CN204265845U - 一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置 - Google Patents
一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204265845U CN204265845U CN201420770245.8U CN201420770245U CN204265845U CN 204265845 U CN204265845 U CN 204265845U CN 201420770245 U CN201420770245 U CN 201420770245U CN 204265845 U CN204265845 U CN 204265845U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- thin film
- ito thin
- car body
- magnetron sputtering
- running gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置,是由:车体、上绝缘块、一号磁靴、倒U形磁铁护套、永磁体、下绝缘座、传动导向杆、高度调节槽、夹杆、ITO薄膜安装区构成;车体上方的永磁体与真空室内的永磁体产生相互的吸引力,使车体向上处于悬浮状态,车体携带ITO薄膜沿传动系统传动轮的向前平稳运行,有效地提高了ITO薄膜的电阻率和透过率,保障车体长期使用且不影响正常生产,节省了大量的人力、物力、财力,降低生产成本,保障产品质量,提高产品市场竞争力。
Description
技术领域
本实用新型涉及ITO膜加热装置,尤其是一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置。
背景技术
ITO透明导电膜即掺杂铟锡氧化物薄膜,简称ITO薄膜,是Indium Tin Oxide的缩写。ITO薄膜是一种n型半导体材料,其具有许多优异的物理、化学性能,例如较高的可见光透过率和导电率,与大部分衬底具有良好的附着性,较强的硬度及良好的抗酸、碱及有机溶剂能力,因此,被广泛应用于光电器件中。比如:液晶显示器(LCD),等离子显示器(PDP),电极放光显示器(EL/OLED),触摸屏,太阳能电池及其他电子仪表中。
目前,ITO薄膜的制备方法很多,常见的有:喷涂法、真空蒸发法、化学气相沉积、反应离子注入以及磁控溅射等。在这些制备方法中,目前磁控溅射法是用的最普遍的。由于磁控溅射具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜,因此被广泛应用于显示器件中ITO薄膜的制备。磁控溅射制备ITO薄膜,主要是利用直流(DC)电源在Ar溅射气体和充分氧化Ar/O2混合气体中产生等离子体,对In-Sn合金靶或In2O3,SnO2氧化物靶或陶瓷靶进行轰击,以便在各种衬底上获得ITO薄膜。在制备工艺条件如靶中锡含量、沉积速率、衬底温度、溅射功率、及后续退火处理,都对ITO薄膜的光电特性有极大的影响;但是,现有的技术在玻璃衬底上低温制备ITO薄膜光学性能差,薄膜氧化不完全,结构不完整;尤其在对不同种温度条件下的ITO薄膜晶体结构和电阻,不能准确有效的调节控制温度来控制电阻的均匀性,降低了ITO薄膜的产品质量,以及生产的工作效率,增加了生产成本,影响显示器、及仪器的使用寿命;是本领域生产发展中的瓶颈,不能满足用户和市场的需求。
鉴于上述原因,现有的ITO薄膜加热装置及其方法需要创新。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置,倒U形磁铁护套内的永磁体与真空室内的永磁体产生相互的吸引力,使车体向上处于悬浮状态,车体携带ITO薄膜沿传动系统传动轮的向前平稳运行,有效地提高了ITO薄膜的电阻率和透过率,保障车体长期使用且不影响正常生产,节省了大量的人力、物力、财力,降低生产成本,保障产品质量,提高产品市场竞争力。
本实用新型为了实现上述目的,采用如下技术方案:一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置,是由:车体、上绝缘块、一号磁靴、倒U形磁铁护套、永磁体、下绝缘座、传动导向杆、高度调节槽、夹杆、ITO薄膜安装区构成;车体内设置矩形空腔,车体两侧设置至少两个高度调节槽,相同高度的两个高度调节槽之间设置夹杆;车体上方设置至少五个上绝缘块,下方设置至少五个下绝缘座,上绝缘块的上方与倒U形磁铁护套之间设置一号磁靴,倒U形磁铁护套内设置永磁体,下绝缘座下方设置传动导向杆。
相邻的两根夹杆之间构成ITO薄膜安装区。
所述的上绝缘块的剖面为H形,上绝缘块的上下方分别构成上卡槽与下卡槽,下卡槽与车体上方对应设置,上卡槽与一号磁靴对应设置。
所述的下绝缘座的上方设置U形上卡槽,下方设置弧形凹槽,U形上卡槽与车体下方对应设置,弧形凹槽与传动导向杆对应设置。
所述的永磁体采用3200-4500高斯的钐钴磁铁。
本实用新型的有益效果是:加热的结构及其方法简单,设计科学合理,使用方便、操作容易快捷;确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中,通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度,使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻,电阻率达到2×10-4Ω/cm、透过率达到90%以上;明显提高ITO薄膜的产品质量,大大提高工作效率,节约生产成本,延长使用寿命2倍以上,确实节能环保。
本实用新型经过长期大量实验,优化如靶中锡含量、沉积速率、衬底温度、溅射功率、及后续退火处理等这些工艺参数后,可以获得具有较高的导电率和可见光透过率的优质ITO薄膜。
车体上下方的上绝缘块和下绝缘座使车体与真空室绝缘达到与阴、阳极绝缘,传动导向杆与传动系统传动轮摩擦接触,调整夹杆在高度调节槽内的位置,实现对ITO薄膜安装区的高度进行调节,将ITO薄膜安装在两根夹杆之间并固定,倒U形磁铁护套内的永磁体与真空室内的永磁体产生相互的吸引力,使车体向上处于悬浮状态,车体携带ITO薄膜沿传动系统传动轮的向前平稳运行,有效地提高了ITO薄膜的电阻率和透过率,保障车体长期使用且不影响正常生产,节省了大量的人力、物力、财力,降低生产成本,保障产品质量,提高产品市场竞争力。
本实用新型在玻璃衬底上制备的ITO薄膜的电阻率达到2×10-4Ω/cm和透过率达到90%以上。所以用磁控溅射技术在玻璃衬底上,可以制备出良好ITO透明导电薄膜,在其制备的同时我们对不同基底温度(150℃-350℃)条件下制备薄膜的电阻情况进行了深入研究,现有技术中在玻璃衬底上低温制备ITO薄膜光学性能差的时候,往往笼统的被解释为薄膜氧化不完全,结构不完整,本实用新型经长期大量的实验,因此在对不同种温度条件下的ITO薄膜晶体结构和电阻得出新的研发成果。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
图1是,总装结构示意图;
图2是,侧视结构示意图;
图1、2中:车体1、上绝缘块2、一号磁靴3、倒U形磁铁护套4、永磁体5、下绝缘座6、传动导向杆7、高度调节槽8、夹杆9、ITO薄膜安装区10。
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明:
如图所示,车体1内设置矩形空腔,车体1两侧设置至少两个高度调节槽8,相同高度的两个高度调节槽8之间设置夹杆9;车体1上方设置至少五个上绝缘块2,下方设置至少五个下绝缘座6,上绝缘块2的上方与倒U形磁铁护套4之间设置一号磁靴3,倒U形磁铁护套4内设置永磁体5,下绝缘座6下方设置传动导向杆7。
相邻的两根夹杆9之间构成ITO薄膜安装区10。
所述的上绝缘块2的剖面为H形,上绝缘块2的上下方分别构成上卡槽与下卡槽,下卡槽与车体1上方对应设置,上卡槽与一号磁靴3对应设置。
所述的下绝缘座6的上方设置U形上卡槽,下方设置弧形凹槽,U形上卡槽与车体1下方对应设置,弧形凹槽与传动导向杆7对应设置。
所述的永磁体5采用3200-4500高斯的钐钴磁铁。
Claims (5)
1.一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置,是由:车体(1)、上绝缘块(2)、一号磁靴(3)、倒U形磁铁护套(4)、永磁体(5)、下绝缘座(6)、传动导向杆(7)、高度调节槽(8)、夹杆(9)、ITO薄膜安装区(10)构成;其特征在于:车体(1)内设置矩形空腔,车体(1)两侧设置至少两个高度调节槽(8),相同高度的两个高度调节槽(8)之间设置夹杆(9);车体(1)上方设置至少五个上绝缘块(2),下方设置至少五个下绝缘座(6),上绝缘块(2)的上方与倒U形磁铁护套(4)之间设置一号磁靴(3),倒U形磁铁护套(4)内设置永磁体(5),下绝缘座(6)下方设置传动导向杆(7)。
2.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置,其特征在于:相邻的两根夹杆(9)之间构成ITO薄膜安装区(10)。
3.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置,其特征在于:所述的上绝缘块(2)的剖面为H形,上绝缘块(2)的上下方分别构成上卡槽与下卡槽,下卡槽与车体(1)上方对应设置,上卡槽与一号磁靴(3)对应设置。
4.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置,其特征在于:所述的下绝缘座(6)的上方设置U形上卡槽,下方设置弧形凹槽,U形上卡槽与车体(1)下方对应设置,弧形凹槽与传动导向杆(7)对应设置。
5.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ITO薄膜装载运行装置,其特征在于:所述的永磁体(5)采用3200-4500高斯的钐钴磁铁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420770245.8U CN204265845U (zh) | 2014-11-29 | 2014-11-29 | 一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420770245.8U CN204265845U (zh) | 2014-11-29 | 2014-11-29 | 一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN204265845U true CN204265845U (zh) | 2015-04-15 |
Family
ID=52800723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201420770245.8U Active CN204265845U (zh) | 2014-11-29 | 2014-11-29 | 一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN204265845U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104404473A (zh) * | 2014-11-29 | 2015-03-11 | 洛阳康耀电子有限公司 | 一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置及应用方法 |
-
2014
- 2014-11-29 CN CN201420770245.8U patent/CN204265845U/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104404473A (zh) * | 2014-11-29 | 2015-03-11 | 洛阳康耀电子有限公司 | 一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置及应用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Chu et al. | AZO/Au/AZO tri-layer thin films for the very low resistivity transparent electrode applications | |
Chen et al. | Fabrication of transparent conducting ATO films using the ATO sintered targets by pulsed laser deposition | |
Park et al. | Highly flexible indium zinc oxide electrode grown on PET substrate by cost efficient roll-to-roll sputtering process | |
CN204265845U (zh) | 一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置 | |
CN104318983A (zh) | 一种ito薄膜的制备方法 | |
CN103436844A (zh) | 一种低温沉积柔性基材ito膜镀膜装置及方法 | |
CN104810114A (zh) | 高透光率柔性聚酰亚胺基底ito导电薄膜及其制备方法与应用 | |
CN201924073U (zh) | 一种平面矩形磁控溅射靶装置 | |
CN102094182B (zh) | 一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法 | |
CN204265844U (zh) | 一种磁控溅射镀膜真空室温控门 | |
CN204265838U (zh) | 一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置 | |
CN203487223U (zh) | 一种低温沉积柔性基材ito膜镀膜装置 | |
CN106011760B (zh) | 溅镀装置及溅镀方法 | |
CN102826763A (zh) | 一种生产tco镀膜玻璃的方法 | |
CN104404473A (zh) | 一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮ito薄膜装载运行装置及应用方法 | |
CN204265837U (zh) | 一种ito膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置 | |
CN104404472B (zh) | 一种磁控溅射镀膜真空室温控门及应用方法 | |
CN106024110B (zh) | 一种锡酸锶基柔性透明导电电极及其制备方法 | |
CN201713564U (zh) | Izao透明导电膜 | |
CN104388908A (zh) | 一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置及应用方法 | |
CN102634816B (zh) | 一种纳米氧化铟锡粉的制备方法 | |
Chen et al. | New natively textured surface Al-doped ZnO-TCOs for thin film solar cells via magnetron sputtering | |
CN106367720A (zh) | 一种锡酸镉(cto)薄膜退火方法 | |
CN101101931A (zh) | 近红外高透射率非晶透明导电氧化物薄膜及其制备方法 | |
CN102140623A (zh) | Izao透明导电膜的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |