CN204174305U - 单晶炉快速清理及防爆真空管路系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供单晶炉快速清理及防爆真空管路系统。该单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口、防爆清理口和快速清理口；防爆泄压口的防爆法兰能在真空管道的上端口放气口和螺栓的螺帽之间移动；防爆清理口的防爆盲板倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上；快速清理口包括卡箍盲板、端口法兰、O形密封圈C和链式卡箍。本实用新型的防爆泄压口与防爆清理口，当炉内压力过大时，气体压力能自动推开防爆法兰和防爆盲板，放出气体，从而增加了设备的安全性，同时防爆清理口还具有泄压功能。

Description

单晶炉快速清理及防爆真空管路系统

技术领域

本实用新型是关于直拉硅单晶炉设备，特别涉及单晶炉快速清理及防爆真空管路系统。

背景技术

单晶炉是将多晶硅转化成单晶硅工艺过程中不可缺少的设备，而单晶硅作为现代信息社会的主要支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，同时它也是发展计算机与集成电路、光伏发电与太阳能利用的主要功能材料。

当单晶炉在拉制硅单晶过程中，如果发生漏硅等重大生产事故时，硅液会将内层熔透，此时冷却循环水可能会进入炉内在高温作用下迅速变成水蒸汽，炉压会突然增大，炉内会从真空状态变成高压状态，从而爆炸导致炉体损坏，周围人员伤亡。另外由于单晶炉在拉晶过程中会产生大量的SiO等挥发物，这些挥发物会附着在炉室内壁及管道内。因为单晶炉工作时气体氛围为负压的氩气等惰性气体氛围，所以当单晶炉停止加热并冷却到一定温度后，如果直接开启炉室会因为大量的空气进入炉内和SiO发生剧烈氧化反应而引起燃烧并爆炸。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种具有自动防爆泄压功能，同时方便清理的单晶炉真空管路系统。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供单晶炉快速清理及防爆真空管路系统，设置在真空管道上，所述单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口、防爆清理口和快速清理口；防爆泄压口包括防爆法兰、O形密封圈A和螺栓，防爆法兰设置在真空管道的上端口放气口，且防爆法兰的两端通过螺栓实现连接，防爆法兰能在真空管道的上端口放气口和螺栓的螺帽之间移动，O形密封圈A用于防爆法兰覆盖在真空管道的上端口放气口时，实现密封；防爆清理口包括防爆盲板、O形密封圈B、铰链座、铰链杆和铰链螺钉，真空管道的前端口法兰上固定铰链座，防爆盲板的一侧通过铰链杆和铰链螺钉铰接在铰链座上，使防爆盲板倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上，O形密封圈B用于防爆盲板覆盖在真空管道的前端放气口时，实现密封；快速清理口包括卡箍盲板、端口法兰、O形密封圈C和链式卡箍，链式卡箍的卡槽外宽内窄，能将卡箍盲板和端口法兰卡住，利用紧固螺栓拧紧固定在真空管道的两侧端口，O形密封圈C用于卡箍盲板覆盖在真空管道的两侧端口时，实现密封。

作为进一步的改进，所述防爆盲板呈45°倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

防爆泄压口与防爆清理口都利用重力和真空密封效果覆盖在真空管道的放气口上，无需弹性结构，当炉内压力过大时，气体压力能自动推开防爆法兰和防爆盲板，放出气体，从而增加了设备的安全性，同时防爆清理口还具有泄压功能。在清理真空管道时，无需使用工具即可拆卸快速清理口中的相关部件，达到快速清理的目的。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型中的防爆泄压口结构示意图。

图3为本实用新型中的快速清理口结构示意图。

图4为本实用新型中的防爆清理口结构示意图。

图中的附图标记为：1防爆法兰；2螺栓；3O形密封圈A；4端口法兰；5卡箍盲板；6O形密封圈C；7链式卡箍；8铰链座；9铰链螺钉；10铰链杆；11防爆盲板；12O形密封圈B；13防爆泄压口；14快速清理口；15防爆清理口。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

图1中的单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口13、防爆清理口15和快速清理口14，设置在真空管道上，能防止炉体损坏，确保安全生产。它的自动泄压及快速清理功能主要由防爆泄压口13、防爆清理口15和快速清理口14等安全口实现。

如图2所示，防爆泄压口13包括防爆法兰1、O形密封圈A3和螺栓2，防爆法兰1设置在真空管道的上端口放气口，且防爆法兰1的两端通过螺栓2实现连接，防爆法兰1能在真空管道的上端口放气口和螺栓2的螺帽之间移动，O形密封圈A3用于防爆法兰1覆盖在真空管道的上端口放气口时，实现密封。当炉内压力过大时，气体压力能自动冲开防爆法兰1，防止损坏炉体。而由于防爆法兰1上固定着留有余量的螺栓2，因此防爆法兰1只能被气体压力向上冲到螺栓2螺帽处，然后在重力的作用下重新覆盖到放气口上，安全有效。

如图4所示，防爆清理口15包括防爆盲板11、O形密封圈B12、铰链座8、铰链杆10和铰链螺钉9，真空管道的前端口法兰上固定铰链座8，防爆盲板11的一侧通过铰链杆10和铰链螺钉9铰接在铰链座8上，使防爆盲板11呈45°倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上，因此能同样在泄压后自动覆盖在放气口上，O形密封圈B12用于防爆盲板11覆盖在真空管道的前端放气口时，实现密封。将防爆盲板11设置在真空管道前端，是因为在泄压时可以保证防爆盲板11能被气体压力冲开而不受其他部件的干涉。防爆清理口15同时也具有快速清理的作用，当单晶炉停炉后，由于炉体内压强与外界压强逐渐达到平衡状态，因此清理人员能轻松掀开防爆盲板11对真空管路内的残余氧化物进行清理，防止因SiO等挥发物堆积过多而产生氧化反应引起爆炸。

如图3所示，快速清理口14包括卡箍盲板5、端口法兰4、O形密封圈C6和链式卡箍7，链式卡箍7的卡槽外宽内窄，能将卡箍盲板5和端口法兰4卡住，利用紧固螺栓拧紧固定在真空管道的两侧端口，O形密封圈C6用于卡箍盲板5覆盖在真空管道的两侧端口时，实现密封。当不需要清理真空管路时，将链式卡箍7的卡槽卡住卡箍盲板5和放气端的端口法兰4，然后拧紧紧固螺栓，此时因为链式卡箍7的卡槽外宽内窄而向内收缩将卡箍盲板5和端口法兰4牢牢抱紧，同时在真空密封效果的作用下，能有效防止泄漏。而在清理真空管路时，只需将链式卡箍7卸下就能取出卡箍盲板5，达到快速清理的效果，提高了清理人员的工作效率。

当单晶炉工作时，炉体内部处于真空状态，所以防爆法兰1和防爆盲板11被牢牢地吸附在端口法兰上，并通过O形密封圈B12密封。当单晶炉内漏水，压力升高时，气体压力能推动防爆法兰1和防爆盲板11，放出气体，达到泄压的目的，从而增加了设备的安全性。泄压后，防爆法兰1和防爆盲板11又可以在重力的作用下，自动落下覆盖在端口法兰上，无需人工操作。

在停炉后清理真空管道时，由于炉内不再处于真空状态下，压强与外界大气压基本一致，清理人员能轻松的开启防爆清理口15和快速清理口14，对真空管道内附着的SiO等挥发物进行清理。

最后，需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

Claims (2)

1.单晶炉快速清理及防爆真空管路系统，设置在真空管道上，其特征在于，所述单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口、防爆清理口和快速清理口；防爆泄压口包括防爆法兰、O形密封圈A和螺栓，防爆法兰设置在真空管道的上端口放气口，且防爆法兰的两端通过螺栓实现连接，防爆法兰能在真空管道的上端口放气口和螺栓的螺帽之间移动，O形密封圈A用于防爆法兰覆盖在真空管道的上端口放气口时，实现密封；防爆清理口包括防爆盲板、O形密封圈B、铰链座、铰链杆和铰链螺钉，真空管道的前端口法兰上固定铰链座，防爆盲板的一侧通过铰链杆和铰链螺钉铰接在铰链座上，使防爆盲板倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上，O形密封圈B用于防爆盲板覆盖在真空管道的前端放气口时，实现密封；快速清理口包括卡箍盲板、端口法兰、O形密封圈C和链式卡箍，链式卡箍的卡槽外宽内窄，能将卡箍盲板和端口法兰卡住，利用紧固螺栓拧紧固定在真空管道的两侧端口，O形密封圈C用于卡箍盲板覆盖在真空管道的两侧端口时，实现密封。

2.根据权利要求1所述的单晶炉快速清理及防爆真空管路系统物，其特征在于，所述防爆盲板呈45°倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上。