CN204111931U - 导流筒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种导流筒，用于单晶炉，包括内筒、外筒以及夹在内筒和外筒之间的固化毡夹层，所述内筒和外筒具有倒锥形的环壁，内筒的环壁与其轴线的夹角为12°至13°，外筒的环壁与其轴线的夹角为2°至4°，在外筒的下部设有与内筒相接的水平环底，所述水平环底与外筒的环壁之间为圆角过渡，所述固化毡夹层具有与内筒配合的内壁面以及与外筒配合的外壁面。本实用新型导流筒，通过将内筒和外筒环壁设为不同角度，能够提高氩气流经过导流筒时的速度，并能够保证单晶炉液面处热场梯度均匀向上均匀降低，同时增强了导流筒的保温效果，有效加强了氩气对单晶棒的冷却效果，因而能够有效地降低单晶棒中的氧含量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于单晶炉中的导流筒。
背景技术
影响电池片衰减的主要因素之一是硅单晶中B-O的存在。因而，降低太阳能级硅单晶的氧含量成了各个硅单晶制造企业奋斗的方向，各个厂商相应陆续采取了很多措施来降低单晶棒中氧含量如：降低埚转、增加氩气流量、降低单晶生长时的功率等措施。目前结果是太阳能级硅单晶头部氧含量的控制水平大都在18-20ppm左右。进一步降低氧含量显得举步维艰，传统导流筒包括内筒、外筒以及夹在内筒和外筒之间的固化毡夹层，导流筒呈倒锥形，氩气在经过导流筒时，由于外筒外壁面的阻挡作用，流速会降低，不利于降低氧含量。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种能够有效降低单晶炉中的单晶棒的氧含量的导流筒。
根据本实用新型的一个方面，一种导流筒，用于单晶炉，包括内筒、外筒以及夹在内筒和外筒之间的固化毡夹层，所述内筒和外筒具有倒锥形的环壁，内筒的环壁与其轴线的夹角为12°至13°，外筒的环壁与其轴线的夹角为2°至4°，在外筒的下部设有与内筒相接的水平环底，所述水平环底与外筒的环壁之间为圆角过渡，所述固化毡夹层具有与内筒配合的内壁面以及与外筒配合的外壁面。
根据本实用新型的一实施方式，所述内筒的环壁与其轴线的夹角为12.5°，外筒的环壁与其轴线的夹角为3°。
根据本实用新型的一实施方式，所述固化毡夹层的内壁面与其自身轴线的夹角为12.6°，其外壁面与其自身轴线的夹角为3.5°。
根据本实用新型的一实施方式，所述外筒的最小壁厚为11mm。
根据本实用新型的一实施方式，所述内筒的最小壁厚为8mm。
根据本实用新型的一实施方式，所述水平环底上设有上凸的环形凸缘，在内筒下方设有与所述环形凸缘扣合的环槽。
根据本实用新型的一实施方式，所述内筒和外筒顶部设有连接法兰，所述内筒和外筒的连接法兰通过螺钉连接，在外筒的连接法兰上设有可供所述螺钉穿过的沉孔，在内筒的连接法兰上设有与所述螺钉结合的螺纹孔。
由上述技术方案可知，本实用新型的优点和积极效果在于：
本实用新型导流筒，通过将内筒和外筒环壁设为不同角度，能够提高氩气流经过导流筒时的速度，并能够保证单晶炉液面处热场梯度均匀向上均匀降低，同时增强了导流筒的保温效果，有效加强了氩气对单晶棒的冷却效果，因而能够有效地降低单晶棒中的氧含量。
附图说明
通过参照附图详细描述其示例实施方式，本实用新型的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
图1是本实用新型导流筒的结构示意图；
图2是本实用新型内筒的结构示意图；
图3是本实用新型外筒的结构示意图；
图4是本实用新型固化毡夹层的结构示意图。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。
如图1所示，本实施例公开了一种导流筒，它用于单晶炉中。本导流筒包括内筒1、外筒2和固化毡夹层3。内筒1套在外筒2之中，两者之间形成一个封闭的空腔，固化毡夹层3被夹在该空腔之中。
参见图1及图2，内筒1是上下开口的筒形，它具有一个倒锥形的环壁11，在制造单晶硅时，该环壁11能够引导氩气流从上方吹向坩埚的液面处。外筒2同样是上下开口的筒形，它具有一个倒锥形的环壁21。在外筒2的下部设有与内筒1相接的水平环底12，该水平环底12与外筒2的环壁21之间为圆角过渡。固化毡夹层3由于被加载外筒2和内筒1之间，因而具有一个用于与内筒1配合的内壁面31以及一个用于与外筒2配合的外壁面32。水平环底12上设有上凸的环形凸缘，在内筒下方设有与所述环形凸缘扣合的环槽，该环形凸缘和环槽能够将内筒1和外筒2的下部封闭起来。内筒1和外筒2顶部设有连接法兰，所述内筒1和外筒2的连接法兰通过螺钉连接，在外筒2的连接法兰上设有可供所述螺钉穿过的沉孔，在内筒1的连接法兰上设有与所述螺钉结合的螺纹孔。
内筒1的环壁11与该内筒1的轴线的夹角为12°至13°，外筒2的环壁21与其轴线的夹角为2°至4°。通过这样的设置，使得环壁21的锥度小于环壁11的锥度。氩气流沿着环壁11到达液面后，由于环壁21的锥度较小，使得氩气能够沿着环壁21快速上升流走。本导流筒与现有技术相比，能够大大地加快氩气的流动速度，使得单晶炉中气态的氧化物能够被快速的带走。本实施例中，内筒1的环壁11与其轴线的夹角为12.5°，外筒2的环壁21与其轴线的夹角为3°。而固化毡夹层3的内壁面31与其自身轴线的夹角为12.6°，其外壁面32与其自身轴线的夹角为3.5°，这样使得固化毡夹层3能够恰好被放置在内筒1和外筒2之间，在安装固化毡夹层3时不会发生干涉。
由于内筒1和外筒2的环壁锥度不同，使得固化毡夹层3的下部较粗，而上部较细，这样能够使得单晶炉热场梯度从液面处一直向上能够均匀性地逐步地降低，这样也能够降低液面处氧含量。
本实施例的外筒2的最小壁厚为11mm，内筒1的最小壁厚为8mm，这样能够有效地提高内筒1和外筒2的结构强度，增加内筒1和外筒2的使用寿命。
以上具体地示出和描述了本实用新型的示例性实施方式。应该理解，本实用新型不限于所公开的实施方式，相反，本实用新型意图涵盖包含在所附权利要求的精神和范围内的各种修改和等效布置。
Claims (7)
1.一种导流筒，用于单晶炉，包括内筒、外筒以及夹在内筒和外筒之间的固化毡夹层，其特征在于：所述内筒和外筒具有倒锥形的环壁，内筒的环壁与其轴线的夹角为12°至13°，外筒的环壁与其轴线的夹角为2°至4°，在外筒的下部设有与内筒相接的水平环底，所述水平环底与外筒的环壁之间为圆角过渡，所述固化毡夹层具有与内筒配合的内壁面以及与外筒配合的外壁面。
2.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于：所述内筒的环壁与其轴线的夹角为12.5°，外筒的环壁与其轴线的夹角为3°。
3.根据权利要求2所述的导流筒，其特征在于：所述固化毡夹层的内壁面与其自身轴线的夹角为12.6°，其外壁面与其自身轴线的夹角为3.5°。
4.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于：所述外筒的最小壁厚为11mm。
5.根据权利要求4所述的导流筒，其特征在于：所述内筒的最小壁厚为8mm。
6.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于：所述水平环底上设有上凸的环形凸缘，在内筒下方设有与所述环形凸缘扣合的环槽。
7.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于：所述内筒和外筒顶部设有连接法兰，所述内筒和外筒的连接法兰通过螺钉连接，在外筒的连接法兰上设有可供所述螺钉穿过的沉孔，在内筒的连接法兰上设有与所述螺钉结合的螺纹孔。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105239150A (zh) * | 2015-09-10 | 2016-01-13 | 上海超硅半导体有限公司 | 单晶硅生长炉用导流筒及其应用 |
| CN107815726A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-20 | 扬中市惠丰包装有限公司 | 用于单晶硅结晶导流筒 |
| CN114277433A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-05 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 应用于汉虹单晶炉的单晶退火产品的生长方法 |
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2014
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Date of cancellation: 20190615 Granted publication date: 20150121 |
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