CN203212644U - 线形布气机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种线形布气机构，包括由上至下依次连接的上压板、充气板和下压板，充气板上分布有多级充气槽，相邻两级充气槽之间通过气孔连通，第一级充气槽外接气源。本线形布气机构采用中心入气，再通过多层充气槽逐层向充气板两端布气，布气均匀，可较好地保障产品质量；本线形布气机构采用板状结构，通过上压板、充气板和下压板的配合实现密封并且均匀布气，其结构简单，装卸、清洁和维护更方便快捷，可有效避免传统布气机构“膜层进入管内后难以清洗干净，影响设备抽气速率”的现象；本线形布气机构可通过机加工成型，质量保证，可确保充气稳定一致。
Description
技术领域
本实用新型涉及TCO透明导电膜的镀膜设备领域，特别涉及一种线形布气机构。
背景技术
目前的镀膜设备中，真空室的布气装置结构是：一端引入内层小管，外层再套入大管，小管上均匀设置小透气孔，气源从小管一端引入，通过小透气孔在大管上从疏到密进行布气。该结构的布气装置存在以下缺陷：
（1）布气管中一端引入，通过大管上的疏密孔来使气体均匀，效果难以达到，在实际应用中，充气不均匀，容易引起镀膜不均匀；
（2）该装置制造时，小管上小孔无法采用钻床加工，需用电火花加工，加工时间长且费用高；
（3）该装置在使用过程中，膜层进入管内后难以清洗干净，影响设备抽气速率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构简单，布气均匀的线形布气机构。
本实用新型的技术方案为：一种线形布气机构，包括由上至下依次连接的上压板、充气板和下压板，充气板上分布有多级充气槽，相邻两级充气槽之间通过气孔连通，第一级充气槽外接气源。
所述多级充气槽有2组，对称设于充气板的上下两面，各充气槽的开口面位于充气板的上表面或下表面。
作为一种优选方案，所述充气槽有四级，气孔也相应有四级；
第一级充气槽有1个，第一级充气槽的中心位于充气板的中线上，第一级充气槽的两端分别设置第一级气孔，第一级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/4；
第二级充气槽有2个，各第二级充气槽与相应第一级气孔的连接处为第二级充气槽的中心，各第二级充气槽的两端分别设置第二级气孔，位于外侧的第二级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/8；
第三级充气槽有4个，各第三级充气槽与相应第二级气孔的连接处为第三级充气槽的中心，各第三级充气槽的两端分别设置第三级气孔，位于外侧的第三级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/16；
第四级充气槽有8个，各第四级充气槽与相应第三级气孔的连接处为第四级充气槽的中心，各第四级充气槽的两端分别设置第四级气孔，各第四级气孔为充气板的布气孔。
所述第一级充气槽的宽度为3mm，第二级充气槽的宽度为2mm，第三级充气槽的宽度为1mm，第四级充气槽的宽度为1mm。
所述上压板和下压板上分别设有气体引入座，气体引入座的出气口与充气板的第一级充气槽连接，气体引入座外接气源。
本线形布气机构使用时，其布气原理是：通过气体引入座从气源引入气体后，气体进入第一级充气槽，然后通过第一级气孔分布至第二级充气槽，再依次通过第二级气孔分布至第三级充气槽，通过第三级气孔分布至第四级充气槽，最后从第四级气孔均匀分布，通过各级充气槽逐层分布，使气体分布更均匀。
本线形布气机构制造时，其中充气板的加工如下：对充气板上下两面分别铣槽；由充气板中心开始往两边铣宽度为3mm的通槽到距离充气板端部四分之一处，形成第一级充气槽；再由四分之一处开始往两边铣宽度为2mm的通槽到距离充气板端部八分之一处，形成第二级充气槽；再由八分之一处开始往两边铣宽度为1mm的通槽到距离充气板端部十六分之一处，形成第三级充气槽；最后在十六分之一处开始往两边分铣宽度为1mm的通槽到充气板外，形成第四级充气槽。根据充气板的实际情况，充气槽的级数可调整。
本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
本线形布气机构采用中心入气，再通过多层充气槽逐层向充气板两端布气，布气均匀，可较好地保障产品质量。
本线形布气机构采用板状结构，通过上压板、充气板和下压板的配合实现密封并且均匀布气，其结构简单，装卸、清洁和维护更方便快捷，可有效避免传统布气机构“膜层进入管内后难以清洗干净，影响设备抽气速率”的现象。
本线形布气机构可通过机加工成型，质量保证，可确保充气稳定一致。
附图说明
图1为本线形布气机构的结构示意图。
图2为本线形布气机构中充气板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例
本实施例一种线形布气机构，如图1所示，包括由上至下依次连接的上压板2、充气板1和下压板3，如图2所示，充气板1上分布有多级充气槽，相邻两级充气槽之间通过气孔连通，第一级充气槽外接气源。
多级充气槽有2组，对称设于充气板的上下两面，各充气槽的开口面位于充气板的上表面或下表面。
本实施例作为一种优选方案，充气槽有四级，气孔也相应有四级，如图2所示，
第一级充气槽1-1有1个，第一级充气槽的中心位于充气板的中线上，第一级充气槽的两端分别设置第一级气孔1-5，第一级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/4；
第二级充气槽1-2有2个，各第二级充气槽与相应第一级气孔的连接处为第二级充气槽的中心，各第二级充气槽的两端分别设置第二级气孔1-6，位于外侧的第二级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/8；
第三级充气槽1-3有4个，各第三级充气槽与相应第二级气孔的连接处为第三级充气槽的中心，各第三级充气槽的两端分别设置第三级气孔1-7，位于外侧的第三级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/16；
第四级充气槽1-4有8个，各第四级充气槽与相应第三级气孔的连接处为第四级充气槽的中心，各第四级充气槽的两端分别设置第四级气孔1-8，各第四级气孔为充气板的布气孔。
第一级充气槽的宽度为3mm，第二级充气槽的宽度为2mm，第三级充气槽的宽度为1mm，第四级充气槽的宽度为1mm。
如图1所示，上压板和下压板上分别设有气体引入座4，气体引入座的出气口与充气板的第一级充气槽连接，气体引入座外接气源。
本线形布气机构使用时，其布气原理是：通过气体引入座从气源引入气体后，气体进入第一级充气槽，然后通过第一级气孔分布至第二级充气槽，再依次通过第二级气孔分布至第三级充气槽，通过第三级气孔分布至第四级充气槽，最后从第四级气孔均匀分布，通过各级充气槽逐层分布，使气体分布更均匀。
本线形布气机构制造时，其中充气板的加工如下：对充气板上下两面分别铣槽；由充气板中心开始往两边铣宽度为3mm的通槽到距离充气板端部四分之一处，形成第一级充气槽；再由四分之一处开始往两边铣宽度为2mm的通槽到距离充气板端部八分之一处，形成第二级充气槽；再由八分之一处开始往两边铣宽度为1mm的通槽到距离充气板端部十六分之一处，形成第三级充气槽；最后在十六分之一处开始往两边分铣宽度为1mm的通槽到充气板外，形成第四级充气槽。根据充气板的实际情况，充气槽的级数可调整。
如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
Claims (5)
1.线形布气机构，其特征在于，包括由上至下依次连接的上压板、充气板和下压板，充气板上分布有多级充气槽，相邻两级充气槽之间通过气孔连通，第一级充气槽外接气源。
2.根据权利要求1所述的线形布气机构，其特征在于，所述多级充气槽有2组，对称设于充气板的上下两面，各充气槽的开口面位于充气板的上表面或下表面。
3.根据权利要求1所述的线形布气机构，其特征在于，所述充气槽有四级，气孔也相应有四级；
第一级充气槽有1个，第一级充气槽的中心位于充气板的中线上，第一级充气槽的两端分别设置第一级气孔，第一级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/4；
第二级充气槽有2个，各第二级充气槽与相应第一级气孔的连接处为第二级充气槽的中心，各第二级充气槽的两端分别设置第二级气孔，位于外侧的第二级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/8；
第三级充气槽有4个，各第三级充气槽与相应第二级气孔的连接处为第三级充气槽的中心，各第三级充气槽的两端分别设置第三级气孔，位于外侧的第三级气孔到充气板相应端部的距离为充气板总长度的1/16；
第四级充气槽有8个，各第四级充气槽与相应第三级气孔的连接处为第四级充气槽的中心，各第四级充气槽的两端分别设置第四级气孔，各第四级气孔为充气板的布气孔。
4.根据权利要求3所述的线形布气机构，其特征在于，所述第一级充气槽的宽度为3mm，第二级充气槽的宽度为2mm，第三级充气槽的宽度为1mm，第四级充气槽的宽度为1mm。
5.根据权利要求1所述的线形布气机构，其特征在于，所述上压板和下压板上分别设有气体引入座，气体引入座的出气口与充气板的第一级充气槽连接，气体引入座外接气源。
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|---|---|---|---|---|
| CN105782720A (zh) * | 2014-12-25 | 2016-07-20 | 陈闺艳 | 新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺 |
| CN112281126A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-01-29 | 河南卓金光电科技股份有限公司 | 一种反应磁控溅射分离式布气法 |
| CN113481469A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-10-08 | 广东铭丰包装材料有限公司 | 一种匀气机构及镀铝机 |
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