CN204214823U

CN204214823U - 检测sf6分解产物的色谱仪

Info

Publication number: CN204214823U
Application number: CN201420485067.4U
Authority: CN
Inventors: 王宇; 方华; 李丽
Original assignee: Electric Power Research Institute of Guangdong Power Grid Co Ltd
Current assignee: Electric Power Research Institute of Guangdong Power Grid Co Ltd
Priority date: 2014-08-26
Filing date: 2014-08-26
Publication date: 2015-03-18
Anticipated expiration: 2024-08-26

Abstract

本实用新型公开了一种检测SF₆分解产物的色谱仪，包括进样通道、色谱柱组、阀组、第一PDD检测器和第二PDD检测器；其中，所述色谱柱组至少包括六根色谱柱，分别为Takey A柱、Takey B柱、Takey C柱、第一Porapak Q柱、第二Porapak Q柱以及13X分子筛柱；所述阀组包括至少五个多通阀，分别为第一阀、第二阀、第三阀、第四阀以及第五阀。本实用新型全面准确的对SF₆分解产物进行分析，从而准确判断SF₆气体绝缘设备内部运行情况，保障电气设备安全运行。

Description

检测SF6分解产物的色谱仪

技术领域

本实用新型涉及分析检测领域，特别是涉及一种检测SF₆分解产物的色谱仪。

背景技术

六氟化硫(SF₆)在常温常压下是一种无色、无味、无毒、不燃、化学性质极稳定的合成气体。SF₆的分子为单硫多氟的对称结构，具有极强的电负性，赋予它优良的电绝缘和灭弧性能。目前，SF₆作为新一代的绝缘介质，被广泛应用于高压、超高压电气设备中。充装SF₆的电气设备占地面积少、运行噪声小，无火灾危险，极大地提高了电气设备运行的安全可靠性。

SF₆气体在过热、电弧、电火花和电晕放电的作用下，会发生分解，其分解产物还可与设备中的微量水分、电极和固体绝缘材料发生反应，其产物比较复杂，有气体杂质，如四氟化碳(CF₄)、氟化硫酰(SO₂F₂)、氟化亚硫酰(SOF₂)、二氧化硫(SO₂)等，还有一些固体杂质，如氟化铝(AlF₃)、氟化钨(WF₆)等,具体分解途径如图9所示。

对于运行中的电气设备，判断其设备内部运行状态相对困难，通过分析检测SF₆气体的分解产物是判断SF₆气体绝缘设备内部运行情况的一个强有力手段。近年来，广东省通过检测SF₆气体中CF₄和SO₂等分解产物的含量已经成功判断了多起电气设备故障。根据以往研究经验和实际工作，通过SF₆气体的分解产物SO₂F₂、SOF₂、CS₂、SCO等分解产物可以有效判断SF₆气体绝缘设备内部运行情况，同时，通过H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CO₂、C₂F₆等杂质的含量也可以有效判断SF6气体绝缘设备内部运行情况，本方法的提出为成功判断电气设备故障的一个强有力手段。

传统色谱分析仪采用单柱来对SF₆分解产物进行分离和测试，利用TCD和 FDP串连检测器对SF₆分解产物进行分析，但依靠单柱分离并不能有效分析H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CO₂、COS、H₂S、SOF₂、CS₂等化合物，而这些化合物对电气设备内部的运行状态判断是非常重要的。并且利用TCD-FPD串联的检测器也有缺点，TCD灵敏度低，检出限高，不能够用来检测低含量的分解产物；FPD检测器由于其并不是线性检测器，在定量时容易造成误差较大，定量不准确。

本发明人前期发明了一种利用四阀四柱联用分析SF₆分解产物的色谱仪(以下简称为前期发明)，其相较传统的色谱仪，可分离出多种传统色谱仪所不能分离的化合物，且分离效果更好，但是部分目标化合物的保留时间较为相近，仍有改进的空间。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种检测SF₆分解产物的色谱仪，其对SF₆分解产物的分离效果更好，定量定性分析更准确。

为实现以上技术效果，具体技术方案如下：

一种检测SF₆分解产物的色谱仪，包括进样通道、色谱柱组、阀组、第一PDD检测器和第二PDD检测器；其中，所述色谱柱组至少包括六根色谱柱，分别为Takey A柱、Takey B柱、Takey C柱、第一Porapak Q柱、第二Porapak Q柱以及13X分子筛柱；所述阀组包括至少五个多通阀，分别为第一阀、第二阀、第三阀、第四阀以及第五阀；

所述进样通道依次通过所述第一阀、所述Takey C柱及所述第四阀与所述第二PDD检测器连接并形成第一检测通道；

所述进样通道依次通过所述第一阀、所述Takey A柱、所述第三阀、所述Takey B柱及所述第四阀与所述第二PDD检测器连接并形成第二检测通道；

所述进样通道依次通过所述第一阀、所述第二阀、所述第一Porapak Q柱、第二Porapak Q柱及所述第五阀与所述第一PDD检测器连接并形成第三检测通道；

所述进样通道依次通过所述第一阀、所述第二阀、所述第一Porapak Q柱以及所述13X分子筛柱与所述第一PDD检测器连接并形成第四检测通道。

在其中一些实施例中，还包括载气通道及第六阀；所述载气通道通过所述第六阀与所述第一阀、所述第二阀及所述第三阀分别连接。

在其中一些实施例中，所述载气通道通过所述第六阀与所述第一PDD检测器及所述第二PDD检测器分别连接。

本实用新型通过阀的切换进行切割组分分离控制，其中第一阀和第二阀为十通阀，第三阀和第四阀为六通阀，第五阀为电磁阀，第六阀为四通阀。第一、二、三、四、五阀用来实现色谱柱之间的切换，而第六阀主要用来保证在关机时，色谱柱和管路中保持He(充满氦气)状态，避免下次开机，稳定时间过长。

本实用新型还设有两个PDD检测器分别对分离后的样品进行检测分析，其中所述第一PDD检测器用来检测H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CF₄、CO₂、C₂F₆；所述第二PDD检测器用来检测SO₂F₂、H₂S、C₃F₈、COS、SOF₂、SO₂、CS₂。

在其中一些实施例中，还包括设在所述第一检测通道上的第一定量管，所述第一定量管的两端与所述第一阀连接，所述第一阀通过所述第一定量管与所述Takey C柱连通。

在其中一些实施例中，还包括设在所述第二检测通道上的第二定量管，所述第二定量管的两端与所述第一阀连接，所述第一阀通过所述第二定量管与所述Takey A柱连通。

在其中一些实施例中，还包括第三定量管，所述第三定量管的两端与所述第二阀连接，所述第二阀通过所述第三定量管与所述第一Porapak Q柱连通。

上述三个定量管的作用都是用以控制进样，气体样品在初始状态进入定量管，进入分析程序后，再通过三个定量管分别进入不同色谱柱进行分析。

在其中一些实施例中，所述第一Porapak Q柱的两端分别与所述第二阀连接。

在其中一些实施例中，所述第一Porapak Q柱为长4m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的Porapak Q；所述第二Porapak Q柱为长2m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的Porapak Q。

在其中一些实施例中，所述13X分子筛柱为长4m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.30mm～0.60mm的涂有癸二酸二异辛酯的13X分子筛柱。

本实用新型通过Takey A柱和Takey B柱联用，分析SO₂F₂、H₂S、C₃F₈、COS、SOF₂；通过Takey C柱分析CS₂和SO₂；通过第一Porapak Q柱和13X分子筛柱联用，分析H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CF₄；通过第一Porapak Q柱和第二Porapak Q柱联用，分析CO₂和C₂F₆。发明人依据长久的经验积累以及大量的实验，优选出上述色谱柱，其中Takey A柱和Takey B柱联用，可以避免SO₂的拖尾现象，同时，可以使SO₂F₂、C₃F₈、H₂S的分离效果更好，还可以使SOF₂和SO₂的分离效果更好。

本实用新型相较现有技术的优点及有益效果为：

本实用新型通过多位发明人多年的研究和大量的实验，确定了本实用新型，通过六阀六柱联合可以实现不同组分间的分离，除了能够同时准确检测传统分析仪不能准确检测的SF₆分解产物，如H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CO₂、COS、H₂S、SOF₂、CS₂等化合物，还解决了SO₂F₂和H₂S以及SOF₂和SO₂保留时间过于相近的问题，大大增加了对最终目标化合物的判断的准确性，而且本实用新型所得色谱图中SO₂的峰形无拖尾，进一步提高了对SO₂定量定性的准确度，本实用新型全面准确的对SF₆分解产物进行分析，从而准确判断SF₆气体绝缘设备内部运行情况，保障电气设备安全运行。

附图说明

图1为本实用新型检测SF₆分解产物的色谱仪中的阀及柱连接图(6个阀均为关闭状态)；附图标记说明：101：Takey A柱；102：Takey B柱；103：Takey C柱；104：第一Porapak Q柱；105：13X分子筛柱；106：第二Porapak Q柱；201：第一阀；202：第二阀；203：第三阀；204：第四阀；205：第五阀；206：第六阀；301:第一PDD检测器；302：第二PDD检测器；401：第一定量管；402：第二定量管；403：第三定量管；501：进样通道；502：载气通道；601：气路孔；602：气路；

图2为本实用新型检测SF₆分解产物的色谱仪中的阀及柱连接图(6个阀均为开启状态)；

图3为实施例1中第一PDD检测器所得的色谱图，从左到右，出峰物质分别为H₂(1.85min)、O₂(2.33min)、N₂(2.48min)、CO(3.06min)、CH₄(3.50min)、CF₄(4.07min)、CO₂(4.51min)、C₂F₆(5.79min)；

图4为实施例1中第二PDD检测器所得的色谱图，从左到右，出峰物质分别为SO₂F₂(2.76min)、H₂S(3.37min)、C₃F₈(3.71min)、COS(4.42min)、SOF₂(5.34min)、SO₂(9.61min)、CS₂(14.32min)；

图5为前期发明(四阀四柱联用色谱仪)分析所得色谱图(COS+H₂S+CS₂)；

图6为前期发明(四阀四柱联用色谱仪)分析所得色谱图(SO₂F₂+C₃F₈)；

图7为前期发明(四阀四柱联用色谱仪)分析所得色谱图(SO₂)；

图8为传统单柱分离色谱仪分析所得色谱图；

图9为SF₆气体在过热、电弧、电火花和电晕放电的作用下的分解反应示意图。

具体实施方式

以下结合实施例和附图进一步说明本实用新型，但本实施例不能用以限制本实用新型的保护范围。

以下实施例中所用色谱柱(包括Takey A柱、Takey B柱、Takey C柱、第一Porapak Q柱、第二Porapak Q柱以及13X分子筛柱)的供应商为：上海华爱色谱有限公司。

实施例1

一种检测SF₆分解产物的色谱仪，如图1、2所示，包括进样通道501、色谱柱组、阀组、第一PDD检测器301以及第二PDD检测器302；其中，所述色谱柱组至少包括六根色谱柱，分别为Takey A柱101(长2m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的高分子聚合物)、Takey B柱102(长2m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的高分子聚合物)、Takey C柱103(长2m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的高分子聚合物)、第一Porapak Q柱104(长4m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的Porapak Q)、第二Porapak Q柱106(长2m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的Porapak Q)以及13X分子筛柱105(长4m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.30mm～0.60mm的涂有癸二酸二异辛酯的13X分子筛柱)；

阀组包括至少五个多通阀，分别为第一阀201、第二阀202、第三阀203、第四阀204以及第五阀205；

进样通道501依次通过第一阀201、Takey C柱103及第四阀204与第二PDD检测器302连接并形成第一检测通道；

进样通道501依次通过第一阀201、Takey A柱101、第三阀203、Takey B柱102及第四阀204与第二PDD检测器302连接并形成第二检测通道；

进样通道501依次通过第一阀201、第二阀202、第一Porapak Q柱104、第二Porapak Q柱106及第五阀205与第一PDD检测器301连接并形成第三检测通道；

进样通道501依次通过第一阀201、第二阀202、第一Porapak Q柱104以及13X分子筛柱105与第一PDD检测器301连接并形成第四检测通道。

本实用新型还包括载气通道502及第六阀206；载气通道502通过第六阀206与第一阀201、第二阀202及第三阀203分别连接；载气通道502通过第六阀206与第一PDD检测器301及第二PDD检测器302分别连接。

本实用新型还包括第一定量管401、第二定量管402以及第三定量管403，第一定量管401设在第一检测通道上，第一定量管401的两端与第一阀201连接，第一阀201通过第一定量管401与Takey C柱103连通；第二定量管402设在第二检测通道上，第二定量管402的两端与第一阀201连接，第一阀201通过第二定量管402与Takey A柱101连通；第三定量管403的两端与第二阀202连接，第二阀202通过第三定量管403与第一Porapak Q柱104连通，上述三个定量管的作用都是用以控制进样，气体样品在初始状态进入定量管，进入分析程序后，再通过三个定量管分别进入不同色谱柱进行分析；第一Porapak Q柱104的两端分别与第二阀202连接。

本实用新型两个PDD检测器分别对分离后的样品进行检测分析，其中第一PDD检测器301用来检测H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CF₄、CO₂、C₂F₆；第二PDD检测器302用来检测SO₂F₂、H₂S、C₃F₈、COS、SOF₂、SO₂、CS₂。

本实用新型通过六个色谱柱联用的作用为对样品进行组分分离，通过阀的切换进行切割组分分离控制，其中第一阀201和第二阀202为十通阀，第三阀203和第四阀204为六通阀，第五阀205为电磁阀，第六阀206为四通阀，第一、二、三、四、六阀均为气动阀。第一、二、三、四、五阀用来实现色谱柱之间的切换，而第六阀206主要用来保证在关机时，色谱柱和管路中保持He(充满氦气)状态，避免下次开机，稳定时间过长。色谱仪中的各阀以及色谱柱通过气路602连接，各个阀上设置有气路孔601(十通阀上有十个气路孔，八通阀上有八个气路孔，四通阀上有四个气路孔)用以连接气路602。

图1所示为6个阀的初始状态(即为关闭状态)，所有的阀动作一次即为开启状态，开启状态是指阀内的连接管路完全转换，原来连通的变为不连通，原来不连通的变为连通，外部的气路602不变(如图2所示)，再动作一次即回复图1的初始状态，即关闭状态。所有阀均可单一动作，各个阀间的动作与否不受其它阀影响，阀的切换程序见表1：

表1阀的切换程序(单位：分钟)

开启/关闭	第一阀	第二阀	第三阀	第四阀	第五阀
						开启	0.0	0.0	0.0	5.8	11.5
关闭	1.0	1.5	0.8	20	16.0
						开启	-	-	1.2	-	-
关闭	-	-	20.0	-	-

由上表可知，六个阀的起始状态均为关闭，其中第一阀201为：0min，第一阀201开启；1min，第一阀201关闭；第二阀202为：0min，第二阀202开启；1.5min，第二阀202关闭；第三阀203为：0.0min，第三阀203开启；0.8min，第三阀203关闭；1.2min，第三阀203开启；20.0min，第三阀203关闭；第四阀204为：5.8min，第四阀204开启；20.0min，第四阀204关闭；第五阀205为：11.5min，第五阀205开启；16.0min，第五阀205关闭；第六阀206在整个分析检测过程开始前开启，在整个分析检测过程结束后关闭。载气从载气入口502进入第六阀206，并通过第六阀206输送到第一阀201、第二阀202、第三阀203，图1、2中的箭头方向为载气运输的方向。

利用本实用新型进行分析检测过程的检测参数为：载气：氦气，纯度≥99.9999％，输出压力为0.6Mpa；驱动气：空气/氮气，驱动气输出压力为0.4Mpa，进样压力：0.18Mpa；所述第一PDD检测器301和第二PDD检测器302的温度均为180℃。

六根色谱柱均采用恒温控制，其中，柱Takey A柱101、Takey C柱103温度为120℃，Takey B柱102温度为60℃，第一Porapak Q柱104以及第二Porapak Q柱106温度为50℃，13X分子筛柱105温度为70℃。

具体检测步骤如下：如图1、2所示，第一阀201、第二阀202和第五阀205用来控制第一PDD检测气路(包括第三检测通道、第四检测通道)，配合第三定量管403、第一Porapak Q柱104、13X分子筛柱105、和第二Porapak Q柱106使用。

初始状态为进样(关闭)状态，待测气体通过进样通道501、第一阀201、第二阀202进入第三定量管403；0min，第二阀202开启，第三定量管403中的样品被载气吹入第一Porapak Q柱104，后进入13X分子筛柱105分离，再进入第一PDD检测器301分析，此时的测出的目标化合物为H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CF₄；1.5min，第二阀202再次动作，此时第二阀状态恢复为关闭，此时，载气继续将残留在第一Porapak Q柱104中的物质吹入第二Porapak Q柱106，进一步分离，后进入第一PDD检测器301进行检测，主要目标化合物为CO₂和C₂F₆。第五阀205的初始状态为关闭状态，在11.5min动作，开启，作用是使大量的SF₆本底放空，16min恢复原状，即关闭状态。

第一阀201、第三阀203、第四阀204用来控制第二PDD检测气路(包括第一检测通道、第二检测通道)，配合第一定量管401、第二定量管402、TakeyA柱101、Takey B柱102和Takey C柱103使用，其中，第一阀201主要用来控制样品是否进入第一定量管401和第二定量管402，第三阀203主要用来控制Takey A柱101是否和Takey B柱102联通，第四阀204主要用来控制目标化合物是否进入第二PPD检测器302，或哪路气体进入第二PPD检测器302进行分析检测。

初始状态为进样(关闭)状态，待测样品气体从进样通道501通过第一阀201进入第一定量管401和第二定量管402；0min，第一阀201开启，第一定量管401中的样品被载气吹入Takey C柱103分离，第二定量管402中的样品被吹入TakeyA柱101分离；1min，第一阀201再次动作，恢复关闭；0min，第三阀203开启，TakeyA柱101是一根预分离柱(TakeyA柱101与Takey B柱102相互配合，TakeyA柱101先进行预先分离)，可以实现SF₆本底和目标化合物的分离，第三阀203开启可使最先出峰的SF₆本底被排空中，不进入第二PDD检测器302，以免过量SF₆气体污染检测器；0.8min，第三阀203关闭，此时，残留于TakeyA柱101中的目标化合物被载气吹入TakeyB柱102分离；1.2min，第三阀203开启，此时，TakeyA柱101中的其它化合物被排空；20min，第三阀203再次动作，恢复关闭状态。第四阀204位于初始状态(关闭)时，TakeyB柱102中的目标化合物进入第二PDD检测器302进行分析检测，此时，被检测出的目标化合物主要有SO₂F₂、H₂S、C₃F₈、COS、SOF₂；5.8min，第四阀204开启，此时，TakeyC柱103中的目标化合物进入第二PDD检测器302进行分析，被检测出的目标化合物主要有CS₂和SO₂；20min，第四阀204关闭，恢复原状。

图3和图4为本实施例所得的色谱图，图3为第一PDD检测器301所分析得到的色谱图，从图中可以看出，可以完全分离H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CF₄、CO₂、C₂F₆，各目标化合物的保留时间如表2所示。图4为第二PDD检测器302所分析得到的色谱图，可以完全分离SO₂F₂、H₂S、C₃F₈、COS、SOF₂、SO₂、CS₂，各目标化合物的保留时间如表3所示。

图5-图7为发明人前期发明所得的色谱图，从图中可以看出，部分化合物的分离效果不是太好，如图6中SO₂F₂和C₃F₈的保留时间相近，分离度不高，图7所示的SO₂的峰型存在明显的拖尾现象。

而图8为采用传统单柱分离色谱仪分析所得的色谱图，能够分离空气、CF₄、CO₂、SF₆、SO₂F₂、SOF₂、H₂O和SO₂，其中SF₆和SO₂F₂的分离效果也不太好，且依靠单柱分离并不能有效分析H₂、O₂、N₂、CO、CH₄、CO₂、COS、H₂S、CS₂等化合物，不能实现本实用新型的效果。

下列表1和表2分别为实施例1两个PDD检测器所测得的15种分解产物具体保留时间，以及采用发明人前期发明所测得的15种分解产物具体保留时间：

表2保留时间(第一PDD检测器)

表3保留时间(第二PDD检测器)

由表2、3可以看出，同前期发明相比，本实用新型的分离效果更好，表2和表3列出了两种方法保留时间的差异。从表2和表3中可以看出，前期发明的方法有部分目标化合物间的保留时间较相近，如SO₂F₂和H₂S的保留时间分别为6.58和6.44分钟(色谱图可参见图5和图6)，SO₂F₂和C₃F₈的保留时间分别为6.58和6.81分钟(色谱图可参见图6)，SOF₂和SO₂的保留时间分别为14.50和14.64分钟，不同目标化合物间保留时间相近，可能会导致目标化合物的误判和错判，在SF₆电气设备状态诊断中，SO₂F₂、H₂S、SOF₂和SO₂四种物质特别重要，利用前期发明的方法定性定量这四种物质，需要分析人员非常熟练的技巧才能准确识别；本实用新型则解决了这个问题，利用本实用新型分析SF₆分解产物，SO₂F₂和H₂S的保留时间分别为2.76和3.37分钟，SO₂F₂和C₃F₈的保留时间分别为2.76和3.71分钟，SOF₂和SO₂的保留时间分别为5.34和9.61分钟，几种物质的保留时间之间相差超过0.6分钟，不会造成不同目标化合物的错判和误判。同时，比较图4和图7，本实用新型较之前的前期发明，SO₂的拖尾现象得到了有效的解决，前期的发明中，主要通过Gaspro毛细管柱分析SO₂组分，该柱分析SO₂会导致峰拖尾的现象产生，而本实用新型主要通过Takey C柱来分析SO₂组分，可以避免SO₂峰拖尾现象的产生。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，包括进样通道、色谱柱组、阀组、第一PDD检测器和第二PDD检测器；其中，所述色谱柱组至少包括六根色谱柱，分别为Takey A柱、Takey B柱、Takey C柱、第一Porapak Q柱、第二Porapak Q柱以及13X分子筛柱；所述阀组包括至少五个多通阀，分别为第一阀、第二阀、第三阀、第四阀以及第五阀；

2.根据权利要求1所述的检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，还包括载气通道及第六阀；所述载气通道通过所述第六阀与所述第一阀、所述第二阀及所述第三阀分别连接。

3.根据权利要求2所述的检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，所述载气通道通过所述第六阀与所述第一PDD检测器及所述第二PDD检测器分别连接。

4.根据权利要求1～3任一项所述的检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，还包括设在所述第一检测通道上的第一定量管，所述第一定量管的两端与所述第一阀连接，所述第一阀通过所述第一定量管与所述Takey C柱连通。

5.根据权利要求1～3任一项所述的检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，还包括设在所述第二检测通道上的第二定量管，所述第二定量管的两端与所述第一阀连接，所述第一阀通过所述第二定量管与所述Takey A柱连通。

6.根据权利要求1～3任一项所述的检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，还包括第三定量管，所述第三定量管的两端与所述第二阀连接，所述第二阀通过所述第三定量管与所述第一Porapak Q柱连通。

7.根据权利要求1～3任一项所述的检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，所述第一Porapak Q柱的两端分别与所述第二阀连接。

8.根据权利要求1～3任一项所述的检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，所述第一Porapak Q柱为长4m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的Porapak Q；所述第二Porapak Q柱为长2m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的Porapak Q。

9.根据权利要求1～3任一项所述的检测SF₆分解产物的色谱仪，其特征在于，所述13X分子筛柱为长4m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.30mm～0.60mm的涂有癸二酸二异辛酯的13X分子筛柱。