CN203948891U - 一种新型气浮转台底座 - Google Patents

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汤秀清
田立辉
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Guangzhou Haozhi Electromechanical Co Ltd
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Guangzhou Haozhi Electromechanical Co Ltd
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Abstract

一种新型气浮转台底座,其包括沿轴向设置有内腔的底座、气浮轴、气浮轴承以及气浮转盘;底座包括面向气浮转盘的顶面及背向顶面的底面,气浮轴承套设于气浮轴外并与气浮轴一同安装于内腔内,气浮转盘设置于底座顶面上并可在气体作用下与顶面保持一定间隔;底座内开设有进气槽、若干第一气路以及与若干第一气路连通的若干第二气路,进气槽与第一气路及第二气路两者中的一者连通;顶面与每条第一气路及第二气路对应位置开设有若干气孔;若干气孔组成以矩形为最小单位的矩阵式排列于底座顶面上。本实用新型中气浮转台底座不用加工环气槽并可实现气路贯通,简化了气路的加工程序。

Description

一种新型气浮转台底座
技术领域
本实用新型涉及一种高精度空气静压气浮转台底座。
背景技术
普通气浮转台底座的气浮结构是做成如图3与图4所示形式,即盘面1上沿径向开设有若干气路2且还需要额外加工形成用于实现若干气路2相连贯通的环气槽3。然而,对于大型的气浮转台底座,因为体积过大,无法在机床上加工环气槽3,所以无法采用这种结构。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型的目的旨在于提供一种无需加工环气槽来实现气路贯通的新型气浮转台底座。
为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种新型气浮转台底座,其包括沿轴向设置有内腔的底座、气浮轴、气浮轴承以及气浮转盘;底座包括面向气浮转盘的顶面及背向顶面的底面,气浮轴承套设于气浮轴外并与气浮轴一同安装于内腔内,气浮转盘设置于底座顶面上并可在气体作用下与顶面保持一定间隔;底座内开设有进气槽、若干第一气路以及与若干第一气路连通的若干第二气路,进气槽与第一气路及第二气路两者中的一者连通;顶面与每条第一气路及第二气路对应位置开设有若干气孔;若干气孔组成以矩形为最小单位的矩阵式排列于底座顶面上。
若干第一气路沿第一方向平行且对称设置于内腔径向两侧,若干第二气路沿垂直于第一方向的第二方向平行且对称设置于内腔径向另外两侧;进气槽与其中一条第一气路连通,若干第二气路通过对应的第一气路与进气槽连通。
若干第一气路中有两条第一气路平行且相对设置于内腔两侧并贯穿于底座径向的两端,若干第二气路中有两条第二气路沿垂直于所述两条第一气路的方向平行且相对设置于内腔另外两侧并贯穿于底座径向的另外两端;所述两条第一气路与两条第二气路交叉形成井字型。
每条第一气路与每条第二气路远离内腔的一端设置有气堵,每个气孔远离第一气路与第二气路的一端设置有阻尼塞。
本实用新型中气浮转台底座不用加工环气槽并可实现气路贯通,并可带来以下有益效果:
1.气孔均匀分布,形成的承载气膜更均匀,有利于气浮转台底座的运行稳定性;
2.简化了气路的加工程序;
3.气孔密布,提高了承载能力。
附图说明
图1为本实用新型气浮转台底座的结构示意图;
图2为图1所示气浮转台底座沿A-A方向的结构示意图;
图3为现有气浮转台底座的结构示意图。
图4为图3所示现有气浮转台底座沿B-B方向的剖视图。
其中:1、盘面;2、气路;3、环气槽;10、底座;11、内腔;121、进气槽;123、第一气路;125、第二气路;126、气堵;127、阻尼塞;13、顶面;130、气孔;15、底面;30、气浮轴;50、气浮轴承;70、气浮转盘。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施方式,对本实用新型做进一步描述:
请参见图1,本实用新型涉及一种新型气浮转台底座,其包括底座10、气浮轴30、气浮轴承50以及设置于底座10上的气浮转盘70。底座10沿轴向设置有圆形内腔11。气浮轴承50套设于气浮轴30外并与气浮轴30一同安装于内腔11内。
底座10包括面向气浮转盘70的顶面13及背向顶面的底面15。底座10内开设有进气槽121、沿第一方向延伸的若干第一气路123以及沿垂直于第一方向的第二方向延伸的若干第二气路125。若干第一气路123中两条第一气路123平行且相对设置内腔11径向的两侧,并贯穿于底座10径向两端。若干第二气路125中有两条第二气路125沿垂直于所述两条第一气路123的方向平行且相对设置于内腔11另外两侧,并贯穿于底座10径向的另外两端。如此,上述两条第一气路123与两条第二气路125交叉形成井字型。余下的第一气路123平行且对称设置于上述两条第一气路123之间,且每条第一气路123的一端分别与两条第二气路125连通。余下的第二气路125的一端与对应的第一气路123连通并沿垂直于第一气路123的方向设置于两条第一气路123相对的两侧。在本实施例中,进气槽121与其中一条第一气路123连通。如此,若干第一气路123与第二气路125通过上述两条第一气路123与两条第二气路125均相互连通。两条第一气路123与两条第二气路125即可作为贯通气路的通气槽亦可作为喷出气体的气路。
请参看图2,顶面13与每条第一气路123及第二气路125对应位置开设有若干气孔130。若干气孔130组成以矩形为最小单位的矩阵式均匀排列于底座10的顶面13上。如此,沿平行于第一气路123及第二气路125方向上相邻两排气孔130中对应四个气孔130连接形成矩形状。每条第一气路123与每条第二气路125远离内腔11的一端设置有气堵126。每个气孔130远离第一气路123与第二气路125的一端设置有阻尼塞127。
本实用新型中,气浮转台底座不用加工环气槽并可实现气路贯通,并可带来以下有益效果:
1.气孔均匀分布,形成的承载气膜更均匀,有利于气浮转台底座的运行稳定性;
2.简化了气路的加工程序;
3.气孔密布,提高了承载能力。
对于本领域的技术人员来说,可根据以上描述的技术方案以及构思,做出其它各种相应的改变以及变形,而所有的这些改变以及变形都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种新型气浮转台底座,其特征在于:包括沿轴向设置有内腔的底座、气浮轴、气浮轴承以及气浮转盘;底座包括面向气浮转盘的顶面及背向顶面的底面,气浮轴承套设于气浮轴外并与气浮轴一同安装于内腔内,气浮转盘设置于底座顶面上并可在气体作用下与顶面保持一定间隔;底座内开设有进气槽、若干第一气路以及与若干第一气路连通的若干第二气路,进气槽与第一气路及第二气路两者中的一者连通;顶面与每条第一气路及第二气路对应位置开设有若干气孔;若干气孔组成以矩形为最小单位的矩阵式排列于底座顶面上。
2.如权利要求1所述的新型气浮转台底座,其特征在于:若干第一气路沿第一方向平行且对称设置于内腔径向两侧,若干第二气路沿垂直于第一方向的第二方向平行且对称设置于内腔径向另外两侧;进气槽与其中一条第一气路连通,若干第二气路通过对应的第一气路与进气槽连通。
3.如权利要求2所述的新型气浮转台底座,其特征在于:若干第一气路中有两条第一气路平行且相对设置于内腔两侧并贯穿于底座径向的两端,若干第二气路中有两条第二气路沿垂直于所述两条第一气路的方向平行且相对设置于内腔另外两侧并贯穿于底座径向的另外两端;所述两条第一气路与两条第二气路交叉形成井字型。
4.如权利要求1所述的新型气浮转台底座,其特征在于:每条第一气路与每条第二气路远离内腔的一端设置有气堵,每个气孔远离第一气路与第二气路的一端设置有阻尼塞。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107883896A (zh) * 2017-12-27 2018-04-06 东莞市显隆电机有限公司 一种气浮式平面度检测装置
CN111285031A (zh) * 2020-03-11 2020-06-16 上海精测半导体技术有限公司 一种旋转台

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