CN204338522U - 一种磨盘沟槽清洁工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶片加工装置及平面磨床领域，公开了一种磨盘沟槽清洁工具，包括套筒和滚轮片，滚轮片设置在套筒的端部，套筒为空心结构，且套筒端部开有出水口，其中滚轮片为圆形不锈钢片，出水口上方设置有圆形护手板，本实用新型结构简单，操作方便，工作效率高。

Description

一种磨盘沟槽清洁工具

技术领域

本实用新型涉及晶片加工装置及平面磨床领域，特别是涉及一种磨盘沟槽清洁工具。

背景技术

开槽磨盘在硅片以及蓝宝石晶片研磨等已经广泛应用，不仅研磨速率快，而且划伤的比例低的特点。但是，对于开槽磨盘的沟槽清洁来说，十分不方便。开槽磨盘的在设计过程中，盘面会开槽为2mm宽，15mm深左右沟槽，用于导流浆液的作用。在使用过程中，砂浆会逐步在沟槽内部凝结形成硬质颗粒团，容易导致划伤。通常，沟槽使用片状刮刀清理，不仅容易损伤盘面，而且不容易清理干净。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种磨盘沟槽清洁工具，通过本实用新型可以对盘面进行清洗，解决现有技术容易损伤盘面和清洗不干净的技术问题。

本实用新型解决上述问题的技术方案是：

一种磨盘沟槽清洁工具，包括套筒和滚轮片，所述滚轮片设置在套筒的端部，所述套筒为空心结构，且所述套筒端部开有出水口；

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进，

进一步，所述滚轮片为圆形不锈钢片；

进一步，所述出水口上方设置有圆形护手板；

本实用新型通过在套筒内通入压力水或者压缩空气，通过出水口，可以冲洗盘面，通过滚轮片可以对沟槽进行清理，不会损坏盘面，设置有圆形护手板，可以有效保护工作人员的安全，防止划伤。

本实用新型的有益效果是通过空心套筒和出水口，对盘面进行冲洗，能够有效清洗盘面，且不会对盘面造成损坏，本实用新型结构简单，操作方便，清理效果好。

附图说明

图1为本实用新型具体实施例所述的一种磨盘沟槽清洁工具的结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、套筒，2、滚轮片，3、出水口，4、圆形护手板。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

一种磨盘沟槽清洁工具，包括套筒1和滚轮片2，所述滚轮片2设置在套筒1的端部，所述套筒1为空心结构，且所述套筒1端部开有出水口3；

其中，所述滚轮片2为圆形不锈钢片，所述出水口3上方设置有圆形护手板4；

本实用新型通过在套筒1内通入压力水或者压缩空气，通过出水口3，可以冲洗盘面，通过滚轮片可以对沟槽进行清理，不会损坏盘面，设置有圆形护手板，可以有效保护工作人员的安全，防止划伤。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种磨盘沟槽清洁工具，其特征在于，包括套筒和滚轮片，所述滚轮片设置在套筒的端部，所述套筒为空心结构，且所述套筒端部开有出水口。

2.根据权利要求1所述的一种磨盘沟槽清洁工具，其特征在于，所述滚轮片为圆形不锈钢片。

3.根据权利要求1所述的一种磨盘沟槽清洁工具，其特征在于，所述出水口上方设置有圆形护手板。