CN204257609U - 半导体元件分拣转盘 - Google Patents
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Abstract
半导体元件分拣转盘，涉及半导体元件生产设备领域。包括中心支撑柱，中心支撑柱的上端连接有转盘，中心支撑柱内设置有密闭的真空腔，转盘的环周均布有吸气槽，转盘环周的每个吸气槽均与所述真空腔连通，转盘的环周端部设置有与每个吸气槽对应的吸嘴，所述吸嘴与对应转盘上的吸气槽连通；所述转盘上的每个吸气槽的中部均设置有圆形通孔，圆形通孔内穿置有破真空杆，呈上下布置的用于连通和隔断真空的横向通槽和用于向对应吸嘴提供压缩空气的L形吹风槽。本实用新型设置有与压缩空气连通的L形吹风槽，在半导体元件不能正常落下时，通过压缩空气的作用力来放下该元件，提高了设备的工作效率和可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体元件生产设备领域，具体为一种半导体元件分拣转盘。
背景技术
半导体元件分拣转盘的功能是通过吸真空装置将半导体元件吸取，再通过破真空装置将吸取的元件放置于指定的工作工位上；现有分拣转盘存在明显缺陷：半导体元件因为形状各异，体积较小，时会发生被吸取的电气元件在破真空后不能可靠、及时的落下，而影响设备的可靠性和效率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、工作可靠的半导体元件分拣转盘。
实现上述目的的技术方案是：半导体元件分拣转盘，包括中心支撑柱，中心支撑柱的上端连接有转盘，中心支撑柱内设置有密闭的真空腔，中心支撑柱的上端连接有与所述真空腔连通的真空连接管；转盘的环周均布有吸气槽，转盘环周的每个吸气槽均与所述真空腔连通，转盘的环周端部设置有与每个吸气槽对应的吸嘴，所述吸嘴与对应转盘上的吸气槽连通；所述转盘上的每个吸气槽的中部均设置有圆形通孔，圆形通孔内穿置有破真空杆，所述破真空杆的上端设置有支撑在转盘上的台阶，破真空杆上设置有横向通槽，在破真空杆的下方设置有气缸，气缸的活塞杆用于推动破真空杆上下位移，破真空杆处于下方位置时，破真空杆上的横向通槽与对应的吸气槽连通，破真空杆处于上方位置时，破真空杆隔断对应的吸气槽。
所述破真空杆上还设置有吹风槽，破真空杆处于上方位置时，破真空杆吹风槽的一端与对应吸嘴连通，吹风槽的另一端连通压缩空气。
本实用新型的有益效果：
1、本实用新型通过气缸推动破真空杆的上下位移，来控制中心支撑柱内的真空腔与吸嘴之间的通断，结构简单，工作可靠。
2、本实用新型在破真空杆上还设置有连通吸嘴的吹风槽，吹风槽与压缩空气连通，在半导体元件不能正常落下时，通过压缩空气的作用力来放下该元件，提高了设备的工作效率和可靠性。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型通真空状态的局部示意图；
图3为本实用新型破真空状态的局部示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型包括中心支撑柱1，中心支撑柱1的上端连接有转盘2，转盘2上端的中心位置设置有真空盖板3，真空盖板3与中心支撑柱1形成密闭的真空腔4，中心支撑柱1的上端连接有与真空腔4连通的真空连接管5。
转盘2的环周均布有吸气槽6，转盘2环周的每个吸气槽6均与真空腔4连通，转盘2的环周端部设置有与每个吸气槽6对应的吸嘴7，吸嘴7与对应转盘2上的吸气槽6连通。
转盘2上的每个吸气槽6的中部均设置有圆形通孔8，圆形通孔8内嵌套有衬套9，衬套9内穿置有破真空杆10，破真空杆10的上端设置有支撑在转盘2上的台阶，破真空杆10上设置有呈上下布置的横向通槽11和L形吹风槽12，在破真空杆10的下方设置有气缸13，气缸13的活塞杆端连接有破真空顶块14，破真空顶块14上部中心位置设置有与L形吹风槽12的垂直段同轴线的圆形孔15，破真空顶块14侧壁上还开有连通圆形孔15的压缩空气连接孔16。
本实用新型的工程过程：
如图2所示，吸取半导体元件时，气缸13不工作，破真空杆10处于下方位置，破真空杆10上的横向通槽11与对应的吸气槽6连通，吸嘴7吸取半导体元件。
如图3所示，放下吸取的半导体元件时，气缸13活塞杆端部的破真空顶块14带动破真空杆10上行，破真空杆10上的L形吹风槽12的水平段与连接吸嘴7一端的吸气槽6连通，并隔断吸嘴7与真空腔4之间的连通，吸嘴7放下吸取的半导体元件。当因各种原因，在破真空杆10隔断吸嘴7与真空腔4之间的连通后，而吸嘴7吸取的半导体元件未落下时，在破真空顶块14侧壁的压缩空气连接孔16通入压缩空气，通过压缩空气的作用力使半导体元件落下。
Claims (2)
1.半导体元件分拣转盘，包括中心支撑柱，中心支撑柱的上端连接有转盘，中心支撑柱内设置有密闭的真空腔，中心支撑柱的上端连接有与所述真空腔连通的真空连接管；转盘的环周均布有吸气槽，转盘环周的每个吸气槽均与所述真空腔连通，转盘的环周端部设置有与每个吸气槽对应的吸嘴，所述吸嘴与对应转盘上的吸气槽连通；其特征在于：所述转盘上的每个吸气槽的中部均设置有圆形通孔，圆形通孔内穿置有破真空杆，所述破真空杆的上端设置有支撑在转盘上的台阶，破真空杆上设置有横向通槽，在破真空杆的下方设置有气缸，气缸的活塞杆用于推动破真空杆上下位移，破真空杆处于下方位置时，破真空杆上的横向通槽与对应的吸气槽连通，破真空杆处于上方位置时，破真空杆隔断对应的吸气槽。
2.根据权利要求1所述的半导体元件分拣转盘，其特征在于：所述破真空杆上还设置有吹风槽，破真空杆处于上方位置时，破真空杆吹风槽的一端与对应吸嘴连通，吹风槽的另一端连通压缩空气。
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Publications (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108572295A (zh) * | 2018-07-03 | 2018-09-25 | 广东华测检测机器人股份有限公司 | 一种排线软板类通用型测试机 |
| CN109625961A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-16 | 江苏信息职业技术学院 | 转盘式集成电路芯片搬运装置用真空分配模块及搬运装置 |
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2014
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| CN108572295A (zh) * | 2018-07-03 | 2018-09-25 | 广东华测检测机器人股份有限公司 | 一种排线软板类通用型测试机 |
| CN108572295B (zh) * | 2018-07-03 | 2024-04-19 | 广东华测检测机器人股份有限公司 | 一种排线软板类通用型测试机 |
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