能，而电机2的驱动轴2-1通过连接套3与流量阀5的阀杆5-1连接，电机2的驱动轴2-1设置在连接套3内，安装在连接套3上的紧固件顶在电机2的驱动轴2-1上，或本实用新型的连接套3通过键与电机2的驱动轴2-1连接，通过连接套3传递动力，而连接套3上设有U形槽口，流量阀5的阀杆5-1具有T形头，阀杆5-1的T形头设置在连接套3的U形槽口内，通过电机2驱动阀杆5-1旋转，而控制流量阀5的开合度。

见图1所示，本实用新型用于检测电机2的驱动轴2-1旋转角度的旋转编码器1安装在电机2上，流量计8的信号输出端及旋转编码器1的信号输出端分别与控制器9的输入/输出端连接，控制器9的控制端与电机2连接，本实用新型的控制器9可采用现有的微处理器，流量计8也将检测到药液实际流量信号输至控制器9，控制器9对收数据进行运算和比较，并输出脉冲信号，电机2接收脉冲信号，并根据脉冲信号值动作并带动驱动轴2-1旋转需要的角度，同时旋转编码器1检测电机2的驱动轴2-1实际旋转角度，并将检测到的数据输至控制器9，控制器9比较结果是否符合需求，如果未达预期值，控制器增加一个脉冲信号值控制电机2带动阀杆5-1动作，最终使阀杆5-1的实际旋转角度达到预设标准，从而实现对流量阀5开合度的精确控制。

Claims (3)

1.一种电控流量阀，流量阀（5）的进液接口和出液接口分别与进液管（6）和出液管（7）连接，其特征在于：所述的出液管（7）上安装有流量计（8），所述的流量阀（5）安装在电机座（4）上，用于控制流量阀（5）的开合度的电机（2）安装在电机座（4）上，电机（2）的驱动轴（2-1）通过连接套（3）与流量阀（5）的阀杆（5-1）连接，检测电机（2）的驱动轴（2-1）旋转角度的旋转编码器（1）安装在电机（2）上，流量计（8）的信号输出端及旋转编码器（1）的信号输出端分别与控制器（9）的输入/输出端连接，控制器（9）的控制端与电机（2）连接。

2.根据权利要求1所述的电控流量阀，其特征在于：所述的电机座（4）一端安装有连接板(4-1)，流量阀（5）安装在连接板(4-1)上，电机（2）连接在电机座（4）的另一端,连接套（3）设置在电机座（4）内。

3.根据权利要求1所述的电控流量阀，其特征在于：所述连接套（3）上设有U形槽口，流量阀（5）的阀杆（5-1）具有T形头，且阀杆（5-1）的T形头设置在连接套（3）的U形槽口内。