CN204326851U - 一种mocvd旋转式密封门 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。在能够满足MOCVD设备的暂存腔室真空密封的同时，又能够方便的开启使用，非常便于MOCVD设备的使用、调试及维修，生产效率也随之提高。
Description
技术领域
本实用新型涉及MOCVD设备制造技术领域，更具体地涉及一种用于MOCVD设备的旋转式密封门。
背景技术
MOCVD全称金属有机化合物化学气相沉淀，是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。目前全球MOCVD设备制造商主要有两家，分别是德国的AIXTRON公司和美国的VEECO公司，其中AIXTRON公司大约占60-70%的国际市场份额，VEECO公司占30-40%。在MOCVD设备技术领域中几乎所有核心技术均被上述两家公司占有垄断，国内还没有这一领域的核心专利和成熟的设计技术。我国的MOCVD设备主要依赖于进口，随着国家能源的紧缺和半导体照明工程的发展，国产MOCVD设备的研发工作的重要性愈加凸显。
目前，MOCVD设备中都配有载片盘暂存区，载片盘用于送入、送出石墨物料盘，载片盘暂存区成为操作室与反应室之间载片盘的周转站。载片盘暂存区为真空密闭的暂存腔室，暂存腔室设有后门，通常用于在设备进行调试或维修时开启使用，后门采用固定的密封门板来实现真空密封。现有的后门固定密封结构非常不方便开启使用，每次开启、关闭后门都很费力，从而增加了MOCVD设备的调试、维修难度，同时也影响了生产效率。
因此，为了便于调试、维修MOCVD设备，如何设计一种方便开启的MOCVD密封门，是业界亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服上述现有技术的不足，提供一种MOCVD旋转式密封门，既能实现暂存腔室的真空密封又能方便的开启，非常利于MOCVD设备的使用、调试及维修。
本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。
所述暂存腔室的上端密封设有盖板、与门扇相对的侧面开设有用于机械手传输石墨物料盘的通口。
所述铰链包括固定在门框侧边的铰链座、及贯穿铰链座的铰链轴，所述门扇边上对应铰链轴设有带有轴孔的凸起，铰链轴安装在轴孔内且门扇以其为转轴旋转。
所述搭扣门锁包括水平设置的把手、与把手朝向门扇边缘的一端活动连接的锁舌、及相对应门框上设置的具有锁舌收容腔的固定扣。
所述铰链设在门扇的竖直侧边上或者水平底边上。
所述铰链优选设置两个，所述搭扣门锁也优选设置两个。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：针对暂存腔室设计新的密封方式，将原来固定的密封门板增加铰链连接，实现可活动的旋转门，再选择合适的具有一定压力的搭扣门锁结构，对旋转门施加初始密封所需要的压力，从而构成了旋转式密封门，在能够满足真空密封的同时，又能够方便的开启使用，减少MOCVD设备调试时间，减轻调试使用人员的劳动强度，生产效率也随之提高。
附图说明
图1为本实用新型的正面结构示意图；
图2为图1中A-A的剖面结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述。
请参见图1至图2，本实用新型涉及一种MOCVD旋转式密封门，包括门扇1、铰链、搭扣门锁、及暂存腔室8，门扇1的一边通过设置铰链与暂存腔室8活动连接，门扇1的另一边再设置具有一定压力的搭扣门锁，同时实现真空暂存腔室8的密封。
暂存腔室8设于门扇1的内侧，且其与门扇1相接的侧面为门框，门扇1竖直覆盖在门框上，门扇1为具有一定厚度的铝合金材质门板，暂存腔室8的上端密封设有盖板，盖板是为了加工、装配需要而设置，暂存腔室8与门扇相对的侧面开设有通口，用于机械手把石墨物料盘传输进入暂存腔室。
铰链包括铰链座2及铰链轴3，铰链座2突出设置在门框的底边上，铰链座2采用螺纹固定安装，根据暂存腔室8的大小，铰链座2可以设置一个或多个，本实施例中铰链座优选设置两个，铰链轴3水平贯穿设置在铰链座2突出的部分上，其中部分铰链轴3裸露在外，门扇1的底边上设有连接用的凸起，在凸起上开有轴孔，铰链轴3裸露在外的部分配合安装在轴孔内，门扇1以铰链轴3为转轴旋转打开、关闭，使用非常方便。
在与铰链相对的门扇1顶边上设有搭扣门锁，搭扣门锁包括把手4、锁舌5、及固定扣6，为了便于工人操作，把手4采用水平设置，在把手4朝向门扇边缘的一端设有活动连接的锁舌5，把手4以设有锁舌5的一端为转轴进行旋转，并在旋转时按压锁舌5向下运动，在门框上对应锁舌5设有固定扣6，固定扣6具有容纳锁舌5的空腔。关闭密封门时，锁舌5伸入固定在固定扣6内，紧密闭合；开启封闭门时，提拉把手4，通过把手4按压锁舌5，使锁舌5从固定扣6内脱离出来，旋转门扇1打开。搭扣门锁也优选设有两个，在门扇1顶边两侧对称设置，保证门扇1左右所受门锁压力平衡。
为了确保暂存腔室8的真空密封效果，在门扇1的内侧与门框之间设有密封圈7，在关闭密封门时，通过压紧密封圈7实现暂存腔室8的密封。
本实用新型的铰链安装位置也可以设在门扇1的竖直侧边上，同时，相对应的搭扣门锁设置在门扇1的另一竖直侧边上，其中，把手4不改变方向亦采用水平设置，通过改变安装位置也能够实施本实用新型。
以上具体实施例仅用以举例说明本实用新型的结构，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，其特征在于：还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。
2.根据权利要求1所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述暂存腔室的上端密封设有盖板、与门扇相对的侧面开设有用于机械手传输石墨物料盘的通口。
3.根据权利要求1或2所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述铰链包括固定在门框侧边的铰链座、及贯穿铰链座的铰链轴，所述门扇边上对应铰链轴设有带有轴孔的凸起，铰链轴安装在轴孔内且门扇以其为转轴旋转。
4.根据权利要求1或2所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述搭扣门锁包括水平设置的把手、与把手朝向门扇边缘的一端活动连接的锁舌、及相对应门框上设置的具有锁舌收容腔的固定扣。
5.根据权利要求1所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述铰链设在门扇的竖直侧边上或者水平底边上。
6.根据权利要求1所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述铰链设置有两个，所述搭扣门锁亦设置有两个。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201420725120.3U CN204326851U (zh) | 2014-11-28 | 2014-11-28 | 一种mocvd旋转式密封门 |
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| CN201420725120.3U CN204326851U (zh) | 2014-11-28 | 2014-11-28 | 一种mocvd旋转式密封门 |
Publications (1)
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| CN204326851U true CN204326851U (zh) | 2015-05-13 |
Family
ID=53163223
Family Applications (1)
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| CN201420725120.3U Active CN204326851U (zh) | 2014-11-28 | 2014-11-28 | 一种mocvd旋转式密封门 |
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| CN (1) | CN204326851U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107893612A (zh) * | 2017-12-14 | 2018-04-10 | 株洲联诚集团控股股份有限公司 | 一种门结构组件 |
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2014
- 2014-11-28 CN CN201420725120.3U patent/CN204326851U/zh active Active
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| CN107893612A (zh) * | 2017-12-14 | 2018-04-10 | 株洲联诚集团控股股份有限公司 | 一种门结构组件 |
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