CN203949211U - 用于卧式外点火装置的定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于卧式外点火装置的定位装置，其包括圆柱件、长杆、中空杆、底板、安装板和导向轴。本实用新型的长杆可以带动安装板和水冷却装置以圆柱件为轴转动调整；中空杆可以带动安装板和水冷却装置以长杆为路径进行横向位移调整；安装板可以带动水冷却装置以导向轴为路径进行纵向位移调整；调整完成后，通过定位旋钮和调节螺柱自身长度，固定住安装板和水冷却装置，从而实现外点火腔室的定位。

Description

用于卧式外点火装置的定位装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种用于热处理设备的卧式外点火装置的定位装置。

背景技术

在半导体立式热处理设备中，有一个外点火装置与工艺腔室相连，工艺气体从外点火装置中的进气管进入主工艺腔室，外点火装置中有加热器将工艺气体加热以及进行一定的反应，外点火装置的腔室与工艺腔室通过过渡管相连。

图1是现有立式工艺腔室与卧式外点火装置的连接示意图，如图1所示，主工艺腔室21与外点火装置22通过石英法兰连接部25相连，外点火装置22内具有外点火腔室26，外点火腔室26固定在圆环状加热器23之中，加热器23固定在环状水冷却装置24之中。

热处理设备在工作过程中，工艺腔室21和外点火腔室26要保证密封，这样在石英法兰连接部25处就要有密封圈进行密封，并且要保证两处的石英法兰定位精度大，安装准确，保证安装顺利以及密封的条件。由于石英材料为脆性材料，不能承受较大变形，因此需要一个定位装置来移动外点火腔室26以达到良好的定位精度，确保顺利安装以及密封。

基于不同结构的外点火装置也有不同的定位装置，目前，基于卧式外点火装置的卧式定位装置，是采用驱动块与驱动轴的方式，实现空间三个方向上的移动调节以及定位。然而，现有装置结构复杂，安装、拆卸和调节过程都很不方便。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述技术问题，而提供一种卧式外点火装置的定位装置，用以实现卧式外点火装置的精确定位。

本实用新型提供的用于卧式外点火装置的定位装置，其包括：

圆柱件，可转动地安装于外点火装置底部；

长杆，安装于圆柱件上并可以圆柱件为轴转动；

中空杆，套接于长杆外，其具有穿入紧固件，用于穿入中空杆以紧固长杆；

底板，与中空杆相固定；

安装板，用于与外点火装置的水冷却装置相固定；

导向轴，固定于底板并贯穿安装板，或固定于安装板并贯穿底板，使安装板沿着导向轴上下位移；

调节螺柱，固定于底板并抵贴安装板或水冷却装置，或固定于安装板并抵贴底板或外点火装置，其抵贴处具有调节螺母，用于调节安装板与底板的间距。

进一步地，该外点火装置底部固设有圆柱套筒，该圆柱件可转动地安装于该圆柱套筒内。

进一步地，该长杆为长圆杆，该中空杆为中空圆杆，该长圆杆和中空圆杆可以自身为轴转动。

进一步地，该长圆杆上开设有横向长槽，该中空圆杆上开设有圆孔，一限位件插入圆孔及横向长槽以对长圆杆和中空圆杆的相对位移进行限位。

进一步地，该横向长槽贯穿于长圆杆的前后两侧，该圆孔贯穿于中空圆杆的前后两侧且后侧为螺纹孔，该限位件为限位螺杆，其插入圆孔和长圆杆两侧横向长槽后与螺纹孔螺纹连接固定。

进一步地，该底板或安装板上设有直线轴承，该导向轴贯穿直线轴承。

进一步地，该导向轴具有至少两根，其中至少一根导向轴在其贯穿处具有锁紧螺母，用于固定安装板与底板的间距。

进一步地，该安装板和/或底板还设有高度定位块，一拧紧螺钉插入该高度定位块及安装板、或插入该高度定位块及底板、或插入安装板和底板各自的高度定位块，以固定安装板与底板的间距。

进一步地，该安装板和底板设有一对高度调节块和高度定位块，该高度调节块上开设有纵向长槽，该高度定位块上开设有螺纹孔，一拧紧螺钉插入该纵向长槽及螺纹孔以固定安装板与底板的间距。

进一步地，该圆柱件上固设有角度盘，该角度盘上开设有弧形槽，定位螺钉穿过弧形槽并固定于外点火装置底部，用于对长杆以圆柱件为轴的转动限位于该弧形槽范围内。

进一步地，该外点火装置底部固设有固定板，该定位螺钉固定于该固定板上。

进一步地，该底板向下设有数个滚轮并抵贴外点火装置底部。

本实用新型提供的卧式外点火装置的定位装置，具有以下技术效果：

1.本实用新型的定位装置可以让点火腔室实现旋转角度、轴向以及高度的调整和定位；

2.本实用新型的定位装置，通过导向轴、调节螺柱以及锁紧螺母或拧紧螺钉实现轴向、径向和高度的定位，定位效果优异；

3.本实用新型的定位装置，通过长杆上的横向长槽、高度调节块上的纵向长槽以及角度盘上的弧形槽，可以从纵向、横向和旋转方向的调整范围给予限定，限位效果优异；

4.本实用新型的定位装置结构简单、安装方便，可以摆出很大角度，实现点火腔室的水平抽取，以满足装卸要求。

附图说明

为能更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点，以下将结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1是现有卧式工艺腔室与卧式外点火装置的连接示意图；

图2是本实用新型定位装置与外点火装置的连接示意图；

图3是本实用新型定位装置第一实施例的立体图；

图4是本实用新型定位装置第一实施例的立体分解图；

图5是本实用新型定位装置第一实施例中圆柱件与长圆杆的结构示意图；

图6a和图6b是本实用新型定位装置第一实施例中安装板高度调节过程的示意图；

图7a和图7b是本实用新型定位装置第一实施例中整个装置摆动的示意图。

具体实施方式

请参阅图2，本实用新型的定位装置27安装于卧式外点火装置22的水冷却装置24底部。

请继续参阅图3至图5，本实施例卧式外点火装置的定位装置，其包括：

圆柱件1，可转动地安装于外点火装置22底部；

长杆2，安装于圆柱件1上并可以圆柱件1为轴转动；

中空杆4，套接于长杆2外，其具有定位旋钮14，用于穿入中空杆4的定位螺纹孔141以紧固里面的长杆2；

底板，包括第一底板51和第二底板52，分别通过法兰固定于中空杆4的两端；

安装板6，用于与外点火装置的水冷却装置24相固定；

四个导向轴9，通过导向轴安装螺钉16和安装板上的螺钉孔91固定于安装板6，并两两贯穿第一底板51和第二底板52，使安装板6沿着导向轴9上下位移；

调节螺柱11，固定于安装板6并抵贴外点火装置底部，其抵贴处即调节螺杆底部具有调节螺母12，旋动调节螺母12可以实现安装板6的升降，从而调节安装板6与底板即外点火装置底部的间距。

通过这样的设置，长杆2可以带动安装板6和水冷却装置以圆柱件1为轴转动调整；中空杆4可以带动安装板6和水冷却装置以长杆2为路径进行横向位移调整；安装板6可以带动水冷却装置以导向轴9为路径进行纵向位移调整；调整完成后，通过定位旋钮14和调节螺柱11自身长度，固定住安装板和水冷却装置，从而实现外点火腔室的定位。

本实施例中，外点火装置底部固设有圆柱套筒18，圆柱件1插入圆柱套筒18内并可转动。在其他实施例中，圆柱件1可直接安装于外点火装置底部预设的套筒内。

本实施例中，长杆2为长圆杆，中空杆4为中空圆杆，长圆杆可以在与圆柱件1的连接孔内以自身为轴转动，中空圆杆也可以以自身为轴转动，从而带动安装板和水冷却装置的转动，增加了空间调整方式和能力。在其他实施例中，长杆和中空杆亦可以是方形等其他形状，减少了以自身为轴转动的方式，但仍能实现横向的位移调整。

本实施例中，长杆2上开设有贯穿于长杆前后两侧的横向长槽41，如图5所示，中空杆4的前侧开设有圆孔131，后侧则设置螺纹孔(未示出)，限位螺钉13插入圆孔131、前后两侧的横向长槽41并与该后侧的螺纹孔螺纹连接固定，使得中空杆4与长杆2的相对横向位移仅限于横向长槽41的长度，起到横向位移的限位作用，待横向调整完成后，即插入定位旋钮14固定中空杆和长杆的相对位置。在其他实施例中，仅在长杆的前侧开设横向长槽，并且在中空杆后侧不开设螺纹孔，仍然可以起到限位的作用，但是限位过程中的零部件稳定性和准确性会降低。

本实施例中，第一底板51和第二底板52上分别设有两个直线轴承8，供导向轴9贯穿，提高了纵向位移的稳定性和准确性，直线轴承8和导向轴9也能承担径向的受力。另一方面，如图4所示，安装板两侧向下设有两块高度调节块7，第一底板51和第二底板52向上分别设有高度定位块20，高度调节块7上开设有两条纵向长槽71，高度定位块20上开设有两个高度定位螺纹孔201，待安装板6的高度调整完成后，将拧紧螺钉17穿过纵向长槽71并旋入高度定位螺纹孔201拧紧，从而实现纵向位移的定位，如图6a和6b所示。在其他实施例中，也可以在导向轴中的一根或多根设置锁紧螺母，该锁紧螺母设于导向轴的贯穿处，待高度调整完成后，旋动锁紧螺母以固定住安装板和底板的间距；也可以在调节完调节螺杆11的高度之后，依靠水冷却装置等的自重，实现纵向定位，使外点火腔室无法上下位移，因为调节螺杆11承担了竖直方向的受力。另一方面，导向轴的固定方式可以根据实际需要进行调整，如可以固定在底板上，而在安装板上设置直线轴承，本实施例相反的设置是为了提高整个装置的稳定性；高度定位块和高度调节块的位置也可根据需要上下互换。

本实施例中，圆柱件1上还固设有角度盘3，角度盘上开设有弧形槽31，外点火装置底部固设有固定板19，定位螺钉15穿过弧形槽31并固定在固定板19上，用于将长杆2以圆柱件1为轴的转动限位于该弧形槽31的范围内。在其他实施例中，无角度盘，减少了长杆转动范围的限位，但仍可以实现长杆带动安装板和水冷却装置的转进、转出，如图7a和图7b所示。同时，定位螺钉15还可以起到旋转定位的作用，将定位螺钉15旋紧，使角度盘3固定在固定板19上无法转动，即可实现安装板和水冷却装置在转动范围内的定位。

本实施例中，第一底板51和第二底板52向下设有数个钢珠滚轮10并抵贴外点火装置底部，使得整个装置可以在外点火装置的底部移动地更加顺畅、稳定。

操作过程中，安装和拆卸外点火腔室时，先转动定位装置到指定位置，然后将定位螺钉15拧紧，安装或者拆卸外点火腔室。当外点火腔室水平安装进去后，松开定位螺钉15，将定位装置转动回来，并且不断调整旋转角度和轴向的长度以及高度来使外点火腔室的法兰安装面与工艺腔室的法兰安装面配合好，达到安装精度要求，这时再将定位螺钉15、轴向固定的定位旋钮14以及高度固定的拧紧螺钉17拧紧，整个装置就处于完全定位状态，定位操作完成。

Claims (12)

1.一种用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于，其包括：

圆柱件，可转动地安装于外点火装置底部；

长杆，安装于圆柱件上并可以圆柱件为轴转动；

中空杆，套接于长杆外，其具有穿入紧固件，用于穿入中空杆以紧固长杆；

底板，与中空杆相固定；

安装板，用于与外点火装置的水冷却装置相固定；

导向轴，固定于底板并贯穿安装板，或固定于安装板并贯穿底板，使安装板沿着导向轴上下位移；

调节螺柱，固定于底板并抵贴安装板或水冷却装置，或固定于安装板并抵贴底板或外点火装置，其抵贴处具有调节螺母，用于调节安装板与底板的间距。

2.根据权利要求1所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该外点火装置底部固设有圆柱套筒，该圆柱件可转动地安装于该圆柱套筒内。

3.根据权利要求1所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该长杆为长圆杆，该中空杆为中空圆杆，该长圆杆和中空圆杆可以自身为轴转动。

4.根据权利要求3所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该长圆杆上开设有横向长槽，该中空圆杆上开设有圆孔，一限位件插入圆孔及横向长槽以对长圆杆和中空圆杆的相对位移进行限位。

5.根据权利要求4所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该横向长槽贯穿于长圆杆的前后两侧，该圆孔贯穿于中空圆杆的前后两侧且后侧为螺纹孔，该限位件为限位螺杆，其插入圆孔和长圆杆两侧横向长槽后与螺纹孔螺纹连接固定。

6.根据权利要求1所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该底板或安装板上设有直线轴承，该导向轴贯穿直线轴承。

7.根据权利要求6所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该导向轴具有至少两根，其中至少一根导向轴在其贯穿处具有锁紧螺母，用于固定安装板与底板的间距。

8.根据权利要求6所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该安装板和/或底板还设有高度定位块，一拧紧螺钉插入该高度定位块及安装板、或插入该高度定位块及底板、或插入安装板和底板各自的高度定位块，以固定安装板与底板的间距。

9.根据权利要求6所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该安装板和底板设有一对高度调节块和高度定位块，该高度调节块上开设有纵向长槽，该高度定位块上开设有螺纹孔，一拧紧螺钉插入该纵向长槽及螺纹孔以固定安装板与底板的间距。

10.根据权利要求1所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该圆柱件上固设有角度盘，该角度盘上开设有弧形槽，定位螺钉穿过弧形槽并固定于外点火装置底部，用于对长杆以圆柱件为轴的转动限位于该弧形槽范围内。

11.根据权利要求10所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该外点火装置底部固设有固定板，该定位螺钉固定于该固定板上。

12.根据权利要求1所述的用于卧式外点火装置的定位装置，其特征在于：该底板向下设有数个滚轮并抵贴外点火装置底部。