CN204346804U - 用于气体样品的可控压力的动态稀释装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，属于气体稀释技术领域。所述用于气体样品的可控压力的动态稀释装置包括稀释气入口、原料气入口、混合腔、限流结构和混合气出口，其中：所述稀释气入口和原料气入口均为至少一个，每个稀释气入口和原料气入口分别经一个质量流量控制器连接至所述混合腔的入口，所述混合腔的出口经所述限流结构连接至所述混合气出口，所述混合气出口处设置有压力传感器，所述混合腔和混合气出口之间的管路上设置有手动开关和/或电磁阀。本实用新型可对低压配气瓶进行配气，并且可以控制配气瓶的充气压力。

Description

用于气体样品的可控压力的动态稀释装置

技术领域

本实用新型涉及气体稀释技术领域，特别是指一种用于气体样品的可控压力的动态稀释装置。

背景技术

动态配气法是使已知浓度的原料气与稀释气按恒定比例连续不断地进入混合腔混合，从而可以连续不断地配制并供给一定浓度的标准气，根据两股气流的流量比可计算出稀释倍数，根据稀释倍数计算出标准气的浓度。

现有的动态稀释系统是将已知浓度的原料气与稀释气通过流量控制装置设定流量，得到固定的流量比，通过混合装置进行充分混合后得到一定浓度的标准气。这个浓度的标准气有两个出口，一个出口把标准气通入使用设备；一个出口排出多余的标准气，通常这个出口与大气相连。这种方法得到的一定浓度的标准气为常压气体，但是在实际应用中，许多地方需要把一定浓度的标准气充入低压(接近真空)的配气瓶内，所以需要对目前的方法进行改进。

实用新型内容

本实用新型提供一种可对低压配气瓶进行配气，并且可以控制配气瓶充气压力的动态稀释装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供技术方案如下：

一种用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，包括稀释气入口、原料气入口、混合腔、限流结构和混合气出口，其中：

所述稀释气入口和原料气入口均为至少一个，每个稀释气入口和原料气入口分别经一个质量流量控制器连接至所述混合腔的入口；

所述混合腔的出口经所述限流结构连接至所述混合气出口，所述混合气出口处设置有压力传感器；

所述混合腔和混合气出口之间设置有手动开关和/或电磁阀。

进一步的，所述手动开关和/或电磁阀设置在所述混合腔和限流结构之间。

进一步的，所述混合腔的出口还连接有泄压管路，所述泄压管路上设置有泄压阀。

进一步的，所述稀释气入口还通过管路直接连接至所述限流结构的入口，从而形成加压稀释线路，所述加压稀释线路上设置有控制开关。

进一步的，所述稀释气入口的管路上设置有加湿装置，所述加湿装置和混合腔之间设置有湿度传感器。

进一步的，所述稀释气入口和混合腔之间并联有两条管路，其中一条管路经一质量流量控制器和所述加湿装置连接至所述混合腔的入口，另一条管路直接经一质量流量控制器连接至所述混合腔的入口。

进一步的，所述加湿装置为水罐。

进一步的，所述限流结构为金属弯管或毛细柱。

进一步的，所述混合腔为软管。

本实用新型具有以下有益效果：

与现有技术相比，在进行气体稀释时，稀释气和原料气分别通过稀释气入口和原料气入口进入并经过质量流量控制器流入到混合腔中，稀释气和原料气在混合腔中进行混合，两种气体混合后经过限流结构并通过混合气出口灌入至真空罐中，在灌入过程中，可以根据压力传感器的测量情况，控制手动开关和/或电磁阀的打开程度来调整混合气灌入真空罐中的速度。本实用新型可对低压配气瓶进行配气，并且可以控制配气瓶的充气压力。

附图说明

图1为本实用新型的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置的一种实施例的结构示意图。

图2为本实用新型的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置的另一实施例的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

本实用新型提供一种用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，如图1-2所示，包括稀释气入口1、原料气入口2、混合腔3、限流结构4和混合气出口5，其中：

稀释气入口1和原料气入口2均为至少一个，每个稀释气入口1和原料气入口2分别经一个质量流量控制器6(Mass Flow Controller，MFC)连接至混合腔3的入口；

混合腔3的出口经限流结构4连接至混合气出口5，混合气出口5处设置有压力传感器7；

混合腔3和混合气出口5之间的管路上设置有手动开关8和/或电磁阀(未示出)。

在进行气体稀释时，稀释气和原料气分别通过稀释气入口1和原料气入口2进入并经过质量流量控制器6流入到混合腔3中，稀释气和原料气在混合腔3中进行混合，两种气体混合后经过限流结构4并通过混合气出口5灌入至真空罐13中，在灌入过程中，可以根据压力传感器的测量情况，控制手动开关8和/或电磁阀的打开程度来调整混合气灌入真空罐13中的速度。本实用新型可对低压配气瓶进行配气，并且可以控制配气瓶的充气压力。

为了进一步提高本实用新型的可控性，手动开关8和/或电磁阀优选设置在混合腔3和限流结构4之间。这样可以通过调整手动开关8和/或电磁阀的打开程度来调整流入限流结构4的混合气的流速，可以进一步提高对混合气流速的可控性。

作为本实用新型的一种改进，混合腔3的出口还可以连接有泄压管路10，泄压管路上设置有泄压阀11。当混合后的气体高于此泄压阀11的压力后部分混合气体从泄压阀11处排出，这样可以保证配气系统达到所需的压力。

进一步的，稀释气入口1还优选通过管路直接连接至限流结构4的入口，从而形成加压稀释线路12，加压稀释线路12上设置有控制开关9。当真空罐中所需原料气的量已经足够，仅真空罐压力不足/仅需进行稀释时，可以打开该压稀释线路12上的控制开关9，稀释气直接经加压稀释线路12流入限流结构4，然后灌入真空罐13中，这样可以实现动态稀释气体的目的。

作为本实用新型的另一种改进，稀释气入口1的管路上可以设置有加湿装置14，加湿装置14和混合腔3之间可以设置有湿度传感器15，以控制得到一定湿度的混合气。

进一步的，如图2所示，稀释气入口1和混合腔3之间可以并联有两条管路，其中一条管路经一质量流量控制器6和加湿装置14连接至混合腔3的入口，另一条管路直接经一质量流量控制器6连接至混合腔3的入口。两条管路一路为干路，一路为湿路，根据生产的需求，稀释气经两路共同调整就可以得到所需湿度的混合气，提高了本装置使用的灵活性。

为了简化本装置的结构和降低成本，本实用新型中的加湿装置14优选为水罐。限流结构4可以选择本领域中各种通用的限流结构，优选为毛细柱或金属弯管。

混合腔3优选为软管，其中为了避免腐蚀性气体在混合的过程中损坏软管，在对腐蚀性气体进行稀释时，应该选用经过惰性化处理的软管。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，包括稀释气入口、原料气入口、混合腔、限流结构和混合气出口，其中：

所述稀释气入口和原料气入口均为至少一个，每个稀释气入口和原料气入口分别经一个质量流量控制器连接至所述混合腔的入口；

所述混合腔的出口经所述限流结构连接至所述混合气出口，所述混合气出口处设置有压力传感器；

所述混合腔和混合气出口之间设置有手动开关和/或电磁阀。

2.根据权利要求1所述的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，所述手动开关和/或电磁阀设置在所述混合腔和限流结构之间。

3.根据权利要求2所述的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，所述混合腔的出口还连接有泄压管路，所述泄压管路上设置有泄压阀。

4.根据权利要求1所述的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，所述稀释气入口还通过管路直接连接至所述限流结构的入口，从而形成加压稀释线路，所述加压稀释线路上设置有控制开关。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，所述稀释气入口的管路上设置有加湿装置，所述加湿装置和混合腔之间设置有湿度传感器。

6.根据权利要求5所述的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，所述稀释气入口和混合腔之间并联有两条管路，其中一条管路经一质量流量控制器和所述加湿装置连接至所述混合腔的入口，另一条管路直接经一质量流量控制器连接至所述混合腔的入口。

7.根据权利要求6所述的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，所述加湿装置为水罐。

8.根据权利要求7所述的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，所述限流结构为金属弯管或毛细柱。

9.根据权利要求8所述的用于气体样品的可控压力的动态稀释装置，其特征在于，所述混合腔为软管。