CN209262372U - 一种新型真空用旋转门阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型真空用旋转门阀，它涉及门阀技术领域，包括门阀，门阀通过上安装轴承座和下安装轴承座按在在腔室进出口处，上气缸通过上齿条、上齿轮和联轴器与门阀传动连接，下气缸通过下齿条、下齿轮和下联轴器与门阀传动连接，腔室上下部分别设置有上齿轮限位部件和下齿轮限位部件，门阀上的门阀轴上设置有门阀轴限位装置，阀板通过连接套、钩头键安装在门阀轴上。本实用新型密封可靠，动作灵敏，确保基片快速通过立式镀膜线的进口和出口，提高了整个真空镀膜生产线效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及的是门阀技术领域，具体涉及一种新型真空用旋转门阀。
背景技术
在真空镀膜生产中,真空环境镀膜的需要，要求保持生产线进出口完全封闭；通常在进出口处分别设置有门阀，在基片进出生产线通过进出口时，门阀会相应地打开或关闭。真空镀膜生产线对真空环境要求非常高，这就要求真空腔室门阀密封可靠；当设备接受到基片进出的信号，门阀能很及时、灵敏、可靠地的开闭，这样才能确保生产效率，保证产品质量。
本实用新型采用的进、出口旋转门阀，当气缸接受到基片进出的信号后，驱动气缸，通过齿条、齿轮带动门阀旋转95°动作平稳快捷，密封可靠。
发明内容
针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供一种新型真空用旋转门阀，密封可靠，动作灵敏，确保基片快速通过立式镀膜线的进口和出口，提高了整个真空镀膜生产线效率。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型真空用旋转门阀，包括门阀，门阀通过上安装轴承座和下安装轴承座按在在腔室进出口处，上气缸通过上齿条、上齿轮和上联轴器与门阀传动连接，下气缸通过下齿条、下齿轮和下联轴器与门阀传动连接，腔室上下部分别设置有上齿轮限位部件和下齿轮限位部件，门阀上的门阀轴上设置有门阀轴限位装置，阀板通过连接套、钩头键安装在门阀轴上。
作为优选，所述的阀板上装有O型密封圈。
作为优选，所述的阀板还通过调节块和定位螺钉设置在门阀轴上。
本实用新型的有益效果：结构设计合理，密封可靠，动作灵敏，确保基片快速通过立式镀膜线的进口和出口，提高了整个真空镀膜生产线效率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型；
图1为本实用新型的整体安装结构示意图；
图2为图1的A部放大示意图；
图3为图1的B部放大示意图；
图4为图1的C部放大示意图；
图5为本实用新型的门阀轴限位装置剖视图；
图6为本实用新型的门阀组件示意图；
图7为图6的D部放大示意图；
图8为本实用新型的阀板的剖视图。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
参照图1-图8，本具体实施方式采用以下技术方案：一种新型真空用旋转门阀，包括门阀1，门阀1通过上安装轴承座2和下安装轴承座3按在在腔室4进出口处，上气缸5通过上齿条6、上齿轮7和上联轴器8与门阀1传动连接，下气缸9通过下齿条10、下齿轮11和下联轴器12与门阀1传动连接，腔室4上下部分别设置有上齿轮限位部件13和下齿轮限位部件14，门阀1上的门阀轴15上设置有门阀轴限位装置16，阀板17通过连接套18、钩头键19安装在门阀轴15上，
值得注意的是，所述的阀板17上装有O型密封圈20。
此外，所述的阀板17还通过调节块21、调节螺栓24和定位螺钉22设置在门阀轴15上。
本具体实施方式的门阀通过上、下两个安装轴承座固定在腔室进、出口处，门阀轴由上、下两个气缸同步驱动，通过齿条、齿轮、连轴器带动门阀旋转；门阀与腔室设置在底架23上。
腔室上下分别装有齿轮限位；同时由于门阀轴上下跨度较长，为了减少轴的挠度，又装有门阀轴限位，阀轴限位上的两个限位滚轮与轴座对轴形成三点定位；这样使得门阀旋转动作十分平稳快捷。
本具体实施方式的阀板通过连接套、钩头键安装门阀轴上，阀板装有密封圈，用于关闭时密封，通过调节块、定位螺钉、调节螺栓加以调整，可使密封面达到最佳位置。这样使密封十分可靠。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (3)
1.一种新型真空用旋转门阀，其特征在于，包括门阀(1)，门阀(1)通过上安装轴承座(2)和下安装轴承座(3)按在在腔室(4)进出口处，上气缸(5)通过上齿条(6)、上齿轮(7)和上联轴器(8)与门阀(1)传动连接，下气缸(9)通过下齿条(10)、下齿轮(11)和下联轴器(12)与门阀(1)传动连接，腔室(4)上下部分别设置有上齿轮限位部件(13)和下齿轮限位部件(14)，门阀(1)上的门阀轴(15)上设置有门阀轴限位装置(16)，阀板(17)通过连接套(18)、钩头键(19)安装在门阀轴(15)上。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空用旋转门阀，其特征在于，所述的阀板(17)上装有O型密封圈(20)。
3.根据权利要求1所述的一种新型真空用旋转门阀，其特征在于，所述的阀板(17)还通过调节块(21)和定位螺钉(22)设置在门阀轴(15)上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821959709.4U CN209262372U (zh) | 2018-11-26 | 2018-11-26 | 一种新型真空用旋转门阀 |
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| CN201821959709.4U CN209262372U (zh) | 2018-11-26 | 2018-11-26 | 一种新型真空用旋转门阀 |
Publications (1)
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| CN209262372U true CN209262372U (zh) | 2019-08-16 |
Family
ID=67564197
Family Applications (1)
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| CN201821959709.4U Active CN209262372U (zh) | 2018-11-26 | 2018-11-26 | 一种新型真空用旋转门阀 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN209262372U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109296813A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-02-01 | 上海子创镀膜技术有限公司 | 一种新型真空用旋转门阀 |
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2018
- 2018-11-26 CN CN201821959709.4U patent/CN209262372U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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