CN204257586U - 一种可切换双腔体的反应腔 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种可切换双腔体的反应腔，包括双腔体的反应腔，反应腔内设有控制单元以及可移动的隔板，控制单元用于控制隔板的移动，以使隔板将反应腔分割成第一反应腔以及第二反应腔；反应腔的一端连接气体输送系统以及气体控制阀；反应腔的另一端连接真空抽气系统以及真空控制阀。本实用新型通过在双腔体的反应腔中设置可移动的隔板，使反应腔分成两个单腔体，两个单腔体的一端分别连接气体输送系统从而分别对单腔体输送气体，两个单腔体的另一端分别连接真空抽气系统从而分别使单腔体排空气体，本实用新型可灵活切换单腔体和双腔体，避免了生产资源的浪费，提高了生产效率，降低成本。

Description

一种可切换双腔体的反应腔

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种可切换双腔体的反应腔。

背景技术

在半导体集成电路制造领域中，芯片生产工艺流程中有很多的工艺加工设备是腔体设备，例如刻蚀设备、物理气相沉积设备、化学气相沉积设备等工艺设备。现有的反应腔体通常包括单腔体以及双腔体，单腔体为单片晶圆开发模式，双腔体可同时进行双片晶圆开发模式，双腔体可提高工艺加工的效率。

在实际的生产过程中，工作人员需要根据不同需求改变工艺流程，在需要产能提高的时期，通常采用双腔体作业，而在开发调试新程式时，只要对单腔体进行调试，因此，当工作人员采用双腔体作业时，单腔体处于闲置状态，而工作人员采用单腔体作业时，双腔体处于闲置状态，从而导致有限的资源得不到充分利用，存在资源浪费的现象。

综上，在生产资源成本提高的前提下,有必要对有限的设备资源加以充分利用，提高生产效率，节约成本；因此，对现有的双腔体的反应腔加以改进，使其在单腔体和双腔体之间实现快速切换成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种可在单腔体和双腔体之间快速切换的反应腔，以充分利用生产资源。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种可切换双腔体的反应腔，包括双腔体的反应腔，所述反应腔内设有控制单元以及可移动的隔板，所述控制单元用于控制所述隔板的移动，以使所述隔板将所述反应腔分割成第一反应腔以及第二反应腔；所述反应腔的一端连接气体输送系统，所述气体输送系统包括与第一反应腔连通的第一气体输送管道，以及与第二反应腔连通的第二气体输送管道；其中，所述第一气体输送管道以及第二气体输送管道上均设有气体控制阀；所述反应腔的另一端连接真空抽气系统，所述真空抽气系统包括与第一反应腔连通的第一真空抽气管道，以及与第二反应腔连通的第二真空抽气管道；其中，所述第一真空抽气管道以及第二真空抽气管道上均设有真空控制阀。

优选的，所述反应腔内设有可升降的隔板，且所述隔板的高度与所述反应腔的高度相等；其中，当所述隔板上升至其底部与所述反应腔的顶部平齐时，所述反应腔为双腔体，当所述隔板下降至其底部与所述反应腔的底部平齐时，所述反应腔分割成第一反应腔以及第二反应腔。

优选的，所述第一反应腔的空间与第二反应腔的空间相等。

优选的，所述第一真空抽气管道与所述第二真空抽气管道并联于主真空抽气管道，所述主真空抽气管道上设有真空分子泵。

优选的，所述主真空抽气管道还设有用于调节气压的压力伺服装置。

优选的，所述第一真空抽气管道与所述第二真空抽气管道上均设有真空分子泵。

优选的，所述第一真空抽气管道与所述第二真空抽气管道上均设有用于调节气压的压力伺服装置。

优选的，所述第一气体输送管道与第二气体输送管道并联于主气体输送管道。

优选的，所述第一反应腔以及第二反应腔内均设有晶圆承载位。

优选的，所述晶圆承载位上设有用于固定晶圆的夹紧件。

本实用新型提供可切换双腔体的反应腔，通过在双腔体的反应腔中设置可移动的隔板，使反应腔分成两个单腔体，两个单腔体的一端分别连接气体输送系统从而分别对单腔体输送气体，两个单腔体的另一端分别连接真空抽气系统从而分别使单腔体排空气体，本实用新型可灵活切换单腔体和双腔体，避免了生产资源的浪费，提高了生产效率，降低成本。

附图说明

图1为本实用新型优选实施例中可切换双腔体的反应腔的结构示意图。

[附图中的标记]：

10、反应腔；20、控制单元；30、隔板；40、第一反应腔；50、第二反应腔；60、气体输送系统；61、第一气体输送管道；62、第二气体输送管道；70、气体控制阀；80、真空抽气系统；81、第一真空抽气管道；82、第二真空抽气管道；90、真空控制阀；100、真空分子泵；110、压力伺服装置；120、主气体输送管道；130、晶圆承载位；140、主真空抽气管道。

具体实施方式

为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。

需要说明的是，在下述的实施例中，利用图1的结构示意图对按本实用新型可切换双腔体的反应腔进行了详细的表述。在详述本实用新型的实施方式时，为了便于说明，各示意图不依照一般比例绘制并进行了局部放大及省略处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定。

请参考图1，图1为本实用新型优选实施例中可切换双腔体的反应腔的结构示意图。本实用新型提供一种可切换双腔体的反应腔，包括双腔体的反应腔10，反应腔10内设有控制单元20以及可移动的隔板30，控制单元20用于控制隔板30的移动，以使隔板30将反应腔10分割成第一反应腔40以及第二反应腔50。本实用新型通过在双腔体的反应腔10中设置可移动的隔板30，使反应腔10分成两个单腔体。

具体的，本实施例中，反应腔10内设有可升降的隔板30，且隔板30的高度与反应腔10的高度相等；其中，当隔板30上升至其底部与反应腔10的顶部平齐时，反应腔10为双腔体，当隔板30下降至其底部与反应腔10的底部平齐时，反应腔10被分割成第一反应腔40和第二反应腔50。较佳的，第一反应腔40的空间与第二反应腔50的空间相等。

值得说明的是，本实用新型中隔板30的设置可为一体结构，也可为两块或两块以上的隔板30组成，可做升降运动也可做水平运动或其他方向的运动，本实用新型通过隔板30的移动，实现反应腔10分成两个单腔体，均在本实用新型保护的范围内。

同时，本实施例中反应腔10的一端连接气体输送系统60，气体输送系统60包括与第一反应腔40连通的第一气体输送管道61，以及与第二反应腔50连通的第二气体输送管道62；其中，第一气体输送管道61以及第二气体输送管道62上均设有气体控制阀70；较佳的，第一气体输送管道61与第二气体输送管道62并联于主气体输送管道120。通过在反应腔10的一端设置气体输送系统60，从而对反应腔10内的晶圆实现工艺加工。

本实施例中，反应腔10的另一端连接真空抽气系统80，真空抽气系统80包括与第一反应腔40连通的第一真空抽气管道81，以及与第二反应腔50连通的第二真空抽气管道82；其中，第一真空抽气管道81以及第二真空抽气管道82上均设有真空控制阀90。通过在反应腔10的另一端设置真空抽气系统80，从而对晶圆工艺前预先抽空腔体内的气体，使腔体保持高真空的状态，以保证晶圆加工条件。

优选方案中，第一真空抽气管道81与第二真空抽气管道82并联于主真空抽气管道140，主真空抽气管道140上设有真空分子泵100以及用于调节气压的压力伺服装置110。

同样，第一真空抽气管道81与第二真空抽气管道82上也可均设真空分子泵100以及用于调节气压的压力伺服装置110。

此外，第一反应腔40以及第二反应腔50内均设有晶圆承载位130用于承载晶圆，晶圆承载位130上设有用于固定晶圆的夹紧件。

综上所述，本实用新型提供可切换双腔体的反应腔，通过在双腔体的反应腔10中设置可移动的隔板30，使反应腔10分成两个单腔体，两个单腔体的一端分别连接气体输送系统60从而分别对单腔体输送气体，两个单腔体的另一端分别连接真空抽气系统80从而分别使单腔体排空气体，本实用新型可灵活切换单腔体和双腔体，避免了生产资源的浪费，提高了生产效率，降低成本。

以上所述仅是实用新型的优选实施方式的描述，应当指出，由于文字表达的有限性，而在客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种可切换双腔体的反应腔，包括双腔体的反应腔，其特征在于，所述反应腔内设有控制单元以及可移动的隔板，所述控制单元用于控制所述隔板的移动，以使所述隔板将所述反应腔分割成第一反应腔以及第二反应腔；

所述反应腔的一端连接气体输送系统，所述气体输送系统包括与第一反应腔连通的第一气体输送管道，以及与第二反应腔连通的第二气体输送管道；其中，所述第一气体输送管道以及第二气体输送管道上均设有气体控制阀；

所述反应腔的另一端连接真空抽气系统，所述真空抽气系统包括与第一反应腔连通的第一真空抽气管道，以及与第二反应腔连通的第二真空抽气管道；其中，所述第一真空抽气管道以及第二真空抽气管道上均设有真空控制阀。

2.根据权利要求1所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述反应腔内设有可升降的隔板，且所述隔板的高度与所述反应腔的高度相等；其中，当所述隔板上升至其底部与所述反应腔的顶部平齐时，所述反应腔为双腔体，当所述隔板下降至其底部与所述反应腔的底部平齐时，所述反应腔分割成第一反应腔以及第二反应腔。

3.根据权利要求2所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述第一反应腔的空间与第二反应腔的空间相等。

4.根据权利要求1所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述第一真空抽气管道与所述第二真空抽气管道并联于主真空抽气管道，所述主真空抽气管道上设有真空分子泵。

5.根据权利要求4所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述主真空抽气管道还设有用于调节气压的压力伺服装置。

6.根据权利要求1所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述第一真空抽气管道与所述第二真空抽气管道上均设有真空分子泵。

7.根据权利要求6所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述第一真空抽气管道与所述第二真空抽气管道上均设有用于调节气压的压力伺服装置。

8.根据权利要求1～7任一所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述第一气体输送管道与第二气体输送管道并联于主气体输送管道。

9.根据权利要求1～7任一所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述第一反应腔以及第二反应腔内均设有晶圆承载位。

10.根据权利要求9所述的可切换双腔体的反应腔，其特征在于，所述晶圆承载位上设有用于固定晶圆的夹紧件。